Якхела набудани бомбаборони ионхо
Хушкнақшодатан равандест, ки таъсироти физикӣ ва кимиёвиро муттаҳид мекунад, ки дар он бомбаборони ионҳо як усули муҳими etching физикӣ мебошад. Дар давомираванди пошидан, кунҷи ҳодиса ва тақсимоти энергияи ионҳо нобаробар буда метавонанд.
Агар кунҷи фарорасии ион дар мавқеъҳои гуногуни паҳлӯ фарқ кунад, таъсири ифлосшавии ионҳо дар девори паҳлӯ низ гуногун хоҳад буд. Дар минтақаҳое, ки кунҷҳои фарорасии ионҳо калонтаранд, таъсири ифлосшавии ионҳо ба девори паҳлӯӣ қавитар аст, ки ин боиси бештар канда шудани девори паҳлӯ дар ин минтақа мегардад ва боиси хам шудани паҳлӯ мегардад. Илова бар ин, тақсимоти нобаробари энергияи ионҳо низ чунин таъсирҳоро ба вуҷуд меорад. Ионҳое, ки энергияи баланд доранд, метавонанд маводҳоро самараноктар хориҷ кунанд, ки дар натиҷа номувофиқанднақшдараҷаҳои паҳлӯ дар мавқеъҳои гуногун, ки дар навбати худ боиси хам шудани девори паҳлӯ мегардад.
Таъсири фоторезист
Photoresist нақши ниқобро дар пошидани хушк мебозад ва минтақаҳоеро муҳофизат мекунад, ки ба кандакорӣ ниёз надоранд. Бо вуҷуди ин, ба фоторезистӣ инчунин аз бомбаборони плазма ва реаксияҳои кимиёвӣ ҳангоми коркард таъсир мерасонад ва иҷрои он метавонад тағир ёбад.
Агар ғафсии фоторезист нобаробар бошад, меъёри истеъмол дар ҷараёни коркард номувофиқ бошад ё пайвастшавӣ байни фоторезист ва субстрат дар ҷойҳои гуногун гуногун бошад, он метавонад ба муҳофизати нобаробари деворҳои паҳлӯҳо ҳангоми коркард оварда расонад. Масалан, минтақаҳое, ки фоторезистенти лоғартар ё часпидаашон заифтаранд, метавонанд маводи асосиро осонтар канда, дар ин ҷойҳо паҳлӯҳо хам шаванд.
Тафовут дар хосиятҳои маводи субстрат
Худи маводи субстрати кандашуда метавонад дорои хосиятҳои гуногун, ба монанди самтҳои гуногуни кристалл ва консентратсияи допинг дар минтақаҳои гуногун дошта бошад. Ин тафовутҳо ба суръати пошидан ва интихоби интихобӣ таъсир мерасонанд.
Масалан, дар кремнийи кристаллӣ, ҷойгиршавии атомҳои кремний дар самтҳои гуногуни кристаллӣ гуногун аст ва реактивӣ ва суръатбахшии онҳо бо гази кристалл низ гуногун хоҳад буд. Ҳангоми коркард, суръати гуногуни кандашавӣ, ки дар натиҷаи фарқияти хосиятҳои моддӣ ба вуҷуд омадааст, умқи деворҳои паҳлӯҳоро дар ҷойҳои гуногун номувофиқ мегардонад ва дар ниҳоят ба хам шудани девори паҳлӯ оварда мерасонад.
Омилҳои марбут ба таҷҳизот
Фаъолият ва ҳолати таҷҳизоти кандакорӣ низ ба натиҷаҳои чӯб таъсири муҳим доранд. Масалан, мушкилоте ба монанди тақсимоти нобаробари плазма дар камераи реаксия ва фарсудашавии нобаробари электрод метавонад боиси тақсимоти нобаробари параметрҳо ба монанди зичии ион ва энергия дар сатҳи вафли ҳангоми кӯза гардад.
Илова бар ин, назорати нобаробари ҳарорати таҷҳизот ва тағъирёбии ночиз дар ҷараёни газ метавонад ба якрангии сӯзишворӣ таъсир расонад, ки боиси хам шудани девори паҳлӯ мегардад.
Вақти интишор: Декабр-03-2024