Dual-Damascene технологияи равандест, ки барои истеҳсоли пайвастҳои металлӣ дар микросхемаҳои интегралӣ истифода мешавад. Ин инкишофи минбаъдаи процесси Димишк мебошад. Дар як марҳила тавассути сӯрохҳо ва чуқуриҳо дар як марҳила ва пур кардани онҳо бо металл, истеҳсоли маҷмӯии пайвастҳои металлӣ амалӣ карда мешавад.
Чаро онро Димишқ меноманд?
Шаҳри Димишқ пойтахти Сурия аст ва шамшерҳои Димишқ бо тезӣ ва бофтаи зебои худ машҳуранд. Як навъ про-цесси инлективй талаб карда мешавад: якум, дар руи пулоди Димишк накши зарурй накш карда, масоледи пешакй тайёр кардашударо ба чукурчадои кандакоришуда сахт часпонда мешавад. Пас аз ба итмом расидани ороиш, сатҳи он метавонад каме нобаробар бошад. Усто онро бодиққат сайқал медиҳад, то ҳамвории умумӣ таъмин карда шавад. Ва ин раванд прототипи раванди дугонаи Димишқ чипи аст. Аввал дар қабати диэлектрикӣ чуқуриҳо ё сӯрохиҳо кандакорӣ карда мешаванд ва баъд дар онҳо металл пур карда мешавад. Пас аз пур кардан, металли зиёдатӣ бо cmp хориҷ карда мешавад.
Қадамҳои асосии раванди дугонаи дамаскӣ иборатанд аз:
▪ Ҷойгиршавии қабати диэлектрикӣ:
Дар нимноқил қабати маводи диэлектрикӣ, аз қабили диоксиди кремний (SiO2) гузоред.вафли.
▪ Фотолитография барои муайян кардани намуна:
Аз фотолитография истифода баред, то намунаи гузаргоҳҳо ва хандакҳоро дар қабати диэлектрикӣ муайян кунед.
▪Эзоҳ:
Намунаи гузаргоҳҳо ва хандакҳоро ба қабати диэлектрикӣ тавассути раванди абрешими хушк ё тар интиқол диҳед.
▪ Ҷойгиркунии металл:
Металл, аз қабили мис (Cu) ё алюминий (Al) -ро дар қубурҳо ва хандакҳо барои ташкили пайвастҳои металлӣ гузоред.
▪ Пардохти кимиёвии механикӣ:
Механикии химиявй сайкал додани сатхи металл барои тоза кардани металли зиёдатй ва хамвор кардани сатх.
Дар муқоиса бо раванди истеҳсоли анъанавии металлӣ, раванди дугонаи дамаскӣ бартариҳои зерин дорад:
▪ Қадамҳои соддакардашудаи раванд:бо ташкили ҳамзамон дар як марҳилаи раванд, марҳилаҳои раванд ва вақти истеҳсолот кам карда мешаванд.
▪Беҳтар шудани самаранокии истеҳсолот:аз сабаби кам кардани марҳилаҳои раванд, раванди дугонаи дамаск метавонад самаранокии истеҳсолотро беҳтар кунад ва хароҷоти истеҳсолиро коҳиш диҳад.
▪Беҳтар кардани самаранокии пайвастҳои металлӣ:раванди дугонаи дамаскӣ метавонад ба пайвастҳои металлии тангтар ноил шавад ва ба ин васила интегратсия ва иҷрои схемаҳоро беҳтар кунад.
▪Коҳиши иқтидори паразитӣ ва муқовимат:бо истифода аз маводи диэлектрикии кам-к ва оптимизатсияи сохтори пайвастҳои металлӣ, иқтидори паразитӣ ва муқовиматро коҳиш додан мумкин аст, суръат ва қувваи барқро беҳтар мекунад.
Вақти фиристодан: Ноябр-25-2024