Фарқи байни PECVD ва LPCVD дар таҷҳизоти нимноқилҳои CVD чист?

Ҷойгиршавии буғи химиявӣ (CVD) ба процесси дар сатхи кремний гузоштани плёнкаи сахт дахл дорадвафлитавассути реаксияи химиявии омехтаи газ. Мувофиқи шароити гуногуни реаксия (фишор, прекурсор), онро ба моделҳои гуногуни таҷҳизот тақсим кардан мумкин аст.

Ин ду дастгоҳ барои кадом равандҳо истифода мешаванд?

PECVDТаҷҳизоти (Plasma Enhanced) аз ҳама зиёд ва бештар истифодашаванда аст, ки дар OX, Nitride, дарвозаи металлӣ, карбон аморфӣ ва ғайра истифода мешавад; LPCVD (Кувваи паст) одатан дар Nitride, poly, TEOS истифода мешавад.
Принсип чист?
PECVD-равандест, ки энергияи плазма ва CVD-ро ба таври комил муттаҳид мекунад. Технологияи PECVD плазмаи ҳарорати пастро истифода мебарад, то дар катодҳои камераи раванд (яъне табақи намуна) дар зери фишори паст разряди дурахширо ба вуҷуд орад. Ин разряди дурахшанда ё дигар дастгоҳи гармидиҳӣ метавонад ҳарорати намунаро ба сатҳи пешакӣ муайяншуда баланд бардорад ва сипас миқдори назоратшавандаи гази коркардро ҷорӣ кунад. Ин газ як қатор реаксияҳои кимиёвӣ ва плазмаро мегузаронад ва дар ниҳоят дар рӯи намуна плёнкаи сахт ба вуҷуд меорад.

LPCVD - Ҷойгиркунии буғи кимиёвии фишори паст (LPCVD) барои кам кардани фишори кории гази реаксия дар реактор то тақрибан 133Па ё камтар тарҳрезӣ шудааст.

Хусусиятҳои ҳар кадоми онҳо чист?

PECVD - Раванде, ки энергияи плазма ва CVD-ро ба таври комил муттаҳид мекунад: 1) Амалиёт дар ҳарорати паст (ҷилавгирӣ аз осеби ҳарорати баланд ба таҷҳизот); 2) афзоиши босуръати филм; 3) Дар бораи маводҳо интихобкунанда нест, OX, Nitride, дарвозаи металлӣ, карбон аморфӣ ҳама метавонанд афзоиш ёбанд; 4) Системаи мониторинги дар ин ҷо мавҷуд аст, ки метавонад рецептро тавассути параметрҳои ион, суръати ҷараёни газ, ҳарорат ва ғафсии филм танзим кунад.
LPCVD - Плёнкаҳои борике, ки аз ҷониби LPCVD ҷойгир карда шудаанд, фарогирии беҳтари қадам, назорати таркиб ва сохтори хуб, суръати баланди таҳшин ва баромад доранд. Илова бар ин, LPCVD гази интиқолдиҳандаро талаб намекунад, аз ин рӯ он манбаи ифлосшавии зарраҳоро хеле кам мекунад ва дар саноати нимноқилҳои арзиши иловашуда барои таҳшин кардани филми тунук васеъ истифода мешавад.

 

Хуш омадед ба ҳама муштариён аз тамоми ҷаҳон барои боздид аз мо барои муҳокимаи минбаъда!

https://www.vet-china.com/

https://www.vet-china.com/cvd-coating/

https://www.vet-china.com/silicon-carbide-sic-ceramic/