Як кӯраи кристаллӣ дастгоҳест, ки агармкунаки графитӣки масолехи кремнийи поликристалиро дар мухити гази инертй (аргон) гудохта, усули Чочральскиро барои руёндани монокристаллхои чудонашуда истифода мебарад. Он асосан аз системаҳои зерин иборат аст:
Системаи интиқоли механикӣ
Системаи интиқоли механикӣ системаи асосии амалиётии кӯраи яккристаллӣ мебошад, ки асосан барои назорати ҳаракати кристалҳо ватигельхо, аз ҷумла бардоштан ва гардиши кристаллҳои тухмӣ ва бардоштан ва гардишитигельхо. Он метавонад параметрҳоро ба монанди мавқеъ, суръат ва кунҷи гардиши кристалҳо ва тигелҳоро дақиқ танзим кунад, то пешрафти ҳамвор дар раванди афзоиши кристаллро таъмин кунад. Масалан, дар марҳилаҳои гуногуни афзоиши кристалл, аз қабили тухмӣ, гарданбандӣ, китф, афзоиши диаметри баробар ва думдор, ҳаракати кристаллҳои тухмӣ ва думҳо бояд аз ҷониби ин система дақиқ назорат карда шавад, то ба талаботи раванди афзоиши кристалл ҷавобгӯ бошад.
Системаи назорати ҳарорати гармидиҳӣ
Ин яке аз системаҳои асосии печи монокристаллӣ мебошад, ки барои тавлиди гармӣ ва дақиқ назорат кардани ҳарорат дар танӯр истифода мешавад. Он асосан аз ҷузъҳо ба монанди гармкунакҳо, сенсорҳои ҳарорат ва контроллерҳои ҳарорат иборат аст. Гармкунак одатан аз масолех, ба монанди графити тозаи баланд сохта мешавад. Пас аз тағир додани ҷараёни тағирёбанда ва коҳиш додани ҷараён, гармкунак гармиро барои гудохтани маводи поликристаллӣ, ба монанди полиссиликон дар тигел тавлид мекунад. Сенсори ҳарорат тағирёбии ҳароратро дар танӯр дар вақти воқеӣ назорат мекунад ва сигнали ҳароратро ба танзимгари ҳарорат интиқол медиҳад. Назоратчии ҳарорат қувваи гармиро мувофиқи параметрҳои муқарраршудаи ҳарорат ва сигнали ҳарорати бозгашт ба таври дақиқ назорат мекунад ва ба ин васила устувории ҳароратро дар танӯр нигоҳ медорад ва муҳити мувофиқро барои афзоиши кристалл таъмин мекунад.
Системаи вакуумӣ
Вазифаи асосии системаи вакуумӣ эҷод ва нигоҳ доштани муҳити вакуумӣ дар танӯр дар ҷараёни афзоиши кристалл мебошад. Ҳаво ва газҳои наҷосат дар танӯр тавассути насосҳои вакуумӣ ва таҷҳизоти дигар истихроҷ карда мешаванд, то фишори газ дар танӯр ба сатҳи бениҳоят паст, одатан аз 5TOR (torr) камтар бошад. Ин метавонад маводи кремнийро аз оксидшавӣ дар ҳарорати баланд пешгирӣ кунад ва тозагӣ ва сифати афзоиши кристаллро таъмин кунад. Ҳамзамон, муҳити вакуумӣ инчунин барои нест кардани ифлосиҳои идоранашаванда, ки дар ҷараёни афзоиши кристалл тавлид мешаванд ва беҳтар кардани сифати кристалл мусоидат мекунад.
Системаи Аргон
Системаи аргон дар муҳофизат ва танзими фишор дар кӯраи як кристалл нақш мебозад. Пас аз чангкашак гази аргон тозаи баланд (тоза бояд аз 6 9 боло бошад) ба танӯр пур карда мешавад. Аз як тараф, он метавонад аз вуруди ҳавои беруна ба танӯр пешгирӣ кунад ва маводи кремнийро аз оксидшавӣ пешгирӣ кунад; аз тарафи дигар, пур кардани гази аргон метавонад фишорро дар танӯр мӯътадил нигоҳ дорад ва барои афзоиши кристалл муҳити муносиби фишорро таъмин кунад. Илова бар ин, ҷараёни гази аргон инчунин метавонад гармии дар ҷараёни афзоиши кристалл тавлидшударо дур кунад ва нақши муайяни хунуккуниро иҷро кунад.
Системаи хунуккунии об
Вазифаи системаи хунуккунии об аз хунук кардани ҷузъҳои гуногуни ҳарорати баланд аз кӯраи яккристалл барои таъмини кори муқаррарӣ ва мӯҳлати хизмати таҷҳизот иборат аст. Дар вакти кори печи монокристалл гармкунак,тигель, электрод ва дигар кисмхо гармии зиёд хосил мекунанд. Агар онхо дар вакташ хунук карда нашаванд, тачхизот аз хад зиёд гарм мешавад, деформация мешавад ва хатто вайрон мешавад. Системаи хунуккунии об гармии ин ҷузъҳоро тавассути гардиши оби хунуккунӣ дур мекунад, то ҳарорати таҷҳизотро дар доираи бехатар нигоҳ дорад. Дар айни замон, системаи хунуккунии об инчунин метавонад дар танзими ҳарорат дар танӯр барои беҳтар кардани дақиқии назорати ҳарорат кӯмак кунад.
Системаи назорати барқ
Системаи идоракунии электрикй «мағзи» печи монокристаллӣ буда, барои назорат ва назорати кори тамоми таҷҳизот масъул аст. Он метавонад сигналҳоро аз сенсорҳои гуногун, аз қабили сенсорҳои ҳарорат, фишор, сенсорҳои мавқеъ ва ғайра қабул кунад ва дар асоси ин сигналҳо системаи интиқоли механикӣ, системаи назорати ҳарорати гармӣ, системаи вакуумӣ, системаи аргон ва системаи хунуккунии обро ҳамоҳанг ва назорат кунад. Масалан, дар ҷараёни афзоиши кристалл, системаи назорати электрикӣ метавонад ба таври худкор қудрати гармиро мувофиқи сигнали ҳарорате, ки аз ҷониби сенсори ҳарорат дода мешавад, танзим кунад; мувофиқи афзоиши кристалл, он метавонад суръати ҳаракат ва кунҷи гардиши кристалл ва тигли тухмиро назорат кунад. Дар баробари ин, системаи идоракунии электрикӣ инчунин функсияҳои ташхиси хатогиҳо ва сигнализатсия дорад, ки метавонанд шароити ғайримуқаррарии таҷҳизотро сари вақт ошкор кунанд ва кори бехатари таҷҳизотро таъмин кунанд.
Вақти фиристодан: сентябр-23-2024