CVD (таҳвили буғи химиявӣ) як усули маъмул барои тайёр кардани қабатҳои карбиди кремний мебошад.Сарпӯшҳои карбиди кремнийи CVDбисьёр хусусиятхои хоси ичрои кор доранд. Ин мақола усули тайёр кардани пӯшиши карбиди кремнийи CVD ва хусусиятҳои иҷрои онро муаррифӣ мекунад.
1. Усули тайёр карданиСарпӯши карбиди кремний CVD
Усули CVD прекурсорҳои газро дар шароити ҳарорати баланд ба қабатҳои сахти карбиди кремний табдил медиҳад. Мувофиқи прекурсорҳои гуногуни газӣ, онро метавон ба фазаи гази CVD ва фазаи моеъи CVD тақсим кард.
1. Марҳилаи буғ CVD
Фазаи буғ CVD барои ноил шудан ба афзоиши филмҳои карбиди кремний прекурсорҳои газӣ, одатан пайвастагиҳои кремний-органиро истифода мебарад. Пайвастагиҳои кремнийорганикии маъмулан истифодашаванда метилсилан, диметилсилан, моносилан ва ғайраро дар бар мегиранд, ки бо интиқоли прекурсорҳои газӣ ба камераҳои реаксияҳои ҳарорати баланд дар зери қабатҳои металлӣ филмҳои карбиди кремнийро ташкил медиҳанд. Минтақаҳои ҳарорати баланд дар камераи реаксия одатан тавассути гармкунии индуксионӣ ё гармкунии муқовимат ба вуҷуд меоянд.
2. Марҳилаи моеъ CVD
Дар марҳилаи моеъи CVD як прекурсори моеъ, одатан як ҳалкунандаи органикӣ, ки дорои кремний ва пайвастагии силанол аст, истифода мебарад, ки дар камераи реаксия гарм ва бухор карда мешавад ва сипас тавассути реаксияи химиявӣ дар субстрат филми карбиди кремний ба вуҷуд меояд.
2. Хусусиятҳои иҷроиСарпӯши карбиди кремний CVD
1.Excellent иҷрои ҳарорати баланд
Сарпӯшҳои карбиди кремнийи CVDустувории аълои ҳарорати баланд ва муқовимати оксидшавиро пешниҳод мекунанд. Он қодир аст дар муҳитҳои ҳарорати баланд кор кунад ва метавонад ба шароити шадид дар ҳарорати баланд тоб оварад.
2. Хусусиятҳои механикии хуб
Сарпӯши карбиди кремний CVDсахтии баланд ва муқовимати хуби фарсудашавӣ дорад. Он субстратҳои металлиро аз фарсудашавӣ ва зангзанӣ муҳофизат карда, мӯҳлати хизмати маводро дароз мекунад.
3. Устувории химиявии аъло
Сарпӯшҳои карбиди кремнийи CVDба моддаҳои кимиёвии маъмул ба монанди кислотаҳо, сілтҳо ва намакҳо тобовар мебошанд. Он ба ҳамлаи кимиёвӣ ва зангзании субстрат муқовимат мекунад.
4. Коэффисиенти пасти соиш
Сарпӯши карбиди кремний CVDкоэффи-циенти пасти соиш ва хосиятхои хуби худмолидани дорад. Он соиш ва фарсудашавиро кам мекунад ва самаранокии истифодаи маводро беҳтар мекунад.
5.Гузариши гармӣ
Кабати карбиди кремнийи CVD дорои хосиятҳои хуби гармидиҳӣ мебошад. Он метавонад зуд гармиро гузаронад ва самаранокии паҳншавии гармии пойгоҳи металлиро беҳтар кунад.
6.Excellent хосиятҳои гарминигоҳдорӣ барқ
Сарпӯши карбиди кремнийи CVD дорои хосиятҳои хуби изолятсияи электрикӣ мебошад ва метавонад аз ихроҷи ҷорӣ пешгирӣ кунад. Он дар муҳофизати изолятсияи дастгоҳҳои электронӣ васеъ истифода мешавад.
7. Ғафсӣ ва таркиби танзимшаванда
Бо назорати шароит дар ҷараёни CVD ва консентратсияи прекурсор, ғафсӣ ва таркиби филми карбиди кремнийро танзим кардан мумкин аст. Ин имконоти фаровон ва чандириро барои барномаҳои гуногун таъмин мекунад.
Хулоса, қабати кремнийи карбиди CVD дорои сифати аълои ҳарорати баланд, хосиятҳои хуби механикӣ, устувории хуби химиявӣ, коэффисиенти пасти соиш, гузариши хуби гармӣ ва хосиятҳои изолятсияи электрикӣ мебошад. Ин хосиятҳо рӯйпӯшҳои карбиди кремнийи CVD-ро дар бисёр соҳаҳо, аз ҷумла электроника, оптика, аэрокосмос, саноати кимиё ва ғайра васеъ истифода мебаранд.
Вақти фиристодан: 20 март-2024