Ташаккули оксиди кремний дар сатҳи кремний оксидшавӣ номида мешавад ва эҷоди дуоксиди кремнийи устувор ва сахт часпида боиси тавлиди технологияи нақшавии схемаи интегралии кремний гардид. Ҳарчанд роҳҳои зиёде барои парвариши диоксиди кремний мустақиман дар рӯи кремний вуҷуд доранд, он одатан тавассути оксидшавии ҳароратӣ анҷом дода мешавад, яъне ба муҳити оксидкунандаи баланд (оксиген, об) дучор кардани кремний мебошад. Усулҳои оксидшавии гармидиҳӣ метавонанд ғафсии филм ва хусусиятҳои интерфейси кремний/диоксиди кремнийро ҳангоми тайёр кардани филмҳои диоксиди кремний назорат кунанд. Усулҳои дигари парвариши диоксиди кремний анодизатсияи плазма ва анодизатсияи тар мебошанд, аммо ҳеҷ яке аз ин усулҳо дар равандҳои VLSI васеъ истифода намешаванд.
Силикон тамоюли ташаккули диоксиди кремнийи устуворро нишон медиҳад. Агар кремнийи тоза кандашуда ба муҳити оксидкунанда (масалан, оксиген, об) дучор шавад, он ҳатто дар ҳарорати хонагӣ қабати хеле тунуки оксиди (<20Å) ба вуҷуд меорад. Вақте ки кремний ба муҳити оксидкунанда дар ҳарорати баланд дучор мешавад, қабати ғафси оксид бо суръати тезтар тавлид мешавад. Механизми асосии пайдоиши диоксиди кремний аз кремний хуб фаҳмида шудааст. Дейл ва Гроув модели математикиро таҳия карданд, ки динамикаи афзоиши филмҳои оксидиро аз 300Å ғафстар тавсиф мекунад. Онҳо пешниҳод карданд, ки оксидшавӣ ба таври зерин сурат мегирад, яъне оксидант (молекулаҳои об ва молекулаҳои оксиген) тавассути қабати оксиди мавҷуда ба интерфейси Si/SiO2 паҳн мешавад, ки дар он оксидант бо кремний реаксия карда, оксиди кремнийро ба вуҷуд меорад. Реаксияи асосии ташаккули диоксиди кремний ба таври зерин тавсиф карда мешавад:
Реаксияи оксидшавӣ дар интерфейси Si/SiO2 ба амал меояд, бинобар ин, вақте ки қабати оксид афзоиш меёбад, кремний пайваста истеъмол мешавад ва интерфейс тадриҷан кремнийро ишғол мекунад. Мувофиқи зичӣ ва вазни молекулавии кремний ва диоксиди кремний, муайян кардан мумкин аст, ки кремний барои ғафсии қабати оксиди ниҳоӣ 44% -ро ташкил медиҳад. Бо ин роҳ, агар қабати оксид 10,000Å калон шавад, 4400Å кремний сарф мешавад. Ин муносибат барои ҳисоб кардани баландии қадамҳои дар рӯи замин ташкилшуда муҳим аствафли кремний. Қадамҳо натиҷаи суръати гуногуни оксидшавӣ дар ҷойҳои гуногун дар сатҳи вафли кремний мебошанд.
Мо инчунин маҳсулоти графити баландсифат ва карбиди кремнийро таъмин мекунем, ки дар коркарди вафли ба монанди оксидшавӣ, диффузия ва тозакунӣ васеъ истифода мешаванд.
Хуш омадед ба ҳама муштариён аз тамоми ҷаҳон барои боздид аз мо барои муҳокимаи минбаъда!
https://www.vet-china.com/
Вақти фиристодан: Ноябр-13-2024