рӯйпӯши sic рӯйпӯши карбиди кремний Кабати SiC аз субстрати графитӣ барои нимноқил фаро гирифта шудааст

SiC дорои хосиятҳои хуби физикӣ ва химиявӣ, ба монанди нуқтаи обшавии баланд, сахтии баланд, муқовимат ба зангзанӣ ва муқовимати оксидшавӣ. Махсусан дар доираи 1800-2000 ℃, SiC муқовимати хуби абляция дорад. Аз ин рӯ, он дорои дурнамои васеи татбиқ дар аэрокосмос, таҷҳизоти силоҳ ва дигар соҳаҳо мебошад. Аммо, худи SiC наметавонад ҳамчунсохторӣмоддӣ,аз ин рӯ, усули пӯшиш одатан барои истифодаи муқовимат ба фарсудашавӣ ва муқовимати аблатсия истифода мешавадce.

93Гармкунаки субстратӣ MOCVD, Унсурҳои гармидиҳӣ барои MOCVD1

Карбиди кремний(SIC) маводи нимноқил насли сеюми сeмаводи микроноқил, ки баъд аз маводи нимноқилҳои насли аввал (Si, GE) ва маводи нимноқилҳои насли дуюм (GaAs, гап, InP ва ғ.) таҳия шудааст. Ҳамчун як маводи нимноқилҳои васеъи банд, карбиди кремний дорои хусусиятҳои паҳнои фарогирии калон, қувваи баланди майдони шикаста, гузариши баланди гармӣ, суръати баланди дрейфти интиқолдиҳанда, доимии хурди диэлектрикӣ, муқовимати радиатсионӣ ва устувории хуби химиявӣ мебошад. Онро барои истеҳсоли дастгоҳҳои гуногуни басомади баланд ва пурқудрати дорои муқовимати ҳарорати баланд истифода бурдан мумкин аст ва метавонад дар ҳолатҳое истифода шавад, ки дастгоҳҳои кремний қобилият надоранд, ё ба вуҷуд меорад, ки дастгоҳҳои кремний дар барномаҳои умумӣ душвор аст.

Аризаи асосӣ: барои буридани сим аз кремний 3-12 дюймаи monocrystalline, кремний polycrystalline, арсениди калий, кристалл кварц ва ғайра истифода бурда мешавад. Маводҳои коркарди муҳандисӣ барои саноати фотоэлектрикҳои офтобӣ, саноати нимноқилҳо ва саноати булӯри пьезоэлектрикӣ.Истифода бурда мешаваднимноқил, асбоби барқ, унсури схема, истифодаи ҳарорати баланд, детектори ултрабунафш, маводи сохторӣ, астрономия, тормози диск, муфта, филтри зарраҳои дизелӣ, пирометри филаментӣ, плёнкаи сафолӣ, асбоби буриш, унсури гармидиҳӣ, сӯзишвории ядроӣ, ҷавоҳирот, пӯлод, таҷҳизоти муҳофизатӣ, дастгирии катализатор ва дигар соҳаҳо


Вақти фиристодан: 17 феврали 2022
Чат онлайни WhatsApp!