Сарпӯши SiC-ро бо роҳи таҳшинкунии буғи кимиёвӣ (CVD), трансформатсияи прекурсорҳо, пошидани плазма ва ғайра омода кардан мумкин аст. Пӯшишҳое, ки тавассути таҳшинкунии буғи ХИМИЯвӣ омода карда шудаанд, яксон ва паймон буда, тарҳрезии хуб доранд. Истифодаи метил трихлосилан. (CHzSiCl3, MTS) ҳамчун манбаи кремний, молидани SiC...
Бештар