Бо истеҳсоли тадриҷии оммавии субстратҳои гузаронандаи SiC, барои устуворӣ ва такроршавандагии раванд талаботҳои баландтар гузошта мешаванд. Махсусан, назорати камбудиҳо, танзими хурд ё драфти майдони гармӣ дар танӯр ба тағирёбии кристалл ё афзоиши камбудиҳо оварда мерасонад. Дар давраи минбаъда мо бояд бо мушкилоти «зуд, дароз ва ғафс ва калон шудан» рӯ ба рӯ шавем, ба ғайр аз такмили назария ва муҳандисӣ, мо инчунин ба маводи пешрафтаи майдони гармӣ ҳамчун дастгирӣ ниёз дорем. Маводҳои пешрафтаро истифода баред, кристаллҳои пешрафта парвариш кунед.
Истифодаи нодурусти масолеҳи тигель, аз қабили графит, графити ковок, хокаи карбиди тантал ва ғайра дар майдони гарм боиси камбудиҳо мегардад, ба монанди зиёдшавии таркиби карбон. Гайр аз ин, дар баъзе замимхо гузариши графити ковок кифоя нест ва барои зиёд кардани гузариш сурохихои иловагй лозим аст. Графити ковоки дорои гузариши баланд бо мушкилоти коркард, хориҷ кардани хока, абрешим ва ғайра дучор меояд.
VET насли нави масолеҳи майдони гармии кристаллҳои SiC - карбиди танталиро ҷорӣ мекунад. Як дебюти ҷаҳонӣ.
Қувват ва сахтии карбиди тантал хеле баланд аст ва ковок кардани он душвор аст. Сохтани карбиди танталии ковок бо порозияи калон ва тозагии баланд кори бузург аст. Технологияи Hengpu як карбиди рахнашудаи танталро бо порозияи калон ба кор андохтааст, ки ҳадди аксар 75% пора карда, дар ҷаҳон пешсаф аст.
Филтркунии ҷузъҳои марҳилаи газ, танзими градиенти ҳарорати маҳаллӣ, самти ҷараёни мавод, назорати ихроҷ ва ғайраро истифода бурдан мумкин аст. Он метавонад бо дигар карбиди сахти тантал (паймон) ё рӯйпӯши карбиди тантал аз Hengpu Technology барои ташаккул додани ҷузъҳои маҳаллӣ бо гузарониши ҷараёни гуногун истифода шавад.
Баъзе ҷузъҳо метавонанд дубора истифода шаванд.
Вақти фиристодан: июл-14-2023