1. Баррасиисубстрати карбиди кремнийтехнологияи коркард
Дар ҳоли ҳозирсубстрати карбиди кремний қадамҳои коркард иборатанд аз: дастос кардани ҳалқаи берунӣ, буридан, буридан, дастос кардан, сайқал додан, тоза кардан ва ғайра. Бурида кардан як қадами муҳим дар коркарди субстратҳои нимноқил ва қадами калидӣ дар табдил додани ингот ба субстрат мебошад. Дар айни замон буриданисубстратҳои карбиди кремнийасосан симбурй мебошад. Буридани slurry чанд-сим беҳтарин усули буридани сим дар айни замон аст, вале то ҳол мушкилоти сифати пасти буридан ва талафоти зиёди буридан вуҷуд дорад. Талафоти буридани сим бо зиёд шудани андозаи субстрат зиёд мешавад, ки ба он мусоидат намекунадсубстрати карбиди кремнийистеҳсолкунандагон барои ноил шудан ба кам кардани хароҷот ва баланд бардоштани самаранокӣ. Дар раванди буридан8-дюймаи карбиди кремний субстратҳо, шакли рӯизаминии субстрате, ки бо буридани сим ба даст омадааст, бад аст ва хусусиятҳои ададӣ ба монанди WARP ва BOW хуб нест.
Буридан қадами калидӣ дар истеҳсоли субстратҳои нимноқил мебошад. Саноат пайваста усулҳои нави буридан, аз қабили сим буридани алмос ва буридани лазерро месанҷад. Технологияи тозакунии лазерӣ дар вақтҳои охир хеле ҷустуҷӯ карда шуд. Чорй намудани ин технология талафоти буриданро кам мекунад ва аз принципи техникй самаранокии буришро бехтар мекунад. Маҳлули рахнакунии лазерӣ ба сатҳи автоматизатсия талаботи баланд дорад ва барои ҳамкорӣ бо он технологияи борикро талаб мекунад, ки ба самти рушди ояндаи коркарди субстрат карбиди кремний мувофиқат мекунад. Ҳосили буридаи буридани симҳои анъанавии миномет умуман 1,5-1,6 аст. Ҷорӣ кардани технологияи рахнакунии лазерӣ метавонад ҳосили буридаро то тақрибан 2,0 афзоиш диҳад (ба таҷҳизоти DISCO нигаред). Дар оянда, бо зиёд шудани камолоти технологияи рахнакунии лазерӣ, ҳосили бурида метавонад боз ҳам беҳтар карда шавад; дар айни замон, буридани лазерӣ инчунин метавонад самаранокии буриданро хеле беҳтар кунад. Тибқи таҳқиқоти бозор, пешвои соҳа DISCO як буридаро дар тӯли 10-15 дақиқа буридааст, ки ин нисбат ба буридани сими ҳозираи 60 дақиқа дар як бурида хеле самараноктар аст.
Марҳилаҳои раванди буридани сими анъанавии субстратҳои карбиди кремний инҳоянд: буридани сим-дастоскунии ноҳамвор-дастоскунии ноҳамвор-сайқал додани ноҳамвор ва сайқал додани хуб. Пас аз он ки раванди буридани лазерӣ буридани симро иваз мекунад, раванди бориккунӣ барои иваз кардани раванди дастос истифода мешавад, ки талафоти буридаҳоро коҳиш медиҳад ва самаранокии коркардро беҳтар мекунад. Раванди буридани лазерии буридан, суфтан ва сайқал додани субстратҳои карбиди кремний ба се марҳила тақсим мешавад: сканеркунии сатҳи лазерӣ-каниш кардани субстрат-ҳамвор кардани зарфҳо: сканеркунии сатҳи лазерӣ истифодаи импулсҳои лазерии ултратез барои коркарди сатҳи ингот барои ташаккули як шакли тағирёфта мебошад. қабати дохили зарф; канда кардани субстрат бо усулҳои физикӣ ҷудо кардани субстрат дар болои қабати тағирёфта аз зарф аст; хамворкунии порча ин нест кардани кабати тагйирёфтаи сатхи хунар барои таъмини хамвории сатхи ангур мебошад.
Раванди тозакунии лазерии карбиди кремний
2. Пешрафти байналхалқӣ дар технологияи рахнакунии лазерӣ ва ширкатҳои ширкаткунандаи саноат
Раванди тозакунии лазер бори аввал аз ҷониби ширкатҳои хориҷӣ қабул карда шуд: Дар соли 2016, DISCO-и Ҷопон технологияи нави буридани лазерии KABRA-ро таҳия кард, ки қабати ҷудокуниро ташкил медиҳад ва вафлиҳоро дар умқи муайян тавассути шуоъдиҳии пайваста бо лазер ҷудо мекунад, ки онро барои корҳои гуногун истифода бурдан мумкин аст. намудҳои зарфҳои SiC. Дар моҳи ноябри соли 2018, Infineon Technologies Siltectra GmbH -ро ба маблағи 124 миллион евро ба даст овард. Охирин раванди тақсимкунии сардро таҳия кардааст, ки технологияи лазерии патентиро барои муайян кардани диапазони тақсимкунӣ, пӯшидани маводи махсуси полимерӣ, системаи назорати фишори хунуккунӣ, ба таври дақиқ тақсим кардани маводҳо ва майда кардан ва тоза кардани вафли буридан истифода мебарад.
Дар солҳои охир, баъзе ширкатҳои ватанӣ низ ба саноати таҷҳизоти рахи лазерӣ ворид шуданд: ширкатҳои асосӣ Han's Laser, Delong Laser, West Lake Instrument, Universal Intelligence, China Electronics Technology Group Corporation ва Институти нимноқилҳои Академияи илмҳои Чин мебошанд. Дар байни онҳо, ширкатҳои номбаршудаи Han's Laser ва Delong Laser муддати тӯлонӣ дар тарҳрезӣ буданд ва маҳсулоти онҳо аз ҷониби муштариён тафтиш карда мешаванд, аммо ширкат дорои хатҳои зиёди маҳсулот аст ва таҷҳизоти лазерии лазерӣ танҳо яке аз тиҷорати онҳост. Маҳсулоти ситораҳои афзоянда ба монанди West Lake Instrument ба интиқоли расмии фармоиш ноил шудаанд; Universal Intelligence, China Electronics Technology Group Corporation 2, Институти нимноқилҳои Академияи илмҳои Чин ва дигар ширкатҳо низ пешрафти таҷҳизотро нашр карданд.
3. Омилҳои пешбарандаи рушди технологияи рахи лазерӣ ва ритми ҷорӣ намудани бозор
Паст шудани нархи субстратҳои карбиди кремнийи 6 дюймӣ ба рушди технологияи лағзиши лазерӣ мусоидат мекунад: Дар айни замон, нархи субстратҳои карбиди 6 дюймаи кремний аз 4000 юан / порча паст шуда, ба нархи арзиши баъзе истеҳсолкунандагон наздик шудааст. Раванди буридани лазерӣ дорои сатҳи баланди ҳосилнокӣ ва даромаднокии қавӣ мебошад, ки суръати воридшавии технологияи рахнакунии лазерро афзоиш медиҳад.
Тунукшавии субстратҳои карбиди кремнийи 8 дюймӣ ба рушди технологияи рахнаи лазерӣ мусоидат мекунад: Ғафсии субстратҳои карбиди кремнийи 8 дюймӣ дар айни замон 500um аст ва то ғафсии 350um инкишоф меёбад. Раванди буридани сим дар коркарди карбиди кремнийи 8 дюймӣ самаранок нест (сатҳи субстрат хуб нест) ва арзишҳои BOW ва WARP ба таври назаррас бад шудаанд. Тозакунии лазерӣ ҳамчун технологияи зарурии коркард барои коркарди субстрат карбиди кремнийи 350um ҳисобида мешавад, ки суръати воридшавии технологияи рахи лазериро афзоиш медиҳад.
Интизориҳои бозор: Таҷҳизоти кандакории лазерии субстрати SiC аз тавсеаи 8-дюймаи SiC ва коҳиши арзиши 6-дюймаи SiC фоида меорад. Нуктаи халкунандаи хозираи саноат наздик шуда истодааст, тараккиёти саноат хеле тезонда мешавад.
Вақти фиристодан: июл-08-2024