Ҷойгиршавии буғи химиявӣ(CVD)технологияи васеъ истифодашаванда дар саноати нимноқилҳо барои гузоштани маводҳои гуногун, аз ҷумла доираи васеи масолеҳи изолятсия, аксари маводи металлӣ ва маводи хӯлаи металлӣ мебошад.
CVD технологияи анъанавии тайёр кардани филми тунук аст. Принсипи он истифодаи прекурсорҳои газӣ барои таҷзия кардани ҷузъҳои муайяни прекурсор тавассути реаксияҳои кимиёвии байни атомҳо ва молекулаҳо ва сипас дар субстрат як филми тунук ташкил кардан аст. Хусусиятҳои асосии КВД инҳоянд: тағироти химиявӣ (реаксияҳои кимиёвӣ ё таҷзияи гармӣ); тамоми маводҳои филм аз манбаъҳои беруна гирифта мешаванд; реаксияҳо бояд дар реаксия дар шакли фазаи газ иштирок кунанд.
Ҷойгиркунии буғи кимиёвии фишори паст (LPCVD), таҳшиншавии буғи кимиёвии плазма (PECVD) ва таҳшиншавии буғи кимиёвии плазмаи зичии баланд (HDP-CVD) се технологияи маъмули CVD мебошанд, ки дар ҷойгиркунии мавод, талаботи таҷҳизот, шароити раванд ва ғайра фарқияти назаррас доранд. Дар зер шарҳи оддӣ ва муқоисаи ин се технология оварда шудааст.
1. LPCVD (CVD фишори паст)
Принсип: Раванди CVD дар шароити фишори паст. Принсипи он ворид кардани гази реаксия ба камераи реаксия дар зери вакуум ё муҳити фишори паст, таҷзия ё реаксияи газ бо ҳарорати баланд ва ташаккул додани як филми сахт дар сатҳи субстрат мебошад. Азбаски фишори паст бархӯрди газ ва турбулентиро коҳиш медиҳад, якрангӣ ва сифати филм беҳтар мешавад. LPCVD ба таври васеъ дар диоксиди кремний (LTO TEOS), нитриди кремний (Si3N4), полисиликон (POLY), шишаи фосфосиликатӣ (BSG), шишаи борофосфосиликатӣ (BPSG), полисиликони допшуда, графен, нанотубаҳои карбон ва дигар филмҳо истифода мешавад.
Вижагиҳо:
▪ Ҳарорати раванд: одатан дар байни 500 ~ 900 ° C, ҳарорати раванд нисбатан баланд аст;
▪ Диапазони фишори газ: муҳити пасти фишори 0,1~10 Тор;
▪ Сифати филм: сифати баланд, якрангии хуб, зичии хуб ва камбудӣ;
▪ Меъёри пасандозҳо: суръати сусти пасандоз;
▪ Якхела: мувофиқ барои субстратҳои калонҳаҷм, таҳшини якхела;
Афзалиятҳо ва нуқсонҳо:
▪ Плёнкаҳои хеле якранг ва зичро гузоштан мумкин аст;
▪ Дар заминаҳои калонҳаҷм, ки барои истеҳсоли омма мувофиқанд, хуб кор мекунад;
▪ арзиши паст;
▪ Ҳарорати баланд, барои маводи ба гармӣ ҳассос мувофиқ нест;
▪ Суръати пасандозҳо суст ва ҳосили он нисбатан паст аст.
2. PECVD (CVD такмилёфтаи плазма)
Принсип: Истифодаи плазма барои фаъол кардани реаксияҳои фазаҳои газ дар ҳарорати паст, ионизатсия ва таҷзия кардани молекулаҳо дар гази реаксия ва сипас дар сатҳи субстрат филмҳои тунук ҷойгир кунед. Энергияи плазма метавонад ҳарорати барои реаксия заруриро хеле паст кунад ва доираи васеи барномаҳо дорад. Плёнкахои гуногуни металлй, плёнкахои гайриорганикй ва плёнкахои органики тайёр кардан мумкин аст.
Вижагиҳо:
▪ Ҳарорати раванд: одатан дар байни 200 ~ 400 ° C, ҳарорат нисбатан паст аст;
▪ Диапазони фишори газ: одатан садҳо мТорр то якчанд Торр;
▪ Сифати филм: гарчанде ки якрангии плёнка хуб аст, зичӣ ва сифати плёнка аз сабаби нуқсонҳое, ки тавассути плазма ворид шуда метавонанд, ба мисли LPCVD хуб нестанд;
▪ Меъёри пасандоз: суръати баланд, самаранокии баланди истеҳсолот;
▪ Якранг: каме пасттар аз LPCVD дар субстратҳои калонҳаҷм;
Афзалиятҳо ва нуқсонҳо:
▪ Плёнкаҳои тунукро дар ҳарорати пасттар гузоштан мумкин аст, ки барои маводи ба гармӣ ҳассос мувофиқанд;
▪ Суръати пошидани зуд, ки барои истеҳсоли самаранок мувофиқ аст;
▪ Раванди чандир, хосиятҳои плёнкаро тавассути танзими параметрҳои плазма идора кардан мумкин аст;
▪ Плазма метавонад нуқсонҳои плёнка ба монанди сӯрохиҳо ё якранг надошта бошад;
▪ Дар муқоиса бо LPCVD, зич ва сифати филм каме бадтар аст.
3. HDP-CVD (CVD зичии баланд плазма)
Принсип: Технологияи махсуси PECVD. HDP-CVD (инчунин бо номи ICP-CVD маълум аст) метавонад нисбат ба таҷҳизоти анъанавии PECVD дар ҳарорати пасттари таҳшин зичии плазма ва сифати баландтар тавлид кунад. Илова бар ин, HDP-CVD ҷараёни қариб мустақили ионҳо ва назорати энергияро таъмин намуда, қобилияти пур кардани чуқурӣ ё сӯрохҳоро барои таҳшиншавии филми серталаб, ба монанди пӯшишҳои зидди инъикос, таҳшиншавии маводи доимии диэлектрикӣ ва ғайра беҳтар мекунад.
Вижагиҳо:
▪ Ҳарорати раванд: ҳарорати хонагӣ то 300 ℃, ҳарорати раванд хеле паст аст;
▪ Диапазони фишори газ: аз 1 то 100 мТорр, камтар аз PECVD;
▪ Сифати филм: зичии баланди плазма, сифати баланди филм, якрангии хуб;
▪ Меъёри пасандозҳо: сатҳи пасандозҳо дар байни LPCVD ва PECVD, каме баландтар аз LPCVD аст;
▪ Якхела: аз сабаби плазмаи зичии баланд, якрангии плёнка аъло буда, барои сатҳҳои субстратҳои мураккаб мувофиқ аст;
Афзалиятҳо ва нуқсонҳо:
▪ Қобилияти гузоштани плёнкаҳои баландсифат дар ҳарорати паст, ки барои маводи ба гармӣ ҳассос хеле мувофиқ аст;
▪ Якрангии аълои плёнка, зичӣ ва ҳамвор будани сатҳ;
▪ Зичии баландтари плазма якрангии таҳшин ва хосиятҳои плёнкаро беҳтар мекунад;
▪ Таҷҳизоти мураккаб ва арзиши баланд;
▪ Суръати таҳшиншавӣ суст аст ва энергияи баландтари плазма метавонад миқдори ками зарар расонад.
Хуш омадед ба ҳама муштариён аз тамоми ҷаҳон барои боздид аз мо барои муҳокимаи минбаъда!
https://www.vet-china.com/
https://www.facebook.com/people/Ningbo-Miami-Advanced-Material-Technology-Co-Ltd/100085673110923/
https://www.linkedin.com/company/100890232/admin/page-posts/published/
https://www.youtube.com/@user-oo9nl2qp6j
Вақти интишор: Декабр-03-2024