ЧИ ГУНА ВАФЛИ СИЛИКОНИРО МЕСОЗЕД
A вафлияк буридаи кремнийи тақрибан 1 миллиметр ғафсӣ аст, ки ба шарофати расмиёти аз ҷиҳати техникӣ хеле серталаб сатҳи ниҳоят ҳамвор дорад. Истифодаи минбаъда муайян мекунад, ки кадом тартиби парвариши кристалл бояд истифода шавад. Масалан, дар процесси Чочральский кремнийи поликристалиро гудохта, ба кремнийи гудохта кристалли тухмии тунуки қалам тар карда мешавад. Пас аз он кристали тухмӣ гардиш карда, оҳиста ба боло кашида мешавад. Як колосси хеле вазнин, як кристалл, натиҷа медиҳад. Бо илова кардани воҳидҳои хурди допантҳои тозаи баланд хосиятҳои электрикии монокристаллро интихоб кардан мумкин аст. Кристаллҳо мувофиқи мушаххасоти муштарӣ допинг карда мешаванд ва сипас сайқал дода, ба бурида бурида мешаванд. Пас аз марҳилаҳои гуногуни истеҳсолӣ, муштарӣ вафли мушаххаси худро дар бастабандии махсус қабул мекунад, ки ба фармоишгар имкон медиҳад, ки вафлиро фавран дар хати истеҳсоли худ истифода барад.
ПРОЦЕССИ ЧОЧРАЛЬСКИЙ
Имрӯз, қисми зиёди монокристалҳои кремний аз рӯи раванди Чочральски парвариш карда мешаванд, ки гудохтани кремнийи поликристалии баландсифатро дар тигели кварси гиперсоф ва илова кардани допант (одатан B, P, As, Sb) дар бар мегирад. Кристали тухмии тунуки монокристаллӣ ба кремний гудохта карда мешавад. Пас аз ин кристали борик як кристали калони CZ ба вуҷуд меояд. Танзими дақиқи ҳарорат ва ҷараёни кремнийи гудохта, гардиши кристалл ва тигель, инчунин суръати кашидани кристалл ба ҳосили хеле баландсифати силикии монокристаллӣ оварда мерасонад.
УСУЛИ МИНТАКАИ ФЛОАТ
Монокристаллҳое, ки аз рӯи усули минтақаи шинокунанда истеҳсол шудаанд, барои истифода дар ҷузъҳои нимноқилҳои барқ, ба монанди IGBT, беҳтаринанд. Як силиндрии поликристалии силикӣ дар болои катраи индуксионӣ насб карда шудааст. Майдони электромагнитии радиобасомад барои гудохтани кремний аз қисми поёнии чӯб кӯмак мекунад. Майдони электромагнитӣ ҷараёни кремнийро тавассути сӯрохи хурди катраи индуксионӣ ва ба монокристалл, ки дар зер ҷойгир аст, танзим мекунад (усули минтақаи шинокунанда). Допинг, одатан бо B ё P, тавассути илова кардани моддаҳои газӣ ба даст оварда мешавад.
Вақти фиристодан: июн-07-2021