Монкристалл SiC як маводи нимноқилҳои пайвастаи Гурӯҳи IV-IV мебошад, ки аз ду элемент, Si ва C, бо таносуби стехиометрии 1:1 иборат аст. Сахтии он пас аз алмос дуюм аст.
Усули коҳиши карбон аз оксиди кремний барои тайёр кардани SiC асосан ба формулаи реаксияи химиявии зерин асос ёфтааст:
Раванди реаксияи коҳиши карбон оксиди кремний нисбатан мураккаб аст, ки дар он ҳарорати реаксия бевосита ба маҳсулоти ниҳоӣ таъсир мерасонад.
Дар раванди тайёр кардани карбиди кремний, ашёи хом аввал дар печи муқовимат ҷойгир карда мешавад. Танӯри муқовимат аз деворҳои охири ҳар ду канор иборат буда, дар марказ электроди графитӣ дорад ва ядрои печӣ ду электродро мепайвандад. Дар канори ядрои танӯр аввал ашёи хоми дар реаксия иштироккунанда ва баъд маводҳое, ки барои нигоҳдории гармӣ истифода мешаванд, дар канори он ҷойгир карда мешаванд. Хангоми огози гудохтан ба печи муковимат кувваи электр дода мешавад ва харорат аз 2600 то 2700 дарача гарм мешавад. Энергияи гармии электр ба заряд тавассути сатхи магзи печь мегузарад ва боиси тадричан гарм шудани он мегардад. Вақте ки ҳарорати заряд аз 1450 дараҷа зиёд мешавад, реаксияи химиявӣ барои тавлиди карбиди кремний ва гази оксиди карбон ба амал меояд. Дар баробари давом додани процесси гудохтан майдони харорати баланд дар заряд тадричан васеъ мешавад ва микдори карбиди кремний хосилшуда низ меафзояд. Карбиди кремний дар танӯр пайваста ба вуҷуд меояд ва тавассути бухоршавӣ ва ҳаракат кристаллҳо тадриҷан калон мешаванд ва дар ниҳоят ба кристаллҳои силиндрӣ ҷамъ мешаванд.
Қисме аз девори дарунии кристалл аз сабаби ҳарорати баланд аз 2600 дараҷа зиёд пусида мешавад. Элементи кремний, ки дар натиҷаи таҷзия ҳосил мешавад, бо элементи карбон дар заряд дубора муттаҳид шуда, карбиди нави кремнийро ба вуҷуд меорад.
Вақте ки реаксияи химиявии карбиди кремний (SiC) ба итмом мерасад ва танӯр сард мешавад, қадами оянда метавонад оғоз шавад. Аввал деворхои печьхоро канда, баъд ашьёи хоми печьро интихоб карда, кабат ба кабат разряд мекунанд. Ашьёи хоми интихобшуда майда карда мешавад, то маводи гранулӣ, ки мо мехоҳем, ба даст орем. Минбаъд, ифлосиҳо дар ашёи хом тавассути об шустан ё тоза кардан бо маҳлулҳои кислота ва сілтӣ, инчунин ҷудокунии магнитӣ ва усулҳои дигар хориҷ карда мешаванд. Ашьёи хоми тозашударо хушк кардан ва баъд аз нав экран кардан лозим аст ва дар охир хокаи карбиди кремнийро гирифтан мумкин аст. Дар ҳолати зарурӣ, ин хокаҳо метавонанд минбаъд аз рӯи истифодаи воқеӣ коркард карда шаванд, ба монанди шакл додан ё суфтакунии майда, барои истеҳсоли хокаи карбиди кремний.
Қадамҳои мушаххас инҳоянд:
(1) Ашёи хом
Хокаи микрокарбиди кремнийи сабз бо роҳи майда кардани карбиди кремнийи сабз истеҳсол карда мешавад. Таркиби химиявии карбиди кремний бояд аз 99% зиёд ва оксиди озоди карбон ва оҳан камтар аз 0,2% бошад.
(2) шикаста
Барои майда кардани реги карбиди кремний ба хокаи майда, дар айни замон дар Чин ду усул истифода мешавад, яке осиёби фосилавии тар ва дигаре бо истифода аз осиёб хокаи ҷараёни ҳаво майда кардан аст.
(3) Ҷудокунии магнитӣ
Новобаста аз он ки кадом усул барои майда кардани хокаи карбиди кремний ба хокаи хуб истифода мешавад, одатан ҷудокунии магнитии тар ва ҷудокунии магнитии механикӣ истифода мешаванд. Ин дар он аст, ки дар вақти ҷудокунии магнитии тар хок нест, маводи магнитӣ пурра ҷудо карда мешавад, маҳсулот пас аз ҷудокунии магнитӣ камтар оҳан дорад ва хокаи карбиди кремний, ки маводи магнитӣ гирифтаанд, низ камтар аст.
(4) Ҷудокунии об
Принсипи асосии усули ҷудокунии об истифодаи суръати гуногуни ҷойгиршавии зарраҳои карбиди кремнийи диаметрҳои гуногун дар об барои анҷом додани ҷудокунии андозаи зарраҳо мебошад.
(5) Скрининги ултрасадо
Бо рушди технологияи ултрасадо, он инчунин дар скрининги ултрасадои технологияи микро-хока ба таври васеъ истифода шудааст, ки метавонад асосан мушкилоти скринингро, аз қабили адсорбсияи қавӣ, агломератсияи осон, қувваи баланди статикӣ, ҷаримавии баланд, зичии баланд ва вазни хоси нурро ҳал кунад. .
(6) Санҷиши сифат
Санҷиши сифати хокаи хурд таркиби химиявӣ, таркиби андозаи зарраҳо ва дигар чизҳоро дар бар мегирад. Барои усулҳои санҷиш ва стандартҳои сифат, лутфан ба "Шартҳои техникии карбиди кремний" муроҷиат кунед.
(7) Истеҳсоли хоки дастос
Пас аз он ки хокаи микро гурӯҳбандӣ ва экран карда мешавад, сари маводро барои тайёр кардани хокаи дастос истифода бурдан мумкин аст. Истеҳсоли хокаи дастос метавонад партовҳоро коҳиш диҳад ва занҷири маҳсулотро дароз кунад.
Вақти фиристодан: май-13-2024