Дар ҷараёни эпитаксияи фазаи буғӣ (VPE), нақши поя аз дастгирии субстрат ва таъмини гармии якхела дар ҷараёни афзоиш иборат аст. Намудҳои гуногуни пояҳо барои шароити гуногуни афзоиш ва системаҳои моддӣ мувофиқанд. Дар зер баъзе аз намудҳои пьедесталҳои маъмулан дар марҳилаи буғ истифодашаванда мавҷудандэпитаксия:
Пойгоҳи баррел
Пойафзолҳои баррел одатан дар системаҳои эпитаксионии фазаи буғи уфуқӣ ё майлӣ истифода мешаванд. Онҳо метавонанд субстратро нигоҳ доранд ва имкон медиҳанд, ки газ аз болои субстрат ҷорӣ шавад, ки ба афзоиши яксони эпитаксиалӣ мусоидат мекунад.
Пойгоҳи дискшакл (пьедестали амудӣ)
Пойафзолҳои дискшакл барои системаҳои эпитаксионии фазаи буғи амудӣ мувофиқанд, ки дар онҳо субстрат амудӣ ҷойгир аст. Ин тарҳ барои кам кардани майдони тамос байни субстрат ва ҳассосият кӯмак мекунад ва ба ин васила талафоти гармӣ ва олудашавии эҳтимолиро коҳиш медиҳад.
Ҳабси уфуқӣ
Ҳассосиятҳои уфуқӣ дар эпитаксияи фазаи буғ камтар маъмуланд, аммо метавонанд дар баъзе системаҳои мушаххаси афзоиш истифода шаванд, то афзоиши эпитаксиалӣ дар самти уфуқӣ таъмин карда шаванд.
Ҳасбкунандаи реаксияи эпитаксиалии монолитӣ
Ҳабси монолитии реаксияи эпитаксиалӣ барои як субстрат тарҳрезӣ шудааст, ки метавонад назорати дақиқи ҳарорат ва изолятсияи беҳтари гармиро таъмин кунад, ки барои афзоиши қабатҳои эпитаксиалии баландсифат мувофиқ аст.
Хуш омадед ба вебсайти мо барои маълумоти маҳсулот ва машварат.
Вебсайти мо: https://www.vet-china.com/
Вақти фиристодан: июл-30-2024