Вақте ки кристалл карбиди кремний мерӯяд, "муҳит" -и интерфейси афзоиш байни маркази меҳвари кристалл ва канори он гуногун аст, то фишори кристалл дар канори он афзоиш ёбад ва канори кристалл ба осонӣ тавлиди "нуқсонҳои ҳамаҷониба" бошад. ба таъсири ҳалқаи қатъии графит «карбон», чӣ гуна ҳалли мушкилоти канор ё зиёд кардани майдони самараноки марказ (зиёда аз 95%) мавзӯи муҳими техникӣ мебошад.
Азбаски нуқсонҳои макрос, ба монанди "микротубулҳо" ва "инклюзияҳо" тадриҷан аз ҷониби саноат назорат карда мешаванд, кристаллҳои карбиди кремнийро барои "зуд, дароз ва ғафс ва калон шудан" даъват мекунанд, канори "нуқсонҳои ҳамаҷониба" ба таври ғайримуқаррарӣ намоёнанд ва бо афзоиши диаметр ва ғафсии кристаллҳои карбиди кремний, канори "нуқсонҳои ҳамаҷониба" ба квадрати диаметр ва ғафсӣ зарб карда мешавад.
Истифодаи пӯшиши тантали карбиди TaC барои ҳалли мушкилоти канорӣ ва беҳтар кардани сифати афзоиши кристалл мебошад, ки яке аз самтҳои асосии техникии "зуд афзоиш, ғафс ва афзоиш" мебошад. Бо мақсади мусоидат ба рушди технологияи саноат ва ҳалли "воридот" вобастагии маводи асосӣ, Hengpu рахнашавии технологияи пӯшонидани тантали карбиди (CVD) ва ба сатҳи пешрафтаи байналмилалӣ расид.
Капидани карбиди танталии TaC, аз нуқтаи назари амалӣ кардан душвор нест, бо агломератсия, CVD ва усулҳои дигар ба осонӣ ба даст оварда мешаванд. Усули синтеризатсия, истифодаи хокаи карбиди тантал ё прекурсор, илова кардани компонентҳои фаъол (умуман металл) ва агенти пайвасткунанда (умуман полимери занҷири дароз), ки ба сатҳи субстрати графит дар ҳарорати баланд пӯшонида мешавад. Бо усули CVD, TaCl5+H2+CH4 дар сатҳи матритсаи графитӣ дар ҳарорати 900-1500℃ ҷойгир карда шуд.
Бо вуҷуди ин, параметрҳои асосӣ, ба монанди самти кристалии таҳшиншавии карбиди тантал, ғафсии якхелаи филм, озодкунии стресс байни рӯйпӯш ва матритсаи графит, тарқишҳои рӯизаминӣ ва ғайра хеле душворанд. Хусусан дар муҳити афзоиши кристалл, мӯҳлати хидмати мӯътадил параметри асосӣ аст, аз ҳама мушкил аст.
Вақти фиристодан: июл-21-2023