Маводи бартарӣ барои қисмҳои дақиқи мошинҳои фотолитография
Дар соҳаи нимноқилҳо,керамики карбиди кремниймаводҳо асосан дар таҷҳизоти калидӣ барои истеҳсоли микросхемаҳои интегралӣ истифода мешаванд, ба монанди мизи корӣ карбиди кремний, рельсҳои роҳнамо,рефлекторҳо, патронҳои сафолӣ, дастгоххо, дискхои суфтакунй, асбобхо ва гайра барои дастгоххои литография.
Қисмҳои керамикии карбиди кремнийбарои тачхизоти нимнокил ва оптикй
● диски дастос сафолї карбиди кремний. Агар диски суфтакунанда аз оҳан ё пӯлоди карбон сохта шуда бошад, мӯҳлати хизмати он кӯтоҳ ва коэффисиенти васеъшавии гармии он калон аст. Хангоми коркарди пластинкахои кремний, махсусан хангоми суфтан ё сайкал додани суръати баланд, фарсудашавй ва деформацияи гармии диски суфтакунанда таъмин намудани хамворй ва параллелизми пластинкаи кремнийро душвор мегардонад. Диски суфтакунандаи аз сафоли карбиди кремний сохташуда сахтии баланд ва фарсудашавии паст дорад ва коэффисиенти тавсеаи гармӣ асосан бо коэффисиенти вафли кремний якхела аст, бинобар ин онро бо суръати баланд хок кардан ва сайқал додан мумкин аст.
● Таҷҳизоти сафолии карбиди кремний. Гайр аз ин, хангоми истехсол кардани пластинкахои кремний, онхо бояд аз муоличаи гармии баланд гузаранд ва аксар вакт бо ёрии асбобхои карбиди кремний кашонда мешаванд. Онҳо ба гармӣ тобоваранд ва вайрон намешаванд. Карбон ба алмос монанд (DLC) ва дигар пӯшишҳоро дар рӯи замин истифода бурдан мумкин аст, то корношоямиро беҳтар кунад, зарари вафлиро сабук кунад ва паҳншавии ифлосшавӣ пешгирӣ кунад.
● Ҷадвали кории карбиди кремний. Мисоли мизи корӣ дар мошини литографиро ҳамчун намуна гирифта, мизи корӣ асосан барои анҷом додани ҳаракати экспозиция масъул аст, ки ҳаракати баландсуръат, зарбаи калон, шаш дараҷаи озодии нано-сатҳи ултра дақиқро талаб мекунад. Масалан, барои як мошини литографӣ бо қарори 100 нм, дақиқии қабати 33 нм ва паҳнои хати 10 нм, дақиқии ҷойгиркунии мизи корӣ барои расидан ба 10 нм лозим аст, вафли ниқоб-силиконии ҳамзамон қадамзанӣ ва сканкунӣ 150 нм / с аст. ва мутаносибан 120нм/с ва сканкунии ниқоб суръат ба 500 нм / с наздик аст ва мизи корӣ барои дақиқии ҳаракат ва устувории хеле баланд талаб карда мешавад.
Диаграммаи схематикии мизи корӣ ва микро-ҳаракат (қисман қисм)
● оинаи мураббаъ сафолї карбиди кремний. Қисмҳои асосии таҷҳизоти асосии интегралӣ, ба монанди мошинҳои литографӣ дорои шаклҳои мураккаб, андозаҳои мураккаб ва сохторҳои сабуки холӣ мебошанд, ки тайёр кардани чунин ҷузъҳои сафолии кремний карбидиро душвор мегардонанд. Дар айни замон, истеҳсолкунандагони асосии таҷҳизоти байналмилалии микросхемаҳои интегралӣ, аз қабили ASML дар Нидерландия, NIKON ва CANON дар Ҷопон, барои тайёр кардани оинаҳои мураббаъ, ҷузъҳои асосии мошинҳои литография ва истифодаи карбиди кремний миқдори зиёди маводҳо ба монанди шишаи микрокристаллӣ ва кордиеритро истифода мебаранд. сафолї барои тайёр кардани дигар ҷузъҳои конструктивии баландсифат бо шаклҳои оддӣ. Бо вуҷуди ин, коршиносони Институти тадқиқоти масолеҳи бинокории Чин технологияи тайёркунии хусусиро барои ноил шудан ба тайёр кардани оинаҳои квадратии сафолии андозаи калон, мураккаб, хеле сабук, пурра пӯшидашудаи карбиди кремний ва дигар ҷузъҳои оптикии сохторӣ ва функсионалии мошинҳои литография истифода бурданд.
Вақти фиристодан: октябр-10-2024