Энергетикаи VETИнтиқолдиҳандаи графити раванди PECVD як ашёи баландсифати истеъмолӣ мебошад, ки барои раванди PECVD (таҳвили буғи химиявии мукаммали плазма) таҳия шудааст. Ин интиқолдиҳандаи графит аз маводи графити баланд, зичии баланд бо муқовимати аълои ҳарорати баланд, муқовимат ба зангзанӣ, устувории андоза ва дигар хусусиятҳо сохта шудааст, метавонад як платформаи интиқолдиҳандаи устуворро барои раванди PECVD таъмин кунад, то якранг ва ҳамвории филми борикро таъмин кунад. гузоштан.
Интиқолдиҳандагони графит барои раванди PECVD дорои хусусиятҳои зерин мебошанд:
▪ Позагии баланд: мундариҷаи наҷосати бениҳоят паст, пешгирӣ кардани ифлосшавии филм ва таъмини сифати филм.
▪ Зичии баланд: зичии баланд, қувваи баланди механикӣ, қодир ба ҳарорати баланд ва фишори баланди муҳити PECVD тобовар аст.
▪ Устувории хуби андоза: тағирёбии андозаи хурд дар ҳарорати баланд, таъмини устувории раванд.
▪ Қобилияти аълои гармӣ: гармиро самаранок интиқол диҳед, то аз ҳад зиёд гарм шудани вафлиро пешгирӣ кунед.
▪ Муқовимат ба зангзании қавӣ: қодир ба эрозия бо газҳои гуногуни зангзананда ва плазма муқовимат кунад.
▪ Хизматрасонии фармоишӣ: интиқолдиҳандагони графитҳои андоза ва шаклҳои гуногун метавонанд мувофиқи ниёзҳои муштариён фармоиш дода шаванд.
Маводи графити SGL:
Параметри маъмулӣ: R6510 | |||
Индекс | Стандарти санҷишӣ | Арзиш | Воҳиди |
Андозаи миёнаи дона | ISO 13320 | 10 | мкм |
Зичии масса | DIN IEC 60413/204 | 1,83 | г/см3 |
Порозияи кушода | DIN66133 | 10 | % |
Андозаи сӯрохи миёна | DIN66133 | 1.8 | мкм |
Гузаришнокӣ | DIN 51935 | 0,06 | см²/с |
Сахтии Роквелл HR5/100 | DIN IEC60413/303 | 90 | HR |
Муқовимати хоси электрикӣ | DIN IEC 60413/402 | 13 | мкм |
Қувваи флексия | DIN IEC 60413/501 | 60 | МПа |
Қувваи фишор | DIN 51910 | 130 | МПа |
Модули ҷавон | DIN 51915 | 11,5×103 | МПа |
Тавсеаи гармидиҳӣ (20-200 ℃) | DIN 51909 | 4.2X10-6 | K-1 |
Қобилияти гармидиҳӣ (20 ℃) | DIN 51908 | 105 | Wm-1K-1 |
Он махсусан барои истеҳсоли ҳуҷайраҳои офтобии баландсифат тарҳрезӣ шудааст, ки коркарди вафли калонҳаҷми G12-ро дастгирӣ мекунад. Тарҳрезии оптимизатсияи интиқолдиҳанда қобилияти интиқолро ба таври назаррас афзоиш дода, имкон медиҳад, ки суръати баландтари ҳосилнокӣ ва кам кардани хароҷоти истеҳсолот.
Адад | Навъи | Рақами интиқолдиҳандаи вафли |
PEVCD заврақи Грефит - Силсилаи 156 | 156-13 киштии грефитӣ | 144 |
156-19 киштии грофитӣ | 216 | |
156-21 киштии грефитӣ | 240 | |
156-23 киштии графитӣ | 308 | |
PEVCD қаиқ Grephite - Силсилаи 125 | 125-15 киштии грефитӣ | 196 |
125-19 киштии грефитӣ | 252 | |
125-21 киштии грфит | 280 |