Талаботи саноати нимноқилҳо ба талаботи маводи графит махсусан баланд аст, андозаи зарраҳои хуби графит дорои дақиқии баланд, муқовимат ба ҳарорати баланд, қувваи баланд, талафоти хурд ва бартариҳои дигар, ба монанди: қолаби маҳсулоти графитӣ.Азбаски таҷҳизоти графите, ки дар саноати нимноқил истифода мешаванд (аз ҷумла гармкунакҳо ва штампҳои синтершудаи онҳо) барои тоб додан ба равандҳои гармидиҳӣ ва хунуккунии такрорӣ талаб карда мешаванд, барои дароз кардани мӯҳлати хидмати таҷҳизоти графитӣ, одатан талаб карда мешавад, ки маводи графити истифодашаванда кори устувор дошта бошанд. ва функсияи таъсир ба гармӣ тобовар.
01 Лавозимотҳои графитӣ барои афзоиши кристаллҳои нимноқил
Ҳама равандҳое, ки барои парвариши кристаллҳои нимноқил истифода мешаванд, дар ҳарорати баланд ва муҳити зангзананда кор мекунанд. Минтақаи гарми кӯраи афзоиши кристалл одатан бо ҷузъҳои графитҳои баландсифати ба гармӣ тобовар ва ба зангзанӣ тобовар муҷаҳҳаз карда мешавад, ба монанди гармкунак, тигель, силиндраи изолятсия, силиндраи роҳнамо, электрод, дорандаи тигель, гайкаҳои электрод ва ғайра.
Мо метавонем ҳама қисмҳои графити дастгоҳҳои истеҳсоли кристаллро, ки метавонанд ба таври инфиродӣ ё дар маҷмӯа таъмин карда шаванд ё қисмҳои графитии андозаҳои гуногун мувофиқи талаботи муштариён истеҳсол карда шаванд. Андозаи махсулотро дар худи махал чен кардан мумкин аст ва хокистари махсулоти тайёр камтар бошадаз 5 ppm.
02 Лавозимотҳои графитӣ барои эпитаксиияи нимноқилҳо
Раванди эпитаксиалӣ ба афзоиши қабати маводи яккристаллӣ бо ҳамон сохтори торӣ ҳамчун субстрат дар субстрати монокристалл дахл дорад. Дар процесси эпитаксиалӣ вафли ба диски графитӣ бор карда мешавад. Фаъолият ва сифати диски графитӣ дар сифати қабати эпитаксиалии вафли нақши муҳим мебозад. Дар соҳаи истеҳсоли эпитаксиалӣ, миқдори зиёди графити тозагии баланд ва пойгоҳи графити тозагии баланд бо рӯйпӯши SIC лозим аст.
Пойгоҳи графити ширкати мо барои эпитаксиияи нимноқил дорои доираи васеи барномаҳо буда, метавонад ба аксари таҷҳизоти маъмул дар саноат мувофиқат кунад ва дорои тозагии баланд, рӯйпӯши якхела, мӯҳлати хизмати аъло ва муқовимати баланди кимиёвӣ ва устувории гармӣ мебошад.
03 Лавозимотҳои графитӣ барои имплантатсияи ионҳо
Имплантатсияи ион ба раванди суръат бахшидани нури плазмаи бор, фосфор ва мышьяк ба энергияи муайян ва сипас ворид кардани он ба қабати сатҳи маводи вафли барои тағир додани хосиятҳои моддии қабати рӯизаминӣ дахл дорад. Қисмҳои дастгоҳи имплантатсияи ионҳо бояд аз маводи тозаи баланд бо муқовимати аълои гармӣ, гузаронандагии гармӣ, зангзании камтар аз шуои ионҳо ва миқдори ками наҷосатӣ дошта бошанд. Графити тозаи баланд ба талаботҳои барнома мувофиқат мекунад ва метавонад барои найҳои парвоз, сӯрохиҳои гуногун, электродҳо, сарпӯшҳои электродҳо, каналҳо, терминаторҳои чӯб ва ғайра таҷҳизоти имплантатсияи ион истифода шавад.
Мо на танҳо метавонем сарпӯши муҳофизаткунандаи графитро барои мошинҳои гуногуни имплантатсияи ионҳо таъмин кунем, балки инчунин электродҳои графитии баландсифат ва манбаъҳои иониро бо муқовимати баланди зангзании мушаххасоти гуногун таъмин кунем. Моделҳои татбиқшаванда: Eaton, Azcelis, Quatum, Varian, Nissin, AMAT, LAM ва дигар таҷҳизот. Илова бар ин, мо инчунин метавонем сафолӣ, вольфрам, молибден, маҳсулоти алюминий ва қисмҳои пӯшидаро таъмин кунем.
04 Материалхои изоляционии графит ва гайра
Маводҳои гармидиҳие, ки дар таҷҳизоти истеҳсоли нимноқилҳо истифода мешаванд, намаки сахти графитӣ, намаки мулоим, фолгаи графитӣ, коғази графитӣ ва ресмони графитӣ мебошанд.
Ҳама ашёи хоми мо графити воридотӣ мебошанд, ки онро мувофиқи андозаи мушаххаси талаботҳои муштарӣ буридан ё дар маҷмӯъ фурӯхтан мумкин аст.
Табақи карбон-карбон ҳамчун интиқолдиҳанда барои пӯшидани филм дар раванди истеҳсоли кремнийи монокристаллии офтобӣ ва ҳуҷайраҳои кремнийи поликристаллӣ истифода мешавад. Принсипи кор ин аст: чипи кремнийро ба табақи CFC гузоред ва онро ба найчаи оташдон барои коркарди қабати плёнка фиристед.
