VET శక్తి PECVD లోడింగ్ ట్రే అనేది PECVD (ప్లాస్మా మెరుగుపరచబడిన రసాయన ఆవిరి నిక్షేపణ) ప్రక్రియ కోసం రూపొందించబడిన ఒక ఖచ్చితమైన క్యారియర్. ఈ అధిక-నాణ్యత నిక్షేపణ గ్రాఫైట్ ట్రే అధిక స్వచ్ఛత, అధిక సాంద్రత కలిగిన గ్రాఫైట్ పదార్థంతో తయారు చేయబడింది. ఇది అద్భుతమైన అధిక ఉష్ణోగ్రత నిరోధకత, తుప్పు నిరోధకత, డైమెన్షనల్ స్థిరత్వం మరియు ఇతర లక్షణాలను కలిగి ఉంది. ఇది PECVD ప్రక్రియ కోసం స్థిరమైన క్యారియర్ ప్లాట్ఫారమ్ను అందించగలదు మరియు ఫిల్మ్ డిపాజిషన్ యొక్క ఏకరూపత మరియు ఫ్లాట్నెస్ను నిర్ధారిస్తుంది.
VET శక్తి PECVD లోడింగ్ ట్రేలు సెమీకండక్టర్, ఫోటోవోల్టాయిక్, LED మరియు ఇతర రంగాలలో విస్తృతంగా ఉపయోగించబడుతున్నాయి. ఉదాహరణకు:
▪ సెమీకండక్టర్: సిలికాన్ పొరలు మరియు ఎపిటాక్సియల్ పొరలు వంటి సెమీకండక్టర్ పదార్థాల కోసం PECVD ప్రక్రియ.
▪ ఫోటోవోల్టాయిక్: సౌర ఘటం సన్నని ఫిల్మ్ల కోసం PECVD ప్రక్రియ.
▪ LED: LED చిప్ల కోసం PECVD ప్రక్రియ.
ఉత్పత్తి ప్రయోజనాలు
▪సినిమా నాణ్యతను మెరుగుపరచండి:ఏకరీతి ఫిల్మ్ నిక్షేపణను నిర్ధారించుకోండి మరియు చలనచిత్ర నాణ్యతను మెరుగుపరచండి.
▪పరికరాల జీవితాన్ని పొడిగించండి:అద్భుతమైన తుప్పు నిరోధకత, PECVD పరికరాల సేవా జీవితాన్ని పొడిగిస్తుంది.
▪ఉత్పత్తి ఖర్చులను తగ్గించండి:అధిక-నాణ్యత గ్రాఫైట్ ట్రేలు స్క్రాప్ రేటును తగ్గించగలవు మరియు ఉత్పత్తి ఖర్చులను తగ్గించగలవు.
SGL నుండి గ్రాఫైట్ పదార్థం:
సాధారణ పరామితి: R6510 | |||
సూచిక | పరీక్ష ప్రమాణం | విలువ | యూనిట్ |
సగటు ధాన్యం పరిమాణం | ISO 13320 | 10 | μm |
బల్క్ డెన్సిటీ | DIN IEC 60413/204 | 1.83 | గ్రా/సెం3 |
ఓపెన్ సచ్ఛిద్రత | DIN66133 | 10 | % |
మధ్యస్థ రంధ్ర పరిమాణం | DIN66133 | 1.8 | μm |
పారగమ్యత | DIN 51935 | 0.06 | cm²/s |
రాక్వెల్ కాఠిన్యం HR5/100 | DIN IEC60413/303 | 90 | HR |
నిర్దిష్ట విద్యుత్ నిరోధకత | DIN IEC 60413/402 | 13 | μΩm |
ఫ్లెక్చరల్ బలం | DIN IEC 60413/501 | 60 | MPa |
సంపీడన బలం | DIN 51910 | 130 | MPa |
యంగ్ మాడ్యులస్ | DIN 51915 | 11.5×10³ | MPa |
ఉష్ణ విస్తరణ (20-200℃) | DIN 51909 | 4.2X10-6 | K-1 |
ఉష్ణ వాహకత (20℃) | DIN 51908 | 105 | Wm-1K-1 |
ఇది ప్రత్యేకంగా G12 పెద్ద-పరిమాణ పొర ప్రాసెసింగ్కు మద్దతునిస్తూ, అధిక సామర్థ్యం గల సోలార్ సెల్ తయారీ కోసం రూపొందించబడింది. ఆప్టిమైజ్ చేయబడిన క్యారియర్ డిజైన్ నిర్గమాంశను గణనీయంగా పెంచుతుంది, అధిక దిగుబడి రేట్లు మరియు తక్కువ ఉత్పత్తి ఖర్చులను అనుమతిస్తుంది.
అంశం | టైప్ చేయండి | నంబర్ వేఫర్ క్యారియర్ |
PEVCD గ్రెఫైట్ బోట్ - 156 సిరీస్ | 156-13 గ్రెఫైట్ పడవ | 144 |
156-19 గ్రెఫైట్ పడవ | 216 | |
156-21 గ్రెఫైట్ పడవ | 240 | |
156-23 గ్రాఫైట్ పడవ | 308 | |
PEVCD గ్రెఫైట్ బోట్ - 125 సిరీస్ | 125-15 గ్రెఫైట్ పడవ | 196 |
125-19 గ్రెఫైట్ పడవ | 252 | |
125-21 గ్రాఫైట్ పడవ | 280 |