Dual-Damascene అనేది ఇంటిగ్రేటెడ్ సర్క్యూట్‌లలో మెటల్ ఇంటర్‌కనెక్ట్‌లను తయారు చేయడానికి ఉపయోగించే ప్రక్రియ సాంకేతికత. ఇది డమాస్కస్ ప్రక్రియ యొక్క మరింత అభివృద్ధి. అదే ప్రక్రియ దశలో అదే సమయంలో రంధ్రాలు మరియు పొడవైన కమ్మీల ద్వారా ఏర్పడటం మరియు వాటిని లోహంతో నింపడం ద్వారా, మెటల్ ఇంటర్‌కనెక్ట్‌ల యొక్క సమగ్ర తయారీ గ్రహించబడుతుంది.
దీనిని డమాస్కస్ అని ఎందుకు పిలుస్తారు?
డమాస్కస్ నగరం సిరియా రాజధాని, మరియు డమాస్కస్ కత్తులు వాటి పదును మరియు సున్నితమైన ఆకృతికి ప్రసిద్ధి చెందాయి. ఒక రకమైన పొదుగు ప్రక్రియ అవసరం: ముందుగా, అవసరమైన నమూనా డమాస్కస్ ఉక్కు ఉపరితలంపై చెక్కబడి ఉంటుంది మరియు ముందుగా తయారుచేసిన పదార్థాలు చెక్కిన పొడవైన కమ్మీలలోకి గట్టిగా పొదగబడతాయి. పొదుగు పూర్తయిన తర్వాత, ఉపరితలం కొద్దిగా అసమానంగా ఉండవచ్చు. మొత్తం మృదుత్వాన్ని నిర్ధారించడానికి హస్తకళాకారుడు దానిని జాగ్రత్తగా మెరుగుపరుస్తాడు. మరియు ఈ ప్రక్రియ చిప్ యొక్క ద్వంద్వ డమాస్కస్ ప్రక్రియ యొక్క నమూనా. మొదట, కమ్మీలు లేదా రంధ్రాలు విద్యుద్వాహక పొరలో చెక్కబడి ఉంటాయి, ఆపై వాటిలో మెటల్ నింపబడుతుంది. నింపిన తర్వాత, అదనపు మెటల్ cmp ద్వారా తొలగించబడుతుంది.
ద్వంద్వ డమాస్సీన్ ప్రక్రియ యొక్క ప్రధాన దశలు:
▪ విద్యుద్వాహక పొర నిక్షేపణ:
సెమీకండక్టర్‌పై సిలికాన్ డయాక్సైడ్ (SiO2) వంటి విద్యుద్వాహక పదార్థం యొక్క పొరను జమ చేయండిపొర.
▪ నమూనాను నిర్వచించడానికి ఫోటోలిథోగ్రఫీ:
విద్యుద్వాహక పొరపై వయాస్ మరియు ట్రెంచ్‌ల నమూనాను నిర్వచించడానికి ఫోటోలిథోగ్రఫీని ఉపయోగించండి.
▪చెక్కడం:
పొడి లేదా తడి ఎచింగ్ ప్రక్రియ ద్వారా వియాస్ మరియు ట్రెంచ్‌ల నమూనాను విద్యుద్వాహక పొరకు బదిలీ చేయండి.
▪ మెటల్ నిక్షేపణ:
రాగి (Cu) లేదా అల్యూమినియం (అల్) వంటి లోహాన్ని వయాస్ మరియు ట్రెంచ్‌లలో జమ చేయండి.
▪ రసాయన మెకానికల్ పాలిషింగ్:
అదనపు లోహాన్ని తొలగించి ఉపరితలాన్ని చదును చేయడానికి మెటల్ ఉపరితలం యొక్క రసాయన యాంత్రిక పాలిషింగ్.
సాంప్రదాయ మెటల్ ఇంటర్‌కనెక్ట్ తయారీ ప్రక్రియతో పోలిస్తే, డ్యూయల్ డమాస్సీన్ ప్రక్రియ క్రింది ప్రయోజనాలను కలిగి ఉంది:
▪సరళీకృత ప్రక్రియ దశలు:అదే ప్రక్రియ దశలో ఏకకాలంలో వియాస్ మరియు ట్రెంచ్‌లను ఏర్పరచడం ద్వారా, ప్రక్రియ దశలు మరియు తయారీ సమయం తగ్గుతాయి.
▪మెరుగైన తయారీ సామర్థ్యం:ప్రక్రియ దశల తగ్గింపు కారణంగా, డ్యూయల్ డమాస్సీన్ ప్రక్రియ తయారీ సామర్థ్యాన్ని మెరుగుపరుస్తుంది మరియు ఉత్పత్తి ఖర్చులను తగ్గిస్తుంది.
▪మెటల్ ఇంటర్‌కనెక్ట్‌ల పనితీరును మెరుగుపరచండి:డ్యూయల్ డమాస్సీన్ ప్రక్రియ ఇరుకైన మెటల్ ఇంటర్‌కనెక్ట్‌లను సాధించగలదు, తద్వారా సర్క్యూట్‌ల ఏకీకరణ మరియు పనితీరును మెరుగుపరుస్తుంది.
▪పారాసిటిక్ కెపాసిటెన్స్ మరియు రెసిస్టెన్స్ తగ్గించండి:తక్కువ-k విద్యుద్వాహక పదార్థాలను ఉపయోగించడం మరియు మెటల్ ఇంటర్‌కనెక్ట్‌ల నిర్మాణాన్ని ఆప్టిమైజ్ చేయడం ద్వారా, పరాన్నజీవి కెపాసిటెన్స్ మరియు రెసిస్టెన్స్ తగ్గించవచ్చు, సర్క్యూట్‌ల వేగం మరియు విద్యుత్ వినియోగ పనితీరును మెరుగుపరుస్తుంది.
పోస్ట్ సమయం: నవంబర్-25-2024