రసాయన ఆవిరి నిక్షేపణ (CVD) ఒక సిలికాన్ ఉపరితలంపై ఘన చలనచిత్రాన్ని నిక్షిప్తం చేసే ప్రక్రియను సూచిస్తుందిపొరగ్యాస్ మిశ్రమం యొక్క రసాయన ప్రతిచర్య ద్వారా. వివిధ ప్రతిచర్య పరిస్థితుల ప్రకారం (పీడనం, పూర్వగామి), దీనిని వివిధ పరికరాల నమూనాలుగా విభజించవచ్చు.
ఈ రెండు పరికరాలు ఏ ప్రక్రియల కోసం ఉపయోగించబడతాయి?
PECVD(ప్లాస్మా ఎన్‌హాన్స్‌డ్) పరికరాలు చాలా ఎక్కువ మరియు సాధారణంగా ఉపయోగించేవి, OX, నైట్రైడ్, మెటల్ గేట్, నిరాకార కార్బన్ మొదలైన వాటిలో ఉపయోగించబడుతుంది; LPCVD (తక్కువ శక్తి) సాధారణంగా నైట్రైడ్, పాలీ, TEOSలో ఉపయోగించబడుతుంది.
సూత్రం ఏమిటి?
PECVD- ప్లాస్మా శక్తి మరియు CVDని సంపూర్ణంగా మిళితం చేసే ప్రక్రియ. PECVD సాంకేతికత తక్కువ-ఉష్ణోగ్రత ప్లాస్మాను తక్కువ పీడనం కింద ప్రాసెస్ చాంబర్ (అంటే నమూనా ట్రే) యొక్క కాథోడ్ వద్ద గ్లో డిశ్చార్జ్‌ని ప్రేరేపించడానికి ఉపయోగిస్తుంది. ఈ గ్లో డిశ్చార్జ్ లేదా ఇతర హీటింగ్ పరికరం నమూనా యొక్క ఉష్ణోగ్రతను ముందుగా నిర్ణయించిన స్థాయికి పెంచుతుంది, ఆపై నియంత్రిత మొత్తంలో ప్రాసెస్ గ్యాస్‌ను పరిచయం చేస్తుంది. ఈ వాయువు రసాయన మరియు ప్లాస్మా ప్రతిచర్యల శ్రేణికి లోనవుతుంది మరియు చివరకు నమూనా యొక్క ఉపరితలంపై ఒక ఘన చలనచిత్రాన్ని ఏర్పరుస్తుంది.
LPCVD - అల్పపీడన రసాయన ఆవిరి నిక్షేపణ (LPCVD) అనేది రియాక్టర్‌లోని ప్రతిచర్య వాయువు యొక్క ఆపరేటింగ్ పీడనాన్ని సుమారు 133Pa లేదా అంతకంటే తక్కువకు తగ్గించడానికి రూపొందించబడింది.
ప్రతి దాని లక్షణాలు ఏమిటి?
PECVD - ప్లాస్మా శక్తి మరియు CVDని సంపూర్ణంగా మిళితం చేసే ప్రక్రియ: 1) తక్కువ-ఉష్ణోగ్రత ఆపరేషన్ (పరికరాలకు అధిక ఉష్ణోగ్రత నష్టాన్ని నివారించడం); 2) ఫాస్ట్ ఫిల్మ్ గ్రోత్; 3) మెటీరియల్స్, OX, నైట్రైడ్, మెటల్ గేట్, అమోర్ఫస్ కార్బన్ అన్నీ పెరగవచ్చు; 4) ఇన్-సిటు మానిటరింగ్ సిస్టమ్ ఉంది, ఇది అయాన్ పారామితులు, గ్యాస్ ఫ్లో రేట్, ఉష్ణోగ్రత మరియు ఫిల్మ్ మందం ద్వారా రెసిపీని సర్దుబాటు చేయగలదు.
LPCVD - LPCVD ద్వారా డిపాజిట్ చేయబడిన సన్నని చలనచిత్రాలు మెరుగైన స్టెప్ కవరేజ్, మంచి కూర్పు మరియు నిర్మాణ నియంత్రణ, అధిక నిక్షేపణ రేటు మరియు అవుట్‌పుట్ కలిగి ఉంటాయి. అదనంగా, LPCVDకి క్యారియర్ గ్యాస్ అవసరం లేదు, కాబట్టి ఇది కణ కాలుష్యం యొక్క మూలాన్ని బాగా తగ్గిస్తుంది మరియు సన్నని ఫిల్మ్ డిపాజిషన్ కోసం అధిక విలువ-జోడించిన సెమీకండక్టర్ పరిశ్రమలలో విస్తృతంగా ఉపయోగించబడుతుంది.
తదుపరి చర్చ కోసం మమ్మల్ని సందర్శించడానికి ప్రపంచం నలుమూలల నుండి ఏవైనా కస్టమర్‌లకు స్వాగతం!
https://www.vet-china.com/
https://www.vet-china.com/cvd-coating/
https://www.vet-china.com/silicon-carbide-sic-ceramic/
పోస్ట్ సమయం: జూలై-24-2024