VET శక్తిPECVD ప్రాసెస్ గ్రాఫైట్ క్యారియర్ అనేది PECVD (ప్లాస్మా మెరుగైన రసాయన ఆవిరి నిక్షేపణ) ప్రక్రియ కోసం రూపొందించబడిన అధిక-నాణ్యత వినియోగం. ఈ గ్రాఫైట్ క్యారియర్ అధిక-స్వచ్ఛత, అధిక సాంద్రత కలిగిన గ్రాఫైట్ పదార్థంతో తయారు చేయబడింది, అద్భుతమైన అధిక ఉష్ణోగ్రత నిరోధకత, తుప్పు నిరోధకత, డైమెన్షనల్ స్టెబిలిటీ మరియు ఇతర లక్షణాలతో, సన్నని ఫిల్మ్ యొక్క ఏకరూపత మరియు ఫ్లాట్నెస్ను నిర్ధారించడానికి PECVD ప్రక్రియ కోసం స్థిరమైన క్యారియర్ ప్లాట్ఫారమ్ను అందిస్తుంది. నిక్షేపణ.
PECVD ప్రక్రియ కోసం గ్రాఫైట్ క్యారియర్లు క్రింది లక్షణాలను కలిగి ఉంటాయి:
▪ అధిక స్వచ్ఛత: చాలా తక్కువ అశుద్ధ కంటెంట్, ఫిల్మ్ కలుషితాన్ని నివారించడం మరియు ఫిల్మ్ నాణ్యతను నిర్ధారించడం.
▪ అధిక సాంద్రత: అధిక సాంద్రత, అధిక యాంత్రిక బలం, అధిక ఉష్ణోగ్రత మరియు అధిక పీడన PECVD వాతావరణాన్ని తట్టుకోగలదు.
▪ మంచి డైమెన్షనల్ స్థిరత్వం: అధిక ఉష్ణోగ్రత వద్ద చిన్న డైమెన్షనల్ మార్పు, ప్రక్రియ స్థిరత్వానికి భరోసా.
▪ అద్భుతమైన ఉష్ణ వాహకత: పొర వేడెక్కడాన్ని నిరోధించడానికి వేడిని సమర్థవంతంగా బదిలీ చేస్తుంది.
▪ బలమైన తుప్పు నిరోధకత: వివిధ తినివేయు వాయువులు మరియు ప్లాస్మా ద్వారా కోతను నిరోధించగలదు.
▪ అనుకూలీకరించిన సేవ: వివిధ పరిమాణాలు మరియు ఆకారాల గ్రాఫైట్ క్యారియర్లను కస్టమర్ అవసరాలకు అనుగుణంగా అనుకూలీకరించవచ్చు.
SGL నుండి గ్రాఫైట్ పదార్థం:
సాధారణ పరామితి: R6510 | |||
సూచిక | పరీక్ష ప్రమాణం | విలువ | యూనిట్ |
సగటు ధాన్యం పరిమాణం | ISO 13320 | 10 | μm |
బల్క్ డెన్సిటీ | DIN IEC 60413/204 | 1.83 | గ్రా/సెం3 |
ఓపెన్ సచ్ఛిద్రత | DIN66133 | 10 | % |
మధ్యస్థ రంధ్ర పరిమాణం | DIN66133 | 1.8 | μm |
పారగమ్యత | DIN 51935 | 0.06 | cm²/s |
రాక్వెల్ కాఠిన్యం HR5/100 | DIN IEC60413/303 | 90 | HR |
నిర్దిష్ట విద్యుత్ నిరోధకత | DIN IEC 60413/402 | 13 | μΩm |
ఫ్లెక్చరల్ బలం | DIN IEC 60413/501 | 60 | MPa |
సంపీడన బలం | DIN 51910 | 130 | MPa |
యంగ్ మాడ్యులస్ | DIN 51915 | 11.5×10³ | MPa |
ఉష్ణ విస్తరణ (20-200℃) | DIN 51909 | 4.2X10-6 | K-1 |
ఉష్ణ వాహకత (20℃) | DIN 51908 | 105 | Wm-1K-1 |
ఇది ప్రత్యేకంగా G12 పెద్ద-పరిమాణ పొర ప్రాసెసింగ్కు మద్దతునిస్తూ, అధిక సామర్థ్యం గల సోలార్ సెల్ తయారీ కోసం రూపొందించబడింది. ఆప్టిమైజ్ చేయబడిన క్యారియర్ డిజైన్ నిర్గమాంశను గణనీయంగా పెంచుతుంది, అధిక దిగుబడి రేట్లు మరియు తక్కువ ఉత్పత్తి ఖర్చులను అనుమతిస్తుంది.
అంశం | టైప్ చేయండి | నంబర్ వేఫర్ క్యారియర్ |
PEVCD గ్రెఫైట్ బోట్ - 156 సిరీస్ | 156-13 గ్రెఫైట్ పడవ | 144 |
156-19 గ్రెఫైట్ పడవ | 216 | |
156-21 గ్రెఫైట్ పడవ | 240 | |
156-23 గ్రాఫైట్ పడవ | 308 | |
PEVCD గ్రెఫైట్ బోట్ - 125 సిరీస్ | 125-15 గ్రెఫైట్ పడవ | 196 |
125-19 గ్రెఫైట్ పడవ | 252 | |
125-21 గ్రాఫైట్ పడవ | 280 |