ఎపిటాక్సియల్ ఎపి గ్రాఫైట్ బారెల్ ససెప్టర్

ఎపిటాక్సియల్ ఎపి గ్రాఫైట్ బారెల్ ససెప్టర్

ఎపిటాక్సియల్ ఎపి గ్రాఫైట్ బారెల్ ససెప్టర్డిపాజిషన్ లేదా ఎపిటాక్సీ ప్రక్రియల వంటి తయారీ ప్రక్రియల సమయంలో సెమీకండక్టర్ సబ్‌స్ట్రేట్‌లను పట్టుకోవడానికి మరియు వేడి చేయడానికి ప్రత్యేకంగా రూపొందించిన మద్దతు మరియు తాపన పరికరం.

దీని నిర్మాణం సాధారణంగా స్థూపాకార లేదా కొద్దిగా బారెల్-ఆకారంలో ఉంటుంది, ఉపరితల లక్షణాలు పొరలను ఉంచడానికి బహుళ పాకెట్‌లు లేదా ప్లాట్‌ఫారమ్‌లను కలిగి ఉంటాయి, వేడి చేసే పద్ధతిని బట్టి ఘనమైన లేదా బోలు డిజైన్ కావచ్చు.

ఎపిటాక్సియల్ బారెల్ ససెప్టర్ యొక్క ప్రధాన విధులు:

-సబ్‌స్ట్రేట్ మద్దతు: బహుళ సెమీకండక్టర్ పొరలను సురక్షితంగా కలిగి ఉంటుంది;
-వేడి మూలం: వేడి చేయడం ద్వారా పెరుగుదలకు అవసరమైన అధిక ఉష్ణోగ్రతలను అందిస్తుంది;
-ఉష్ణోగ్రత ఏకరూపత: ఉపరితలాల ఏకరీతి వేడిని నిర్ధారిస్తుంది;
-భ్రమణం: ఉష్ణోగ్రత మరియు గ్యాస్ పంపిణీ ఏకరూపతను మెరుగుపరచడానికి సాధారణంగా పెరుగుదల సమయంలో తిరుగుతుంది.

ఎపి గ్రాఫైట్ బారెల్ ససెప్టర్ యొక్క పని సూత్రం:
- ఎపిటాక్సియల్ రియాక్టర్‌లో, బారెల్ ససెప్టర్ అవసరమైన ఉష్ణోగ్రతకు వేడి చేయబడుతుంది (సాధారణంగా సిలికాన్ ఎపిటాక్సీకి 1000℃-1200℃);
-బారెల్ ససెప్టర్ ఏకరీతి ఉష్ణోగ్రత పంపిణీ మరియు గ్యాస్ ప్రవాహాన్ని నిర్ధారించడానికి తిరుగుతుంది;
-ప్రతిచర్య వాయువులు అధిక ఉష్ణోగ్రతల వద్ద కుళ్ళిపోయి, ఉపరితల ఉపరితలంపై ఎపిటాక్సియల్ పొరలను ఏర్పరుస్తాయి.

అప్లికేషన్లు:
-ప్రధానంగా సిలికాన్ ఎపిటాక్సియల్ పెరుగుదలకు ఉపయోగిస్తారు
-GAs, InP మొదలైన ఇతర సెమీకండక్టర్ మెటీరియల్‌ల ఎపిటాక్సీకి కూడా వర్తిస్తుంది.

VET శక్తి రసాయన స్థిరత్వాన్ని పెంచడానికి CVD-SiC పూతతో అధిక స్వచ్ఛత గ్రాఫైట్‌ను ఉపయోగిస్తుంది:

VET ఎనర్జీ ఎపిటాక్సియల్ ఎపి గ్రాఫైట్ బారెల్ ససెప్టర్ యొక్క ప్రయోజనాలు:

- అధిక ఉష్ణోగ్రత స్థిరత్వం;
- మంచి ఉష్ణ ఏకరూపత;
-ఉత్పత్తి సామర్థ్యాన్ని మెరుగుపరచడం ద్వారా బహుళ ఉపరితలాలను ఏకకాలంలో ప్రాసెస్ చేయవచ్చు;
-రసాయనపరంగా జడత్వం, అధిక స్వచ్ఛత వృద్ధి వాతావరణాన్ని నిర్వహించడం.