అనుకూలీకరించబడిందిసెమీకండక్టర్ సిలికాన్ వేఫర్ కోసం గ్రాఫైట్ హీటర్
సాంకేతిక వివరణ | VET-M3 |
బల్క్ డెన్సిటీ (గ్రా/సెం3) | ≥1.85 |
యాష్ కంటెంట్ (PPM) | ≤500 |
ఒడ్డు కాఠిన్యం | ≥45 |
నిర్దిష్ట ప్రతిఘటన (μ.Ω.m) | ≤12 |
ఫ్లెక్చురల్ స్ట్రెంత్ (Mpa) | ≥40 |
కంప్రెసివ్ స్ట్రెంత్ (Mpa) | ≥70 |
గరిష్టంగా ధాన్యం పరిమాణం (μm) | ≤43 |
థర్మల్ విస్తరణ గుణకం Mm/°C | ≤4.4*10-6
|