Dual-Damascene என்பது ஒருங்கிணைக்கப்பட்ட மின்சுற்றுகளில் உலோகத் தொடர்புகளை உருவாக்கப் பயன்படும் ஒரு செயல்முறைத் தொழில்நுட்பமாகும். இது டமாஸ்கஸ் செயல்முறையின் மேலும் வளர்ச்சியாகும். ஒரே நேரத்தில் துளைகள் மற்றும் பள்ளங்கள் வழியாக ஒரே செயல்முறை படியில் உருவாக்கி அவற்றை உலோகத்தால் நிரப்புவதன் மூலம், உலோகம் ஒன்றோடொன்று இணைக்கப்பட்ட ஒருங்கிணைந்த உற்பத்தி உணரப்படுகிறது.
இது ஏன் டமாஸ்கஸ் என்று அழைக்கப்படுகிறது?
டமாஸ்கஸ் நகரம் சிரியாவின் தலைநகரம், மற்றும் டமாஸ்கஸ் வாள்கள் அவற்றின் கூர்மை மற்றும் நேர்த்தியான அமைப்புக்கு பிரபலமானது. ஒரு வகையான உள்தள்ளல் செயல்முறை தேவைப்படுகிறது: முதலில், தேவையான முறை டமாஸ்கஸ் எஃகு மேற்பரப்பில் பொறிக்கப்பட்டுள்ளது, மேலும் முன் தயாரிக்கப்பட்ட பொருட்கள் பொறிக்கப்பட்ட பள்ளங்களில் இறுக்கமாக பதிக்கப்படுகின்றன. உள்தள்ளல் முடிந்ததும், மேற்பரப்பு சிறிது சீரற்றதாக இருக்கலாம். ஒட்டுமொத்த மென்மையை உறுதிப்படுத்த கைவினைஞர் அதை கவனமாக மெருகூட்டுவார். இந்த செயல்முறை சிப்பின் இரட்டை டமாஸ்கஸ் செயல்முறையின் முன்மாதிரி ஆகும். முதலில், மின்கடத்தா அடுக்கில் பள்ளங்கள் அல்லது துளைகள் பொறிக்கப்பட்டுள்ளன, பின்னர் அவற்றில் உலோகம் நிரப்பப்படுகிறது. பூர்த்தி செய்த பிறகு, அதிகப்படியான உலோகம் cmp மூலம் அகற்றப்படும்.
இரட்டை டமாஸ்சீன் செயல்முறையின் முக்கிய படிகள் பின்வருமாறு:
▪ மின்கடத்தா அடுக்கின் படிவு:
குறைக்கடத்தியில் சிலிக்கான் டை ஆக்சைடு (SiO2) போன்ற மின்கடத்தாப் பொருளின் அடுக்கை வைப்பதுசெதில்.
▪ வடிவத்தை வரையறுக்க போட்டோலித்தோகிராபி:
மின்கடத்தா அடுக்கில் உள்ள வயாஸ் மற்றும் அகழிகளின் வடிவத்தை வரையறுக்க ஃபோட்டோலித்தோகிராஃபியைப் பயன்படுத்தவும்.
▪பொறித்தல்:
வயாஸ் மற்றும் அகழிகளின் வடிவத்தை ஒரு உலர் அல்லது ஈரமான செதுக்கல் செயல்முறை மூலம் மின்கடத்தா அடுக்குக்கு மாற்றவும்.
▪ உலோகப் படிவு:
தாமிரம் (Cu) அல்லது அலுமினியம் (Al) போன்ற உலோகங்களை வைஸ் மற்றும் அகழிகளில் வைப்பதன் மூலம் உலோகத் தொடர்புகளை உருவாக்குங்கள்.
▪ இரசாயன இயந்திர மெருகூட்டல்:
அதிகப்படியான உலோகத்தை அகற்றி மேற்பரப்பைத் தட்டையாக்க உலோக மேற்பரப்பின் இரசாயன மெக்கானிக்கல் பாலிஷ்.
பாரம்பரிய உலோக ஒன்றோடொன்று உற்பத்தி செயல்முறையுடன் ஒப்பிடும்போது, இரட்டை டமாஸ்சீன் செயல்முறை பின்வரும் நன்மைகளைக் கொண்டுள்ளது:
▪எளிமைப்படுத்தப்பட்ட செயல்முறை படிகள்:ஒரே செயல்முறை படியில் ஒரே நேரத்தில் வயாஸ் மற்றும் அகழிகளை உருவாக்குவதன் மூலம், செயல்முறை படிகள் மற்றும் உற்பத்தி நேரம் குறைக்கப்படுகிறது.
▪மேம்படுத்தப்பட்ட உற்பத்தி திறன்:செயல்முறை படிகளின் குறைப்பு காரணமாக, இரட்டை டமாஸ்சீன் செயல்முறை உற்பத்தி திறனை மேம்படுத்தலாம் மற்றும் உற்பத்தி செலவுகளை குறைக்கலாம்.
▪உலோக இணைப்புகளின் செயல்திறனை மேம்படுத்தவும்:இரட்டை டமாஸ்சீன் செயல்முறை குறுகிய உலோக இணைப்புகளை அடைய முடியும், இதன் மூலம் சுற்றுகளின் ஒருங்கிணைப்பு மற்றும் செயல்திறனை மேம்படுத்துகிறது.
▪ஒட்டுண்ணி கொள்ளளவு மற்றும் எதிர்ப்பைக் குறைத்தல்:குறைந்த-கே மின்கடத்தாப் பொருட்களைப் பயன்படுத்துவதன் மூலமும், உலோகத் தொடர்புகளின் கட்டமைப்பை மேம்படுத்துவதன் மூலமும், ஒட்டுண்ணி கொள்ளளவு மற்றும் எதிர்ப்பைக் குறைக்கலாம், சுற்றுகளின் வேகம் மற்றும் மின் நுகர்வு செயல்திறனை மேம்படுத்தலாம்.
இடுகை நேரம்: நவம்பர்-25-2024