சிலிக்கான் கார்பைடு பூச்சு என்றால் என்ன?

சிலிக்கான் கார்பைடு பூச்சு,பொதுவாக SiC பூச்சு என அழைக்கப்படுகிறது, இரசாயன நீராவி படிவு (CVD), உடல் நீராவி படிவு (PVD) அல்லது வெப்ப தெளித்தல் போன்ற முறைகள் மூலம் சிலிக்கான் கார்பைட்டின் ஒரு அடுக்கை மேற்பரப்பில் பயன்படுத்துவதைக் குறிக்கிறது. இந்த சிலிக்கான் கார்பைடு பீங்கான் பூச்சு விதிவிலக்கான உடைகள் எதிர்ப்பு, வெப்ப நிலைத்தன்மை மற்றும் அரிப்பு பாதுகாப்பு ஆகியவற்றை வழங்குவதன் மூலம் பல்வேறு அடி மூலக்கூறுகளின் மேற்பரப்பு பண்புகளை மேம்படுத்துகிறது. உயர் உருகும் புள்ளி (தோராயமாக 2700℃), தீவிர கடினத்தன்மை (Mohs அளவுகோல் 9), சிறந்த அரிப்பு மற்றும் ஆக்சிஜனேற்ற எதிர்ப்பு மற்றும் விதிவிலக்கான நீக்குதல் செயல்திறன் உள்ளிட்ட அதன் சிறந்த இயற்பியல் மற்றும் வேதியியல் பண்புகளுக்கு SiC அறியப்படுகிறது.

தொழில்துறை பயன்பாடுகளில் சிலிக்கான் கார்பைடு பூச்சு முக்கிய நன்மைகள்

இந்த அம்சங்கள் காரணமாக, சிலிக்கான் கார்பைடு பூச்சு பரவலாக விண்வெளி, ஆயுத உபகரணங்கள் மற்றும் குறைக்கடத்தி செயலாக்கம் போன்ற துறைகளில் பயன்படுத்தப்படுகிறது. தீவிர சூழல்களில், குறிப்பாக 1800-2000℃ வரம்பிற்குள், SiC பூச்சு குறிப்பிடத்தக்க வெப்ப நிலைத்தன்மை மற்றும் நீக்குதல் எதிர்ப்பை வெளிப்படுத்துகிறது, இது அதிக வெப்பநிலை பயன்பாடுகளுக்கு ஏற்றதாக அமைகிறது. இருப்பினும், சிலிக்கான் கார்பைடு மட்டும் பல பயன்பாடுகளுக்குத் தேவையான கட்டமைப்பு ஒருமைப்பாட்டைக் கொண்டிருக்கவில்லை, எனவே கூறு வலிமையை சமரசம் செய்யாமல் அதன் தனித்துவமான பண்புகளை மேம்படுத்த பூச்சு முறைகள் பயன்படுத்தப்படுகின்றன. குறைக்கடத்தி உற்பத்தியில், சிலிக்கான் கார்பைடு பூசப்பட்ட கூறுகள் MOCVD செயல்முறைகளில் பயன்படுத்தப்படும் உபகரணங்களுக்குள் நம்பகமான பாதுகாப்பு மற்றும் செயல்திறன் நிலைத்தன்மையை வழங்குகின்றன.

சிலிக்கான் கார்பைடு பூச்சு தயாரிப்பதற்கான பொதுவான முறைகள்

Ⅰ● இரசாயன நீராவி படிவு (CVD) சிலிக்கான் கார்பைடு பூச்சு

இந்த முறையில், ஒரு எதிர்வினை அறையில் அடி மூலக்கூறுகளை வைப்பதன் மூலம் SiC பூச்சுகள் உருவாகின்றன, அங்கு மீதில்ட்ரிக்ளோரோசிலேன் (MTS) முன்னோடியாக செயல்படுகிறது. கட்டுப்படுத்தப்பட்ட நிலைமைகளின் கீழ் - பொதுவாக 950-1300 ° C மற்றும் எதிர்மறை அழுத்தம் - MTS சிதைவுக்கு உட்படுகிறது, மேலும் சிலிக்கான் கார்பைடு மேற்பரப்பில் வைக்கப்படுகிறது. இந்த CVD SiC பூச்சு செயல்முறையானது, செமிகண்டக்டர் மற்றும் விண்வெளித் துறைகளில் உயர் துல்லியமான பயன்பாடுகளுக்கு ஏற்ற, சிறந்த பின்பற்றுதலுடன் கூடிய அடர்த்தியான, சீரான பூச்சுகளை உறுதி செய்கிறது.

Ⅱ● முன்னோடி மாற்றும் முறை (பாலிமர் செறிவூட்டல் மற்றும் பைரோலிசிஸ் - PIP)

மற்றொரு பயனுள்ள சிலிக்கான் கார்பைடு ஸ்ப்ரே பூச்சு அணுகுமுறை முன்னோடி மாற்றும் முறையாகும், இது பீங்கான் முன்னோடி கரைசலில் முன்-சிகிச்சை செய்யப்பட்ட மாதிரியை மூழ்கடிப்பதை உள்ளடக்கியது. செறிவூட்டல் தொட்டியை வெற்றிடமாக்கி, பூச்சுக்கு அழுத்தம் கொடுத்த பிறகு, மாதிரி சூடாகிறது, இது குளிர்ச்சியின் போது சிலிக்கான் கார்பைடு பூச்சு உருவாவதற்கு வழிவகுக்கிறது. சீரான பூச்சு தடிமன் மற்றும் மேம்பட்ட உடைகள் எதிர்ப்பு தேவைப்படும் கூறுகளுக்கு இந்த முறை சாதகமாக உள்ளது.

சிலிக்கான் கார்பைடு பூச்சுகளின் இயற்பியல் பண்புகள்

சிலிக்கான் கார்பைடு பூச்சுகள் தொழில்துறை பயன்பாடுகளுக்கு ஏற்றதாக இருக்கும் பண்புகளை வெளிப்படுத்துகின்றன. இந்த பண்புகள் அடங்கும்:

வெப்ப கடத்துத்திறன்: 120-270 W/m·K
வெப்ப விரிவாக்கத்தின் குணகம்: 4.3 × 10^^(-6)/K (20~800℃ இல்)
மின் எதிர்ப்பு: 10^⁵– 10^⁶Ω·cm
கடினத்தன்மை: மோஸ் அளவுகோல் 9

சிலிக்கான் கார்பைடு பூச்சு பயன்பாடுகள்

குறைக்கடத்தி உற்பத்தியில், MOCVD மற்றும் பிற உயர்-வெப்பநிலை செயல்முறைகளுக்கான சிலிக்கான் கார்பைடு பூச்சு, உயர் வெப்பநிலை எதிர்ப்பு மற்றும் நிலைத்தன்மை ஆகிய இரண்டையும் வழங்குவதன் மூலம் உலைகள் மற்றும் சஸ்செப்டர்கள் போன்ற முக்கியமான உபகரணங்களைப் பாதுகாக்கிறது. விண்வெளி மற்றும் பாதுகாப்பில், சிலிக்கான் கார்பைடு செராமிக் பூச்சுகள் அதிவேக தாக்கங்கள் மற்றும் அரிக்கும் சூழல்களைத் தாங்க வேண்டிய கூறுகளுக்குப் பயன்படுத்தப்படுகின்றன. மேலும், சிலிக்கான் கார்பைடு பெயிண்ட் அல்லது பூச்சுகள் ஸ்டெரிலைசேஷன் நடைமுறைகளின் கீழ் நீடித்து நிலைத்திருக்கும் மருத்துவ சாதனங்களிலும் பயன்படுத்தப்படலாம்.

ஏன் சிலிக்கான் கார்பைடு பூச்சு தேர்வு?

கூறுகளின் ஆயுளை நீட்டிப்பதில் நிரூபிக்கப்பட்ட சாதனையுடன், சிலிக்கான் கார்பைடு பூச்சுகள் ஒப்பிடமுடியாத ஆயுள் மற்றும் வெப்பநிலை நிலைத்தன்மையை வழங்குகின்றன, அவை நீண்ட கால பயன்பாட்டிற்கு செலவு குறைந்தவை. சிலிக்கான் கார்பைடு பூசப்பட்ட மேற்பரப்பைத் தேர்ந்தெடுப்பதன் மூலம், குறைந்த பராமரிப்புச் செலவுகள், மேம்பட்ட உபகரணங்களின் நம்பகத்தன்மை மற்றும் மேம்பட்ட செயல்பாட்டுத் திறன் ஆகியவற்றிலிருந்து தொழில்கள் பயனடைகின்றன.

VET எனர்ஜியை ஏன் தேர்வு செய்ய வேண்டும்?

VET ENERGY என்பது சீனாவில் சிலிக்கான் கார்பைடு பூச்சு தயாரிப்புகளின் தொழில்முறை உற்பத்தியாளர் மற்றும் தொழிற்சாலை ஆகும். முக்கிய SiC பூச்சு தயாரிப்புகளில் சிலிக்கான் கார்பைடு செராமிக் பூச்சு ஹீட்டர் அடங்கும்,CVD சிலிக்கான் கார்பைடு பூச்சு MOCVD சஸ்செப்டர், CVD SiC பூச்சுடன் MOCVD கிராஃபைட் கேரியர், SiC பூசப்பட்ட கிராஃபைட் அடிப்படை கேரியர்கள், செமிகண்டக்டருக்கான சிலிக்கான் கார்பைடு பூசப்பட்ட கிராஃபைட் அடி மூலக்கூறு,SiC பூச்சு/பூசப்பட்ட கிராஃபைட் அடி மூலக்கூறு/செமிகண்டக்டருக்கான தட்டு, CVD SiC பூசப்பட்ட கார்பன்-கார்பன் கலவை CFC படகு அச்சு. VET ENERGY ஆனது செமிகண்டக்டர் தொழிலுக்கு மேம்பட்ட தொழில்நுட்பம் மற்றும் தயாரிப்பு தீர்வுகளை வழங்க உறுதிபூண்டுள்ளது. சீனாவில் உங்கள் நீண்ட கால பங்காளியாக மாறுவோம் என்று நாங்கள் உண்மையிலேயே நம்புகிறோம்.