கிராஃபைட் படகுகள்கிராஃபைட் படகுகள் என்றும் அழைக்கப்படும், குறைக்கடத்தி பீங்கான்கள் உற்பத்தியின் சிக்கலான செயல்முறைகளில் முக்கிய பங்கு வகிக்கிறது. துல்லியமான மற்றும் கட்டுப்படுத்தப்பட்ட செயலாக்கத்தை உறுதிசெய்து, உயர்-வெப்பநிலை சிகிச்சையின் போது இந்த சிறப்புக் கப்பல்கள் குறைக்கடத்தி செதில்களுக்கு நம்பகமான கேரியர்களாக செயல்படுகின்றன. அவற்றின் தனித்துவமான பண்புகள் மற்றும் பல்துறை பயன்பாடுகளுடன்,கிராஃபைட் படகுகள்குறைக்கடத்தி தொழிலில் தவிர்க்க முடியாத கருவிகளாகிவிட்டன. உருவாக்கும் முக்கிய அம்சங்களை ஆராய்வோம்கிராஃபைட் படகுகள்குறைக்கடத்தி மட்பாண்ட உற்பத்தியில் அத்தியாவசிய கூறுகள்.
1. உயர் வெப்பநிலை சகிப்புத்தன்மை:
கிராஃபைட் படகுகள்அவற்றின் விதிவிலக்கான வெப்ப எதிர்ப்பிற்குப் புகழ்பெற்ற உயர்தர கிராஃபைட் பொருட்களிலிருந்து வடிவமைக்கப்பட்டுள்ளது. இந்த பண்பு கிராஃபைட் படகுகளை குறைக்கடத்தி புனையமைப்பு செயல்முறைகளின் போது எதிர்கொள்ளும் தீவிர வெப்பநிலையை தாங்க அனுமதிக்கிறது, அதாவது இரசாயன நீராவி படிவு (CVD) மற்றும் சிலிக்கான் கார்பைடு பூச்சு. தீவிர வெப்ப நிலைகளின் கீழ் கட்டமைப்பு ஒருமைப்பாடு மற்றும் பரிமாண நிலைத்தன்மையை பராமரிக்கும் திறன் சீரான மற்றும் நம்பகமான குறைக்கடத்தி உற்பத்தியை உறுதி செய்வதற்கு முக்கியமானது.
2. இரசாயன செயலற்ற தன்மை:
கிராஃபைட், பயன்படுத்தப்படும் முதன்மை பொருள்கிராஃபைட் படகுகள், குறிப்பிடத்தக்க இரசாயன செயலற்ற தன்மையை வெளிப்படுத்துகிறது, இது அரிப்பு மற்றும் இரசாயன எதிர்வினைகளை எதிர்க்கும். கடுமையான இரசாயனங்கள் மற்றும் எதிர்வினை வாயுக்கள் பெரும்பாலும் பயன்படுத்தப்படும் குறைக்கடத்தி மட்பாண்ட உற்பத்தியில் இந்த பண்பு குறிப்பாக சாதகமானது. கிராஃபைட் படகுகள் குறைக்கடத்தி செதில்களுக்கான பாதுகாப்பு சூழலை வழங்குகின்றன, மாசுபடுவதைத் தடுக்கின்றன மற்றும் இறுதி உற்பத்தியின் தூய்மையை உறுதி செய்கின்றன.
3. துல்லியமான பரிமாணக் கட்டுப்பாடு:
கிராஃபைட் படகுகள்பல்வேறு அளவுகள் மற்றும் வடிவங்களின் குறைக்கடத்தி செதில்களுக்கு இடமளிக்கும் வகையில் துல்லியமாக வடிவமைக்கப்பட்டுள்ளன. அவற்றின் தனிப்பயனாக்கக்கூடிய வடிவமைப்புகள் துல்லியமான பரிமாணக் கட்டுப்பாட்டை அனுமதிக்கின்றன, செதில்களுக்கு ஒரு இறுக்கமான பொருத்தத்தை உறுதி செய்கின்றன மற்றும் கையாளுதல் மற்றும் செயலாக்கத்தின் போது சேதத்தின் அபாயத்தைக் குறைக்கின்றன. செமிகண்டக்டர் உற்பத்தி செயல்முறைகளில் சீரான பூச்சு தடிமன் மற்றும் படிவு துல்லியத்தை அடைவதற்கு இந்த அளவிலான துல்லியம் அவசியம்.
4. பயன்பாடுகளில் பல்துறை:
கிராஃபைட் படகுகள்எபிடாக்ஸி, டிஃப்யூஷன், அனீலிங், மற்றும் மெல்லிய-ஃபிலிம் படிவு உள்ளிட்ட பல்வேறு குறைக்கடத்தி புனையமைப்பு செயல்முறைகளில் பரவலான பயன்பாட்டைக் கண்டறியவும். வெப்ப செயலாக்கத்தின் போது சிலிக்கான் செதில்களை ஆதரிப்பதாக இருந்தாலும் அல்லது எபிடாக்சியல் அடுக்குகளின் வளர்ச்சியை எளிதாக்கினாலும், கிராஃபைட் படகுகள் பல்வேறு பயன்பாடுகளில் பல்துறை மற்றும் நம்பகத்தன்மையை வழங்குகின்றன. அதிக வெப்பநிலை மற்றும் அரிக்கும் சூழல்களுக்கு நீண்டகால வெளிப்பாட்டைத் தாங்கும் திறன் அவர்களை குறைக்கடத்தி மட்பாண்ட உற்பத்தியில் தவிர்க்க முடியாத கருவியாக ஆக்குகிறது.
5. சிலிக்கான் கார்பைடு பூச்சு இணக்கம்:
மேம்பட்ட குறைக்கடத்தி சாதனங்களில் முக்கியமான அங்கமான சிலிக்கான் கார்பைடு (SiC) பூச்சுகளை உள்ளடக்கிய பயன்பாடுகளுக்கு கிராஃபைட் படகுகள் மிகவும் பொருத்தமானவை. சிலிக்கான் கார்பைடுடன் கிராஃபைட்டின் இணக்கமானது, குறைக்கடத்தி அடி மூலக்கூறுகளில் SiC அடுக்குகளின் திறமையான மற்றும் சீரான படிவுகளை செயல்படுத்துகிறது, சாதனத்தின் செயல்திறன் மற்றும் நம்பகத்தன்மையை அதிகரிக்கிறது. படிவு செயல்முறையை எளிதாக்குவதில் கிராஃபைட் படகுகள் முக்கிய பங்கு வகிக்கின்றன, சீரான பாதுகாப்பு மற்றும் பூச்சு தடிமன் மீது துல்லியமான கட்டுப்பாட்டை உறுதி செய்கின்றன.
முடிவில், கிராஃபைட் படகுகள் குறைக்கடத்தி மட்பாண்ட உற்பத்தியில் இன்றியமையாத கூறுகளாக செயல்படுகின்றன, உயர் வெப்பநிலை சகிப்புத்தன்மை, இரசாயன செயலற்ற தன்மை, துல்லியமான பரிமாணக் கட்டுப்பாடு மற்றும் சிலிக்கான் கார்பைடு பூச்சுகளுடன் இணக்கத்தன்மை ஆகியவற்றின் தனித்துவமான கலவையை வழங்குகின்றன. அவற்றின் பல்துறை மற்றும் நம்பகத்தன்மை குறைக்கடத்தி புனையமைப்பு செயல்முறைகளுக்கு இன்றியமையாத கருவிகளை உருவாக்குகிறது, உயர்தர மற்றும் உயர் செயல்திறன் கொண்ட குறைக்கடத்தி சாதனங்களின் உற்பத்தியை செயல்படுத்துகிறது. குறைக்கடத்தி தொழில்நுட்பம் தொடர்ந்து முன்னேறி வருவதால், கிராஃபைட் படகுகள் தவிர்க்க முடியாத சொத்துகளாக இருக்கும், குறைக்கடத்தி துறையில் புதுமை மற்றும் முன்னேற்றத்தை உண்டாக்கும்.
பின் நேரம்: ஏப்-22-2024