அது விந்து எப்போதுவணிக செய்தி, குறைக்கடத்தி புனையலின் விரிவான தன்மையைப் புரிந்துகொள்வது அவசியம். செமிகண்டக்டர் செதில்கள் இந்தத் தொழிலில் முக்கியமான அங்கமாகும், ஆனால் அவை பெரும்பாலும் பல்வேறு அசுத்தங்களிலிருந்து மாசுபடுவதை எதிர்கொள்கின்றன. அணு, கரிமப் பொருட்கள், உலோக உறுப்பு அயன் மற்றும் ஆக்சைடு உள்ளிட்ட இந்த அசுத்தங்கள் புனையமைப்பு செயல்முறையை பாதிக்கலாம்.
துகள்கள்பாலிமர் மற்றும் செதில்களின் மேற்பரப்பில் உறிஞ்சுவதற்கு இடைக்கணிப்பு விசையின் மீதான தூய்மையற்ற நம்பிக்கை போன்றவை, சாதன ஒளிப்படக்கலையை பாதிக்கின்றன.கரிம அசுத்தங்கள்ஹோமோ ஸ்கின் ஆயில் மற்றும் மெஷின் ஆயில் போன்ற படலம் செதில் மீது, சுத்தம் செய்வதைத் தடுக்கிறது.உலோக உறுப்பு அயனிகள்இரும்பு மற்றும் அலுமினியம் போன்றவை பெரும்பாலும் உலோக உறுப்பு அயன் வளாகத்தை உருவாக்குவதன் மூலம் அகற்றப்படுகின்றன.ஆக்சைடுகள்புனையமைப்பு செயல்முறையைத் தடுக்கிறது மற்றும் பொதுவாக நீர்த்த ஹைட்ரோஃப்ளூரிக் அமிலத்தில் ஊறவைப்பதன் மூலம் அகற்றப்படுகிறது.
இரசாயன முறைகள்செமிகண்டக்டர் செதில்களை சுத்தம் செய்வதற்கும் இழுப்பதற்கும் பொதுவாகப் பயன்படுத்தப்படுகின்றன. கரைசல் நீரில் மூழ்குதல் மற்றும் இயந்திர ஸ்க்ரப் போன்ற ஈரப்பத இரசாயன சுத்தம் செய்யும் நுட்பம் நடைமுறையில் உள்ளது. சூப்பர்சோனிக் மற்றும் மெகாசோனிக் துப்புரவு முறை அசுத்தத்தை அகற்ற திறமையான வழிகளை வழங்குகிறது. உலர் இரசாயன சுத்தம், பிளாஸ்மா மற்றும் வாயு கட்ட தொழில்நுட்பம் அடங்கும், குறைக்கடத்தி செதில் சுத்தம் செயல்முறைகள் ஒரு செயல்பாடு.
இடுகை நேரம்: அக்டோபர்-29-2024