சிலிக்கானின் மேற்பரப்பில் சிலிக்கான் டை ஆக்சைடு உருவாவது ஆக்சிஜனேற்றம் என்று அழைக்கப்படுகிறது, மேலும் நிலையான மற்றும் வலுவாக ஒட்டிக்கொண்டிருக்கும் சிலிக்கான் டை ஆக்சைடை உருவாக்குவது சிலிக்கான் ஒருங்கிணைந்த சர்க்யூட் பிளானர் தொழில்நுட்பத்தின் பிறப்புக்கு வழிவகுத்தது. சிலிக்கான் மேற்பரப்பில் நேரடியாக சிலிக்கான் டை ஆக்சைடை வளர்க்க பல வழிகள் இருந்தாலும், இது பொதுவாக வெப்ப ஆக்சிஜனேற்றத்தால் செய்யப்படுகிறது, இது சிலிக்கானை அதிக வெப்பநிலை ஆக்சிஜனேற்ற சூழலுக்கு (ஆக்ஸிஜன், நீர்) வெளிப்படுத்துவதாகும். வெப்ப ஆக்சிஜனேற்ற முறைகள் சிலிக்கான் டை ஆக்சைடு படங்களின் தயாரிப்பின் போது பட தடிமன் மற்றும் சிலிக்கான்/சிலிக்கான் டை ஆக்சைடு இடைமுக பண்புகளை கட்டுப்படுத்தலாம். சிலிக்கான் டை ஆக்சைடை வளர்ப்பதற்கான பிற நுட்பங்கள் பிளாஸ்மா அனோடைசேஷன் மற்றும் ஈரமான அனோடைசேஷன் ஆகும், ஆனால் இந்த நுட்பங்கள் எதுவும் VLSI செயல்முறைகளில் பரவலாகப் பயன்படுத்தப்படவில்லை.
சிலிக்கான் நிலையான சிலிக்கான் டை ஆக்சைடை உருவாக்கும் போக்கைக் காட்டுகிறது. புதிதாக பிளவுபட்ட சிலிக்கான் ஆக்சிஜனேற்ற சூழலுக்கு (ஆக்சிஜன், நீர் போன்றவை) வெளிப்பட்டால், அது அறை வெப்பநிலையில் கூட மிக மெல்லிய ஆக்சைடு அடுக்கை (<20Å) உருவாக்கும். சிலிக்கான் அதிக வெப்பநிலையில் ஆக்ஸிஜனேற்ற சூழலுக்கு வெளிப்படும் போது, ஒரு தடிமனான ஆக்சைடு அடுக்கு வேகமான விகிதத்தில் உருவாக்கப்படும். சிலிக்கானில் இருந்து சிலிக்கான் டை ஆக்சைடு உருவாவதற்கான அடிப்படை வழிமுறை நன்கு புரிந்து கொள்ளப்பட்டுள்ளது. டீல் அண்ட் க்ரோவ் ஒரு கணித மாதிரியை உருவாக்கியது, இது 300Å ஐ விட தடிமனான ஆக்சைடு படங்களின் வளர்ச்சி இயக்கவியலை துல்லியமாக விவரிக்கிறது. ஆக்சிஜனேற்றம் பின்வரும் வழியில் மேற்கொள்ளப்படுகிறது, அதாவது ஆக்ஸிஜனேற்றம் (நீர் மூலக்கூறுகள் மற்றும் ஆக்ஸிஜன் மூலக்கூறுகள்) தற்போதுள்ள ஆக்சைடு அடுக்கு வழியாக Si/SiO2 இடைமுகத்திற்கு பரவுகிறது, அங்கு ஆக்ஸிஜனேற்றம் சிலிக்கானுடன் வினைபுரிந்து சிலிக்கான் டை ஆக்சைடை உருவாக்குகிறது. சிலிக்கான் டை ஆக்சைடு உருவாவதற்கான முக்கிய எதிர்வினை பின்வருமாறு விவரிக்கப்படுகிறது:
ஆக்சிஜனேற்ற எதிர்வினை Si/SiO2 இடைமுகத்தில் நிகழ்கிறது, எனவே ஆக்சைடு அடுக்கு வளரும் போது, சிலிக்கான் தொடர்ந்து நுகரப்படும் மற்றும் இடைமுகம் படிப்படியாக சிலிக்கானை ஆக்கிரமிக்கிறது. சிலிக்கான் மற்றும் சிலிக்கான் டை ஆக்சைட்டின் தொடர்புடைய அடர்த்தி மற்றும் மூலக்கூறு எடையின் படி, இறுதி ஆக்சைடு அடுக்கின் தடிமனுக்காக நுகரப்படும் சிலிக்கான் 44% என்பதைக் கண்டறியலாம். இந்த வழியில், ஆக்சைடு அடுக்கு 10,000Å வளர்ந்தால், 4400Å சிலிக்கான் நுகரப்படும். படிகளின் உயரத்தைக் கணக்கிடுவதற்கு இந்த உறவு முக்கியமானதுசிலிக்கான் செதில். படிகள் சிலிக்கான் செதில் மேற்பரப்பில் வெவ்வேறு இடங்களில் வெவ்வேறு ஆக்சிஜனேற்ற விகிதங்களின் விளைவாகும்.
ஆக்சிஜனேற்றம், பரவல் மற்றும் அனீலிங் போன்ற செதில் செயலாக்கத்தில் பரவலாகப் பயன்படுத்தப்படும் உயர் தூய்மை கிராஃபைட் மற்றும் சிலிக்கான் கார்பைடு தயாரிப்புகளையும் நாங்கள் வழங்குகிறோம்.
மேலும் கலந்துரையாடலுக்கு எங்களைப் பார்வையிட உலகம் முழுவதிலுமிருந்து எந்த வாடிக்கையாளர்களையும் வரவேற்கிறோம்!
https://www.vet-china.com/
இடுகை நேரம்: நவம்பர்-13-2024