குறைக்கடத்தி செதில் மாசுபடுத்தல் மற்றும் சுத்தம் செய்வதற்கான ஆதாரங்கள்

குறைக்கடத்தி உற்பத்தியில் பங்கேற்க சில கரிம மற்றும் கனிம பொருட்கள் தேவை. கூடுதலாக, செயல்முறை எப்போதும் மனித பங்கேற்புடன் ஒரு சுத்தமான அறையில் மேற்கொள்ளப்படுவதால், குறைக்கடத்திசெதில்கள்பல்வேறு அசுத்தங்களால் தவிர்க்க முடியாமல் மாசுபடுகிறது.

அசுத்தங்களின் ஆதாரம் மற்றும் தன்மையின்படி, அவை தோராயமாக நான்கு வகைகளாகப் பிரிக்கப்படுகின்றன: துகள்கள், கரிமப் பொருட்கள், உலோக அயனிகள் மற்றும் ஆக்சைடுகள்.

 

1. துகள்கள்:

துகள்கள் முக்கியமாக சில பாலிமர்கள், ஒளிச்சேர்க்கைகள் மற்றும் எச்சிங் அசுத்தங்கள்.

இத்தகைய அசுத்தங்கள் பொதுவாக செதில்களின் மேற்பரப்பில் உறிஞ்சுவதற்கு இடைக்கணிப்பு சக்திகளை நம்பியிருக்கின்றன, இது வடிவியல் உருவங்கள் மற்றும் சாதன ஒளிக்கதிர் செயல்முறையின் மின் அளவுருக்களின் உருவாக்கத்தை பாதிக்கிறது.

இத்தகைய அசுத்தங்கள் முக்கியமாக அவற்றின் மேற்பரப்புடன் அவற்றின் தொடர்பு பகுதியை படிப்படியாகக் குறைப்பதன் மூலம் அகற்றப்படுகின்றனசெதில்உடல் அல்லது இரசாயன முறைகள் மூலம்.

 

2. கரிமப் பொருள்:

கரிம அசுத்தங்களின் ஆதாரங்கள் மனித தோல் எண்ணெய், பாக்டீரியா, இயந்திர எண்ணெய், வெற்றிட கிரீஸ், ஒளிச்சேர்க்கை, சுத்தம் செய்யும் கரைப்பான்கள் போன்றவை ஒப்பீட்டளவில் பரந்த அளவில் உள்ளன.

இத்தகைய அசுத்தங்கள் பொதுவாக செதில்களின் மேற்பரப்பில் ஒரு கரிமப் படலை உருவாக்குகின்றன, இதனால் துப்புரவு திரவம் செதில்களின் மேற்பரப்பை அடைவதைத் தடுக்கிறது, இதன் விளைவாக செதில் மேற்பரப்பு முழுமையடையாமல் சுத்தம் செய்யப்படுகிறது.

இத்தகைய அசுத்தங்களை அகற்றுவது பெரும்பாலும் துப்புரவு செயல்முறையின் முதல் கட்டத்தில் மேற்கொள்ளப்படுகிறது, முக்கியமாக சல்பூரிக் அமிலம் மற்றும் ஹைட்ரஜன் பெராக்சைடு போன்ற இரசாயன முறைகளைப் பயன்படுத்துகிறது.

 

3. உலோக அயனிகள்:

பொதுவான உலோக அசுத்தங்கள் இரும்பு, தாமிரம், அலுமினியம், குரோமியம், வார்ப்பிரும்பு, டைட்டானியம், சோடியம், பொட்டாசியம், லித்தியம், முதலியன அடங்கும். முக்கிய ஆதாரங்கள் பல்வேறு பாத்திரங்கள், குழாய்கள், இரசாயன எதிர்வினைகள், மற்றும் உலோக தொடர்புகளை உருவாக்கும் போது உலோக மாசுபாடு.

உலோக அயனி வளாகங்களை உருவாக்குவதன் மூலம் இந்த வகை அசுத்தங்கள் பெரும்பாலும் இரசாயன முறைகளால் அகற்றப்படுகின்றன.

 

4. ஆக்சைடு:

போது குறைக்கடத்திசெதில்கள்ஆக்ஸிஜன் மற்றும் நீர் கொண்ட சூழலில் வெளிப்படும், ஒரு இயற்கை ஆக்சைடு அடுக்கு மேற்பரப்பில் உருவாகும். இந்த ஆக்சைடு படம் குறைக்கடத்தி உற்பத்தியில் பல செயல்முறைகளைத் தடுக்கும் மற்றும் சில உலோக அசுத்தங்களையும் கொண்டிருக்கும். சில நிபந்தனைகளின் கீழ், அவை மின் குறைபாடுகளை உருவாக்கும்.

இந்த ஆக்சைடு படலத்தை அகற்றுவது பெரும்பாலும் நீர்த்த ஹைட்ரோஃப்ளூரிக் அமிலத்தில் ஊறவைப்பதன் மூலம் முடிக்கப்படுகிறது.

 

பொது சுத்தம் வரிசை

குறைக்கடத்தியின் மேற்பரப்பில் அசுத்தங்கள் உறிஞ்சப்படுகின்றனசெதில்கள்மூன்று வகைகளாகப் பிரிக்கலாம்: மூலக்கூறு, அயனி மற்றும் அணு.

அவற்றில், மூலக்கூறு அசுத்தங்களுக்கும் செதில்களின் மேற்பரப்புக்கும் இடையிலான உறிஞ்சுதல் விசை பலவீனமாக உள்ளது, மேலும் இந்த வகை அசுத்த துகள்களை அகற்றுவது ஒப்பீட்டளவில் எளிதானது. அவை பெரும்பாலும் ஹைட்ரோபோபிக் குணாதிசயங்களைக் கொண்ட எண்ணெய் அசுத்தங்களாகும், அவை அயனி மற்றும் அணு அசுத்தங்களை மறைக்கும், அவை குறைக்கடத்தி செதில்களின் மேற்பரப்பை மாசுபடுத்துகின்றன, இது இந்த இரண்டு வகையான அசுத்தங்களை அகற்றுவதற்கு உகந்ததல்ல. எனவே, குறைக்கடத்தி செதில்களை வேதியியல் முறையில் சுத்தம் செய்யும் போது, ​​மூலக்கூறு அசுத்தங்கள் முதலில் அகற்றப்பட வேண்டும்.

எனவே, குறைக்கடத்தியின் பொதுவான செயல்முறைசெதில்சுத்தம் செய்யும் செயல்முறை பின்வருமாறு:

De-molecularization-deionization-de-atomization-deionized water rinsing.

கூடுதலாக, செதில்களின் மேற்பரப்பில் உள்ள இயற்கையான ஆக்சைடு அடுக்கை அகற்ற, ஒரு நீர்த்த அமினோ அமிலம் ஊறவைக்கும் படி சேர்க்கப்பட வேண்டும். எனவே, சுத்தம் செய்வதற்கான யோசனை முதலில் மேற்பரப்பில் உள்ள கரிம மாசுபாட்டை அகற்றுவதாகும்; பின்னர் ஆக்சைடு அடுக்கைக் கரைக்கவும்; இறுதியாக துகள்கள் மற்றும் உலோக மாசுபாட்டை அகற்றி, அதே நேரத்தில் மேற்பரப்பை செயலிழக்கச் செய்யவும்.

 

பொதுவான சுத்தம் முறைகள்

செமிகண்டக்டர் செதில்களை சுத்தம் செய்ய வேதியியல் முறைகள் பெரும்பாலும் பயன்படுத்தப்படுகின்றன.

இரசாயன துப்புரவு என்பது பல்வேறு இரசாயன உலைகள் மற்றும் கரிம கரைப்பான்களைப் பயன்படுத்தி செதில்களின் மேற்பரப்பில் உள்ள அசுத்தங்கள் மற்றும் எண்ணெய் கறைகளை வினைபுரிய அல்லது கரைத்து, பின்னர் அதிக அளவு அதிக தூய்மையான சூடான மற்றும் குளிர்ந்த டீயோனைஸ்டு நீரில் கழுவுதல் ஆகும். ஒரு சுத்தமான மேற்பரப்பு.

இரசாயன சுத்தம் செய்வது ஈரமான இரசாயன சுத்தம் மற்றும் உலர் இரசாயன சுத்தம் என பிரிக்கலாம், அவற்றில் ஈரமான இரசாயன சுத்தம் இன்னும் ஆதிக்கம் செலுத்துகிறது.

 

ஈரமான இரசாயன சுத்தம்

 

1. ஈரமான இரசாயன சுத்தம்:

ஈரமான இரசாயன சுத்தம் செய்வது முக்கியமாக கரைசல் மூழ்குதல், இயந்திர ஸ்க்ரப்பிங், மீயொலி சுத்தம் செய்தல், மெகாசோனிக் சுத்தம் செய்தல், ரோட்டரி தெளித்தல் போன்றவை அடங்கும்.

 

2. தீர்வு மூழ்குதல்:

கரைசல் மூழ்குதல் என்பது ஒரு இரசாயனக் கரைசலில் செதில்களை மூழ்கடிப்பதன் மூலம் மேற்பரப்பு மாசுபாட்டை அகற்றும் ஒரு முறையாகும். ஈரமான இரசாயன சுத்தம் செய்வதில் இது பொதுவாகப் பயன்படுத்தப்படும் முறையாகும். செதில்களின் மேற்பரப்பில் உள்ள பல்வேறு வகையான அசுத்தங்களை அகற்ற வெவ்வேறு தீர்வுகள் பயன்படுத்தப்படலாம்.

வழக்கமாக, இந்த முறையானது செதில்களின் மேற்பரப்பில் உள்ள அசுத்தங்களை முழுவதுமாக அகற்ற முடியாது, எனவே வெப்பம், அல்ட்ராசவுண்ட் மற்றும் கிளறுதல் போன்ற உடல் நடவடிக்கைகள் பெரும்பாலும் மூழ்கும்போது பயன்படுத்தப்படுகின்றன.

 

3. இயந்திர ஸ்க்ரப்பிங்:

செதில்களின் மேற்பரப்பில் உள்ள துகள்கள் அல்லது கரிம எச்சங்களை அகற்ற இயந்திர ஸ்க்ரப்பிங் பெரும்பாலும் பயன்படுத்தப்படுகிறது. இது பொதுவாக இரண்டு முறைகளாக பிரிக்கப்படலாம்:துடைப்பான் மூலம் கைமுறையாக ஸ்க்ரப்பிங் மற்றும் ஸ்க்ரப்பிங்.

கைமுறையாக ஸ்க்ரப்பிங்எளிமையான ஸ்க்ரப்பிங் முறையாகும். ஒரு துருப்பிடிக்காத எஃகு தூரிகையானது நீரற்ற எத்தனால் அல்லது பிற கரிம கரைப்பான்களில் ஊறவைக்கப்பட்ட பந்தை பிடித்து, மெழுகு படம், தூசி, மீதமுள்ள பசை அல்லது பிற திடமான துகள்களை அகற்ற அதே திசையில் செதில்களின் மேற்பரப்பை மெதுவாக தேய்க்கவும். இந்த முறை கீறல்கள் மற்றும் கடுமையான மாசுபாட்டை ஏற்படுத்த எளிதானது.

துடைப்பான் ஒரு மென்மையான கம்பளி தூரிகை அல்லது கலப்பு தூரிகை மூலம் செதில்களின் மேற்பரப்பைத் தேய்க்க இயந்திர சுழற்சியைப் பயன்படுத்துகிறது. இந்த முறை செதில்களில் உள்ள கீறல்களை வெகுவாகக் குறைக்கிறது. உயர் அழுத்த துடைப்பான் இயந்திர உராய்வு இல்லாததால் செதில் கீறப்படாது, மேலும் பள்ளத்தில் உள்ள மாசுபாட்டை அகற்றலாம்.

 

4. மீயொலி சுத்தம்:

மீயொலி சுத்தம் என்பது செமிகண்டக்டர் துறையில் பரவலாகப் பயன்படுத்தப்படும் ஒரு துப்புரவு முறையாகும். அதன் நன்மைகள் நல்ல துப்புரவு விளைவு, எளிமையான செயல்பாடு மற்றும் சிக்கலான சாதனங்கள் மற்றும் கொள்கலன்களை சுத்தம் செய்யலாம்.

இந்த துப்புரவு முறை வலுவான மீயொலி அலைகளின் செயல்பாட்டின் கீழ் உள்ளது (பொதுவாகப் பயன்படுத்தப்படும் மீயொலி அதிர்வெண் 20s40kHz ஆகும்), மேலும் திரவ ஊடகத்திற்குள் சிதறிய மற்றும் அடர்த்தியான பாகங்கள் உருவாக்கப்படும். அரிதான பகுதி கிட்டத்தட்ட வெற்றிட குழி குமிழியை உருவாக்கும். குழி குமிழி மறைந்தால், அதன் அருகே ஒரு வலுவான உள்ளூர் அழுத்தம் உருவாக்கப்படும், செதில் மேற்பரப்பில் உள்ள அசுத்தங்களைக் கரைக்க மூலக்கூறுகளில் உள்ள வேதியியல் பிணைப்புகளை உடைக்கும். மீயொலி சுத்தம் செய்வது கரையாத அல்லது கரையாத ஃப்ளக்ஸ் எச்சங்களை அகற்ற மிகவும் பயனுள்ளதாக இருக்கும்.

 

5. மெகாசோனிக் சுத்தம்:

மெகாசோனிக் சுத்தம் மீயொலி சுத்தம் நன்மைகள் மட்டும், ஆனால் அதன் குறைபாடுகளை கடக்கிறது.

மெகாசோனிக் கிளீனிங் என்பது உயர் ஆற்றல் (850kHz) அதிர்வெண் அதிர்வு விளைவை இரசாயன துப்புரவு முகவர்களின் இரசாயன எதிர்வினையுடன் இணைப்பதன் மூலம் செதில்களை சுத்தம் செய்யும் முறையாகும். சுத்தம் செய்யும் போது, ​​கரைசல் மூலக்கூறுகள் மெகாசோனிக் அலையால் துரிதப்படுத்தப்படுகின்றன (அதிகபட்ச உடனடி வேகம் 30cmVs ஐ அடையலாம்), மேலும் அதிவேக திரவ அலையானது செதில்களின் மேற்பரப்பில் தொடர்ந்து தாக்கத்தை ஏற்படுத்துகிறது, இதனால் மாசுபடுத்திகள் மற்றும் நுண்ணிய துகள்கள் மேற்பரப்பில் இணைக்கப்படுகின்றன. செதில் வலுக்கட்டாயமாக அகற்றப்பட்டு, துப்புரவுத் தீர்வை உள்ளிடவும். துப்புரவு கரைசலில் அமில சர்பாக்டான்ட்களைச் சேர்ப்பது, ஒருபுறம், சர்பாக்டான்ட்களின் உறிஞ்சுதல் மூலம் பாலிஷ் மேற்பரப்பில் துகள்கள் மற்றும் கரிமப் பொருட்களை அகற்றும் நோக்கத்தை அடைய முடியும்; மறுபுறம், சர்பாக்டான்ட்கள் மற்றும் அமில சூழலின் ஒருங்கிணைப்பு மூலம், பாலிஷ் தாளின் மேற்பரப்பில் உலோக மாசுபாட்டை அகற்றும் நோக்கத்தை அடைய முடியும். இந்த முறை ஒரே நேரத்தில் இயந்திர துடைப்பு மற்றும் இரசாயன சுத்தம் செய்யும் பாத்திரத்தை வகிக்க முடியும்.

தற்போது, ​​மெகாசோனிக் துப்புரவு முறை மெருகூட்டல் தாள்களை சுத்தம் செய்வதற்கான ஒரு சிறந்த முறையாக மாறியுள்ளது.

 

6. ரோட்டரி தெளிப்பு முறை:

ரோட்டரி ஸ்ப்ரே முறை என்பது செதில்களை அதிக வேகத்தில் சுழற்ற இயந்திர முறைகளைப் பயன்படுத்தும் ஒரு முறையாகும், மேலும் சுழலும் செயல்பாட்டின் போது செதில்களின் மேற்பரப்பில் திரவத்தை (அதிக தூய்மையான டீயோனைஸ் செய்யப்பட்ட நீர் அல்லது பிற துப்புரவு திரவம்) தொடர்ந்து தெளிக்கிறது. செதில் மேற்பரப்பு.

இந்த முறையானது, தெளிக்கப்பட்ட திரவத்தில் கரைக்க செதில்களின் மேற்பரப்பில் உள்ள மாசுபாட்டைப் பயன்படுத்துகிறது (அல்லது இரசாயன ரீதியாக அதனுடன் வினைபுரிந்து கரைகிறது), மேலும் அதிவேக சுழற்சியின் மையவிலக்கு விளைவைப் பயன்படுத்தி, அசுத்தங்களைக் கொண்ட திரவத்தை செதில்களின் மேற்பரப்பில் இருந்து பிரிக்கிறது. நேரத்தில்.

ரோட்டரி தெளிப்பு முறை இரசாயன சுத்தம், திரவ இயக்கவியல் சுத்தம் மற்றும் உயர் அழுத்த ஸ்க்ரப்பிங் ஆகியவற்றின் நன்மைகளைக் கொண்டுள்ளது. அதே நேரத்தில், இந்த முறை உலர்த்தும் செயல்முறையுடன் இணைக்கப்படலாம். டீயோனைஸ் செய்யப்பட்ட நீர் தெளிப்பு சுத்தம் செய்த பிறகு, நீர் தெளிப்பு நிறுத்தப்பட்டு ஒரு ஸ்ப்ரே வாயு பயன்படுத்தப்படுகிறது. அதே நேரத்தில், செதில்களின் மேற்பரப்பை விரைவாக நீரிழப்பு செய்ய மையவிலக்கு விசையை அதிகரிக்க சுழற்சி வேகத்தை அதிகரிக்கலாம்.

 

7.உலர் இரசாயன சுத்தம்

உலர் சுத்தம் என்பது தீர்வுகளைப் பயன்படுத்தாத துப்புரவுத் தொழில்நுட்பத்தைக் குறிக்கிறது.

தற்போது பயன்படுத்தப்படும் உலர் சுத்தம் தொழில்நுட்பங்கள்: பிளாஸ்மா சுத்தம் தொழில்நுட்பம், எரிவாயு கட்ட சுத்தம் தொழில்நுட்பம், பீம் சுத்தம் தொழில்நுட்பம், முதலியன.

உலர் சுத்தம் செய்வதன் நன்மைகள் எளிமையான செயல்முறை மற்றும் சுற்றுச்சூழல் மாசுபாடு இல்லை, ஆனால் செலவு அதிகமாக உள்ளது மற்றும் பயன்பாட்டின் நோக்கம் தற்போதைக்கு பெரியதாக இல்லை.

 

1. பிளாஸ்மாவை சுத்தம் செய்யும் தொழில்நுட்பம்:

பிளாஸ்மா சுத்திகரிப்பு பெரும்பாலும் ஒளிச்சேர்க்கை அகற்றும் செயல்பாட்டில் பயன்படுத்தப்படுகிறது. பிளாஸ்மா எதிர்வினை அமைப்பில் ஒரு சிறிய அளவு ஆக்ஸிஜன் அறிமுகப்படுத்தப்படுகிறது. ஒரு வலுவான மின்சார புலத்தின் செயல்பாட்டின் கீழ், ஆக்ஸிஜன் பிளாஸ்மாவை உருவாக்குகிறது, இது ஒளிச்சேர்க்கையை விரைவாக ஒரு ஆவியாகும் வாயு நிலைக்கு ஆக்ஸிஜனேற்றுகிறது மற்றும் பிரித்தெடுக்கப்படுகிறது.

இந்த துப்புரவு தொழில்நுட்பமானது எளிதான செயல்பாடு, அதிக செயல்திறன், சுத்தமான மேற்பரப்பு, கீறல்கள் இல்லாதது மற்றும் டீகம்மிங் செயல்பாட்டில் தயாரிப்பு தரத்தை உறுதி செய்வதற்கு உகந்ததாக உள்ளது. மேலும், இது அமிலங்கள், காரங்கள் மற்றும் கரிம கரைப்பான்களைப் பயன்படுத்துவதில்லை, மேலும் கழிவுகளை அகற்றுவது மற்றும் சுற்றுச்சூழல் மாசுபாடு போன்ற எந்த பிரச்சனையும் இல்லை. எனவே, இது மக்களால் பெருகிய முறையில் மதிக்கப்படுகிறது. இருப்பினும், இது கார்பன் மற்றும் பிற ஆவியாகாத உலோகம் அல்லது உலோக ஆக்சைடு அசுத்தங்களை அகற்ற முடியாது.

 

2. எரிவாயு கட்டத்தை சுத்தம் செய்யும் தொழில்நுட்பம்:

வாயு கட்ட சுத்திகரிப்பு என்பது அசுத்தங்களை அகற்றும் நோக்கத்தை அடைய செதில்களின் மேற்பரப்பில் உள்ள அசுத்தமான பொருளுடன் தொடர்பு கொள்ள திரவ செயல்பாட்டில் தொடர்புடைய பொருளுக்கு சமமான வாயு கட்டத்தைப் பயன்படுத்தும் ஒரு துப்புரவு முறையைக் குறிக்கிறது.

எடுத்துக்காட்டாக, CMOS செயல்பாட்டில், ஆக்சைடுகளை அகற்ற வாயு நிலை HF மற்றும் நீர் நீராவி இடையேயான தொடர்புகளை செதில் சுத்தம் செய்கிறது. வழக்கமாக, தண்ணீரைக் கொண்டிருக்கும் HF செயல்முறையானது ஒரு துகள் அகற்றும் செயல்முறையுடன் இருக்க வேண்டும், அதே நேரத்தில் எரிவாயு கட்ட HF துப்புரவு தொழில்நுட்பத்தைப் பயன்படுத்துவதற்கு அடுத்தடுத்த துகள் அகற்றும் செயல்முறை தேவையில்லை.

அக்வஸ் HF செயல்முறையுடன் ஒப்பிடும்போது மிக முக்கியமான நன்மைகள் மிகவும் சிறிய HF இரசாயன நுகர்வு மற்றும் அதிக சுத்தம் செய்யும் திறன் ஆகும்.

 

மேலும் கலந்துரையாடலுக்கு எங்களைப் பார்வையிட உலகம் முழுவதிலுமிருந்து எந்த வாடிக்கையாளர்களையும் வரவேற்கிறோம்!

https://www.vet-china.com/

https://www.facebook.com/people/Ningbo-Miami-Advanced-Material-Technology-Co-Ltd/100085673110923/

https://www.linkedin.com/company/100890232/admin/page-posts/published/

https://www.youtube.com/@user-oo9nl2qp6j