சிலிக்கான் கார்பைடு மட்பாண்டங்கள்: குறைக்கடத்தி செயல்முறைகளுக்குத் தேவையான துல்லியமான கூறுகள்

ஃபோட்டோலித்தோகிராஃபி தொழில்நுட்பம் முக்கியமாக சிலிக்கான் செதில்களில் சுற்று வடிவங்களை வெளிப்படுத்த ஆப்டிகல் அமைப்புகளைப் பயன்படுத்துவதில் கவனம் செலுத்துகிறது. இந்த செயல்முறையின் துல்லியம், ஒருங்கிணைந்த சுற்றுகளின் செயல்திறன் மற்றும் விளைச்சலை நேரடியாக பாதிக்கிறது. சிப் உற்பத்திக்கான சிறந்த உபகரணங்களில் ஒன்றாக, லித்தோகிராஃபி இயந்திரம் நூறாயிரக்கணக்கான கூறுகளைக் கொண்டுள்ளது. லித்தோகிராஃபி அமைப்பில் உள்ள ஆப்டிகல் கூறுகள் மற்றும் கூறுகள் ஆகிய இரண்டிற்கும் சுற்று செயல்திறன் மற்றும் துல்லியத்தை உறுதி செய்ய மிக அதிக துல்லியம் தேவைப்படுகிறது.SiC மட்பாண்டங்கள்இல் பயன்படுத்தப்பட்டுள்ளனசெதில் சக்ஸ்மற்றும் செராமிக் சதுர கண்ணாடிகள்.

வேஃபர் சக்லித்தோகிராஃபி இயந்திரத்தில் உள்ள செதில் சக், வெளிப்பாடு செயல்பாட்டின் போது செதில்களைத் தாங்கி நகர்த்துகிறது. செதில் மற்றும் சக் இடையே துல்லியமான சீரமைப்பு, செதில்களின் மேற்பரப்பில் உள்ள வடிவத்தை துல்லியமாக பிரதிபலிக்க மிகவும் அவசியம்.SiC செதில்சக்ஸ் அவற்றின் இலகுரக, உயர் பரிமாண நிலைப்புத்தன்மை மற்றும் குறைந்த வெப்ப விரிவாக்கக் குணகம் ஆகியவற்றிற்காக அறியப்படுகிறது, இது செயலற்ற சுமைகளைக் குறைக்கும் மற்றும் இயக்க திறன், பொருத்துதல் துல்லியம் மற்றும் நிலைத்தன்மையை மேம்படுத்துகிறது.

செராமிக் சதுர கண்ணாடி லித்தோகிராஃபி இயந்திரத்தில், வேஃபர் சக் மற்றும் முகமூடி நிலைக்கு இடையே உள்ள இயக்க ஒத்திசைவு முக்கியமானது, இது லித்தோகிராஃபி துல்லியம் மற்றும் விளைச்சலை நேரடியாக பாதிக்கிறது. சதுர பிரதிபலிப்பான் என்பது வேஃபர் சக் ஸ்கேனிங் பொசிஷனிங் பின்னூட்ட அளவீட்டு அமைப்பின் முக்கிய அங்கமாகும், மேலும் அதன் பொருள் தேவைகள் இலகுரக மற்றும் கண்டிப்பானவை. சிலிக்கான் கார்பைடு மட்பாண்டங்கள் இலகுரக பண்புகளைக் கொண்டிருந்தாலும், அத்தகைய கூறுகளை உற்பத்தி செய்வது சவாலானது. தற்போது, ​​முன்னணி சர்வதேச ஒருங்கிணைந்த சுற்று உபகரண உற்பத்தியாளர்கள் முக்கியமாக இணைந்த சிலிக்கா மற்றும் கார்டிரைட் போன்ற பொருட்களைப் பயன்படுத்துகின்றனர். இருப்பினும், தொழில்நுட்பத்தின் முன்னேற்றத்துடன், சீன வல்லுநர்கள் பெரிய அளவிலான, சிக்கலான வடிவிலான, மிகவும் இலகுரக, முழுவதுமாக மூடப்பட்ட சிலிக்கான் கார்பைடு பீங்கான் சதுர கண்ணாடிகள் மற்றும் ஃபோட்டோலித்தோகிராஃபி இயந்திரங்களுக்கான பிற செயல்பாட்டு ஒளியியல் கூறுகளை உருவாக்கியுள்ளனர். ஃபோட்டோமாஸ்க், துளை என்றும் அழைக்கப்படுகிறது, ஒளிச்சேர்க்கை பொருள் மீது ஒரு வடிவத்தை உருவாக்க முகமூடியின் மூலம் ஒளியை கடத்துகிறது. இருப்பினும், EUV ஒளி முகமூடியை கதிர்வீச்சு செய்யும் போது, ​​அது வெப்பத்தை வெளியிடுகிறது, வெப்பநிலையை 600 முதல் 1000 டிகிரி செல்சியஸ் வரை உயர்த்துகிறது, இது வெப்ப சேதத்தை ஏற்படுத்தும். எனவே, SiC படத்தின் ஒரு அடுக்கு பொதுவாக போட்டோமாஸ்க்கில் டெபாசிட் செய்யப்படுகிறது. ASML போன்ற பல வெளிநாட்டு நிறுவனங்கள், ஃபோட்டோமாஸ்க்கைப் பயன்படுத்தும் போது துப்புரவு மற்றும் பரிசோதனையைக் குறைப்பதற்கும் EUV போட்டோலித்தோகிராஃபி இயந்திரங்களின் செயல்திறன் மற்றும் தயாரிப்பு விளைச்சலை மேம்படுத்துவதற்கும் 90%க்கும் அதிகமான பரிமாற்றத்துடன் திரைப்படங்களை வழங்குகின்றன.

பிளாஸ்மா பொறித்தல்மற்றும் டெபாசிஷன் ஃபோட்டோமாஸ்க்குகள், கிராஸ்ஹேர் என்றும் அழைக்கப்படுகின்றன, அவை முகமூடியின் மூலம் ஒளியைக் கடத்துதல் மற்றும் ஒளிச்சேர்க்கைப் பொருளில் ஒரு வடிவத்தை உருவாக்குதல் ஆகியவற்றின் முக்கிய செயல்பாட்டைக் கொண்டுள்ளன. எவ்வாறாயினும், EUV (அதிக புற ஊதா) ஒளி ஒளிக்கவசத்தை கதிர்வீச்சு செய்யும் போது, ​​அது வெப்பத்தை வெளியிடுகிறது, வெப்பநிலையை 600 முதல் 1000 டிகிரி செல்சியஸ் வரை உயர்த்துகிறது, இது வெப்ப சேதத்தை ஏற்படுத்தலாம். எனவே, சிலிக்கான் கார்பைடு (SiC) படலத்தின் ஒரு அடுக்கு பொதுவாக இந்தப் பிரச்சனையைப் போக்க போட்டோமாஸ்க்கில் டெபாசிட் செய்யப்படுகிறது. தற்போது, ​​ASML போன்ற பல வெளிநாட்டு நிறுவனங்கள், ஃபோட்டோமாஸ்க்கைப் பயன்படுத்தும் போது சுத்தம் மற்றும் பரிசோதனையின் தேவையைக் குறைக்க 90%க்கும் அதிகமான வெளிப்படைத்தன்மையுடன் திரைப்படங்களை வழங்கத் தொடங்கியுள்ளன, இதன் மூலம் EUV லித்தோகிராபி இயந்திரங்களின் செயல்திறன் மற்றும் தயாரிப்பு விளைச்சலை மேம்படுத்துகிறது. . பிளாஸ்மா பொறித்தல் மற்றும்டெபாசிஷன் ஃபோகஸ் ரிங்மற்றும் பிற குறைக்கடத்தி தயாரிப்பில், செதுக்குதல் செயல்முறையானது திரவ அல்லது வாயு பொறிகளைப் பயன்படுத்துகிறது (ஃவுளூரின்-கொண்ட வாயுக்கள் போன்றவை) பிளாஸ்மாவில் அயனியாக்கம் செய்யப்பட்டு செதில் மீது குண்டுவீசவும் மற்றும் விரும்பிய சுற்று முறை இருக்கும் வரை தேவையற்ற பொருட்களைத் தேர்ந்தெடுத்து அகற்றவும்.செதில்மேற்பரப்பு. இதற்கு நேர்மாறாக, மெல்லிய படல படிவு என்பது செதுக்கலின் தலைகீழ் பக்கத்தைப் போன்றது, படிவு முறையைப் பயன்படுத்தி உலோக அடுக்குகளுக்கு இடையில் ஒரு மெல்லிய படலத்தை உருவாக்குவதற்கு காப்புப் பொருட்களை அடுக்கி வைக்கிறது. இரண்டு செயல்முறைகளும் பிளாஸ்மா தொழில்நுட்பத்தைப் பயன்படுத்துவதால், அவை அறைகள் மற்றும் கூறுகளில் அரிக்கும் விளைவுகளுக்கு ஆளாகின்றன. எனவே, உபகரணங்களுக்குள் உள்ள கூறுகள் நல்ல பிளாஸ்மா எதிர்ப்பு, ஃவுளூரின் பொறித்தல் வாயுக்களுக்கு குறைந்த வினைத்திறன் மற்றும் குறைந்த கடத்துத்திறன் ஆகியவற்றைக் கொண்டிருக்க வேண்டும். ஃபோகஸ் ரிங்க்ஸ் போன்ற பாரம்பரிய செதுக்கல் மற்றும் படிவு சாதனக் கூறுகள் பொதுவாக சிலிக்கான் அல்லது குவார்ட்ஸ் போன்ற பொருட்களால் செய்யப்படுகின்றன. இருப்பினும், ஒருங்கிணைந்த சுற்று மினியேட்டரைசேஷன் முன்னேற்றத்துடன், ஒருங்கிணைந்த மின்சுற்று உற்பத்தியில் பொறித்தல் செயல்முறைகளின் தேவையும் முக்கியத்துவமும் அதிகரித்து வருகின்றன. நுண்ணிய அளவில், துல்லியமான சிலிக்கான் செதில் செதுக்கலுக்கு சிறிய கோடு அகலங்கள் மற்றும் மிகவும் சிக்கலான சாதன கட்டமைப்புகளை அடைய உயர் ஆற்றல் பிளாஸ்மா தேவைப்படுகிறது. எனவே, இரசாயன நீராவி படிவு (CVD) சிலிக்கான் கார்பைடு (SiC) படிப்படியாக அதன் சிறந்த இயற்பியல் மற்றும் இரசாயன பண்புகள், அதிக தூய்மை மற்றும் சீரான தன்மையுடன் பொறித்தல் மற்றும் படிவு கருவிகளுக்கு விருப்பமான பூச்சு பொருளாக மாறியுள்ளது. தற்போது, ​​செதுக்கும் கருவிகளில் CVD சிலிக்கான் கார்பைடு கூறுகளில் கவனம் வளையங்கள், எரிவாயு மழை தலைகள், தட்டுகள் மற்றும் விளிம்பு வளையங்கள் ஆகியவை அடங்கும். படிவு கருவிகளில், அறை கவர்கள், அறை லைனர்கள் மற்றும் உள்ளனSIC-பூசப்பட்ட கிராஃபைட் அடி மூலக்கூறுகள்.

அதன் குறைந்த வினைத்திறன் மற்றும் குளோரின் மற்றும் ஃவுளூரின் பொறித்தல் வாயுக்களுக்கு கடத்துத்திறன் காரணமாக,சிவிடி சிலிக்கான் கார்பைடுபிளாஸ்மா பொறிக்கும் கருவிகளில் ஃபோகஸ் ரிங்க்ஸ் போன்ற கூறுகளுக்கு சிறந்த பொருளாக மாறியுள்ளது.சிவிடி சிலிக்கான் கார்பைடுசெதுக்கும் கருவிகளில் உள்ள பாகங்களில் ஃபோகஸ் ரிங்ஸ், கேஸ் ஷவர் ஹெட்ஸ், டிரேக்கள், எட்ஜ் ரிங்ஸ் போன்றவை அடங்கும். ஃபோகஸ் மோதிரங்களை உதாரணமாக எடுத்துக் கொள்ளுங்கள், அவை செதில்களுக்கு வெளியே வைக்கப்படும் முக்கிய கூறுகள் மற்றும் செதில்களுடன் நேரடி தொடர்பில் இருக்கும். வளையத்திற்கு மின்னழுத்தத்தைப் பயன்படுத்துவதன் மூலம், பிளாஸ்மா வளையத்தின் வழியாக செதில் மீது கவனம் செலுத்துகிறது, செயல்முறையின் சீரான தன்மையை மேம்படுத்துகிறது. பாரம்பரியமாக, ஃபோகஸ் வளையங்கள் சிலிக்கான் அல்லது குவார்ட்ஸால் செய்யப்படுகின்றன. இருப்பினும், ஒருங்கிணைந்த சுற்று மினியேட்டரைசேஷன் முன்னேறும்போது, ​​ஒருங்கிணைந்த மின்சுற்று உற்பத்தியில் பொறித்தல் செயல்முறைகளின் தேவையும் முக்கியத்துவமும் தொடர்ந்து அதிகரித்து வருகிறது. பிளாஸ்மா பொறிக்கும் சக்தி மற்றும் ஆற்றல் தேவைகள் தொடர்ந்து அதிகரித்து வருகின்றன, குறிப்பாக கொள்ளளவு இணைக்கப்பட்ட பிளாஸ்மா (CCP) பொறித்தல் கருவிகளில், அதிக பிளாஸ்மா ஆற்றல் தேவைப்படுகிறது. இதனால், சிலிக்கான் கார்பைடு பொருட்களால் செய்யப்பட்ட ஃபோகஸ் ரிங்க்களின் பயன்பாடு அதிகரித்து வருகிறது.