வேஃபர்வெட்டுதல் சக்தி குறைக்கடத்தி உற்பத்தியில் முக்கியமான இணைப்புகளில் ஒன்றாகும். இந்த படியானது செமிகண்டக்டர் செதில்களிலிருந்து தனிப்பட்ட ஒருங்கிணைந்த சுற்றுகள் அல்லது சில்லுகளை துல்லியமாக பிரிக்க வடிவமைக்கப்பட்டுள்ளது.
திறவுகோல்செதில்வெட்டுதல் என்பது தனித்தனி சில்லுகளை பிரிக்க முடியும், அதே நேரத்தில் நுட்பமான கட்டமைப்புகள் மற்றும் சுற்றுகள் உட்பொதிக்கப்பட்டிருப்பதை உறுதிசெய்கிறது.செதில்சேதமடையவில்லை. வெட்டுச் செயல்முறையின் வெற்றி அல்லது தோல்வியானது சிப்பின் பிரிப்புத் தரம் மற்றும் விளைச்சலைப் பாதிப்பது மட்டுமல்லாமல், முழு உற்பத்தி செயல்முறையின் செயல்திறனுடனும் நேரடியாக தொடர்புடையது.
▲செதில் வெட்டும் மூன்று பொதுவான வகைகள் | ஆதாரம்: KLA சீனா
தற்போது, பொதுவானதுசெதில்வெட்டு செயல்முறைகள் பிரிக்கப்பட்டுள்ளன:
கத்தி வெட்டு: குறைந்த விலை, பொதுவாக தடிமனாக பயன்படுத்தப்படுகிறதுசெதில்கள்
லேசர் வெட்டு: அதிக விலை, பொதுவாக 30μm க்கும் அதிகமான தடிமன் கொண்ட செதில்களுக்குப் பயன்படுத்தப்படுகிறது
பிளாஸ்மா வெட்டு: அதிக விலை, அதிக கட்டுப்பாடுகள், பொதுவாக 30μm க்கும் குறைவான தடிமன் கொண்ட செதில்களுக்குப் பயன்படுத்தப்படுகிறது
இயந்திர கத்தி வெட்டுதல்
பிளேடு கட்டிங் என்பது அதிவேக சுழலும் அரைக்கும் வட்டு (பிளேடு) மூலம் ஸ்க்ரைப் லைனில் வெட்டுவது. பிளேடு பொதுவாக சிராய்ப்பு அல்லது மிக மெல்லிய வைரப் பொருட்களால் ஆனது, சிலிக்கான் செதில்களை வெட்டுவதற்கு அல்லது துருவுவதற்கு ஏற்றது. எவ்வாறாயினும், ஒரு இயந்திர வெட்டு முறையாக, பிளேடு வெட்டுதல் என்பது இயற்பியல் பொருட்களை அகற்றுவதை நம்பியுள்ளது, இது எளிதில் சிப்பிங் அல்லது சில்லு விளிம்பில் விரிசல் ஏற்படலாம், இதனால் தயாரிப்பு தரம் பாதிக்கப்படுகிறது மற்றும் மகசூல் குறைகிறது.
இயந்திர அறுக்கும் செயல்முறையால் உற்பத்தி செய்யப்படும் இறுதிப் பொருளின் தரம் வெட்டு வேகம், கத்தி தடிமன், கத்தி விட்டம் மற்றும் கத்தி சுழற்சி வேகம் உள்ளிட்ட பல அளவுருக்களால் பாதிக்கப்படுகிறது.
ஃபுல் கட் என்பது மிகவும் அடிப்படையான பிளேட் வெட்டும் முறையாகும், இது ஒரு நிலையான பொருளுக்கு (ஸ்லைசிங் டேப் போன்றவை) வெட்டுவதன் மூலம் பணிப்பகுதியை முழுவதுமாக வெட்டுகிறது.
▲ மெக்கானிக்கல் பிளேடு கட்டிங்-ஃபுல் கட் | பட மூல நெட்வொர்க்
அரை வெட்டு என்பது ஒரு செயலாக்க முறையாகும், இது பணியிடத்தின் நடுவில் வெட்டுவதன் மூலம் ஒரு பள்ளத்தை உருவாக்குகிறது. பள்ளம் செயல்முறையை தொடர்ந்து செய்வதன் மூலம், சீப்பு மற்றும் ஊசி வடிவ புள்ளிகளை உருவாக்க முடியும்.
▲ மெக்கானிக்கல் பிளேடு கட்டிங்-ஹாஃப் கட் | பட மூல நெட்வொர்க்
டபுள் கட் என்பது ஒரு செயலாக்க முறையாகும், இது இரண்டு சுழல்களுடன் கூடிய இரட்டை ஸ்லைசிங் ரம்பைப் பயன்படுத்தி ஒரே நேரத்தில் இரண்டு உற்பத்திக் கோடுகளில் முழு அல்லது அரை வெட்டுகளைச் செய்கிறது. இரட்டை வெட்டுதல் ரம்பம் இரண்டு சுழல் அச்சுகளைக் கொண்டுள்ளது. இந்த செயல்முறை மூலம் உயர் செயல்திறன் அடைய முடியும்.
▲ மெக்கானிக்கல் பிளேடு கட்டிங்-இரட்டை வெட்டு | பட மூல நெட்வொர்க்
ஸ்டெப் கட் இரண்டு நிலைகளில் முழு மற்றும் அரை வெட்டுக்களைச் செய்ய இரண்டு சுழல்களைக் கொண்ட இரட்டை ஸ்லைசிங் ரம் பயன்படுத்துகிறது. செதில்களின் மேற்பரப்பில் வயரிங் லேயரை வெட்டுவதற்கு உகந்த பிளேடுகளைப் பயன்படுத்தவும் மற்றும் உயர்தர செயலாக்கத்தை அடைய மீதமுள்ள சிலிக்கான் ஒற்றை படிகத்திற்கு உகந்த பிளேடுகளைப் பயன்படுத்தவும்.
▲ மெக்கானிக்கல் பிளேடு கட்டிங் – ஸ்டெப் கட்டிங் | பட மூல நெட்வொர்க்
பெவல் கட்டிங் என்பது ஒரு செயலாக்க முறையாகும், இது ஸ்டெப் கட்டிங் செயல்பாட்டின் போது செதில்களை இரண்டு நிலைகளில் வெட்ட அரை-வெட்டு விளிம்பில் V- வடிவ விளிம்புடன் ஒரு பிளேட்டைப் பயன்படுத்துகிறது. வெட்டும் செயல்பாட்டின் போது சேம்ஃபரிங் செயல்முறை செய்யப்படுகிறது. எனவே, அதிக அச்சு வலிமை மற்றும் உயர்தர செயலாக்கத்தை அடைய முடியும்.
▲ மெக்கானிக்கல் பிளேடு கட்டிங் – பெவல் கட்டிங் | பட மூல நெட்வொர்க்
லேசர் வெட்டுதல்
லேசர் கட்டிங் என்பது தொடர்பு இல்லாத செதில் வெட்டும் தொழில்நுட்பமாகும், இது செமிகண்டக்டர் செதில்களிலிருந்து தனித்தனி சில்லுகளைப் பிரிக்க கவனம் செலுத்திய லேசர் கற்றையைப் பயன்படுத்துகிறது. உயர்-ஆற்றல் லேசர் கற்றை செதில்களின் மேற்பரப்பில் கவனம் செலுத்துகிறது மற்றும் நீக்குதல் அல்லது வெப்ப சிதைவு செயல்முறைகள் மூலம் முன்னரே தீர்மானிக்கப்பட்ட வெட்டுக் கோட்டில் உள்ள பொருளை ஆவியாகிறது அல்லது நீக்குகிறது.
▲ லேசர் வெட்டும் வரைபடம் | பட ஆதாரம்: KLA CHINA
தற்போது பரவலாகப் பயன்படுத்தப்படும் லேசர் வகைகளில் புற ஊதா ஒளிக்கதிர்கள், அகச்சிவப்பு ஒளிக்கதிர்கள் மற்றும் ஃபெம்டோசெகண்ட் லேசர்கள் ஆகியவை அடங்கும். அவற்றில், புற ஊதா ஒளிக்கதிர்கள் அவற்றின் அதிக ஃபோட்டான் ஆற்றலின் காரணமாக துல்லியமான குளிர் நீக்கத்திற்குப் பயன்படுத்தப்படுகின்றன, மேலும் வெப்பத்தால் பாதிக்கப்பட்ட பகுதி மிகவும் சிறியது, இது செதில் மற்றும் அதைச் சுற்றியுள்ள சில்லுகளுக்கு வெப்ப சேதத்தின் அபாயத்தை திறம்பட குறைக்கும். அகச்சிவப்பு ஒளிக்கதிர்கள் தடிமனான செதில்களுக்கு மிகவும் பொருத்தமானவை, ஏனெனில் அவை பொருளில் ஆழமாக ஊடுருவ முடியும். ஃபெம்டோசெகண்ட் லேசர்கள் அல்ட்ராஷார்ட் லைட் பருப்புகள் மூலம் கிட்டத்தட்ட மிகக் குறைவான வெப்ப பரிமாற்றத்துடன் உயர் துல்லியமான மற்றும் திறமையான பொருள் அகற்றலை அடைகின்றன.
பாரம்பரிய கத்தி வெட்டுவதை விட லேசர் வெட்டு குறிப்பிடத்தக்க நன்மைகளைக் கொண்டுள்ளது. முதலாவதாக, தொடர்பு இல்லாத செயல்முறையாக, லேசர் வெட்டும் செதில் மீது உடல் அழுத்தம் தேவைப்படாது, இயந்திர வெட்டுகளில் பொதுவான துண்டு துண்டாக மற்றும் விரிசல் சிக்கல்களைக் குறைக்கிறது. இந்த அம்சம், குறிப்பாக சிக்கலான கட்டமைப்புகள் அல்லது நுண்ணிய அம்சங்களைக் கொண்ட, உடையக்கூடிய அல்லது மிக மெல்லிய செதில்களைச் செயலாக்குவதற்கு லேசர் வெட்டுதலைப் பொருத்தமானதாக ஆக்குகிறது.
▲ லேசர் வெட்டும் வரைபடம் | பட மூல நெட்வொர்க்
கூடுதலாக, லேசர் வெட்டுதலின் உயர் துல்லியம் மற்றும் துல்லியம், லேசர் கற்றையை மிகச்சிறிய ஸ்பாட் அளவுக்கு மையப்படுத்தவும், சிக்கலான வெட்டு முறைகளை ஆதரிக்கவும், சில்லுகளுக்கு இடையே உள்ள குறைந்தபட்ச இடைவெளியைப் பிரிக்கவும் உதவுகிறது. சுருங்கும் அளவுகளைக் கொண்ட மேம்பட்ட குறைக்கடத்தி சாதனங்களுக்கு இந்த அம்சம் மிகவும் முக்கியமானது.
இருப்பினும், லேசர் வெட்டும் சில வரம்புகளைக் கொண்டுள்ளது. கத்தி வெட்டுடன் ஒப்பிடுகையில், இது மெதுவாகவும் விலை உயர்ந்ததாகவும் இருக்கிறது, குறிப்பாக பெரிய அளவிலான உற்பத்தியில். கூடுதலாக, சரியான லேசர் வகையைத் தேர்ந்தெடுப்பது மற்றும் திறமையான பொருள் அகற்றுதல் மற்றும் குறைந்தபட்ச வெப்ப-பாதிக்கப்பட்ட மண்டலத்தை உறுதிசெய்ய அளவுருக்களை மேம்படுத்துதல் ஆகியவை சில பொருட்கள் மற்றும் தடிமன்களுக்கு சவாலாக இருக்கலாம்.
லேசர் நீக்கம் வெட்டுதல்
லேசர் நீக்கம் வெட்டும் போது, லேசர் கற்றை துல்லியமாக செதில் மேற்பரப்பில் ஒரு குறிப்பிட்ட இடத்தில் கவனம் செலுத்துகிறது, மேலும் லேசர் ஆற்றல் முன்னரே தீர்மானிக்கப்பட்ட வெட்டு முறைக்கு ஏற்ப வழிநடத்தப்படுகிறது, படிப்படியாக செதில் வழியாக கீழே வெட்டப்படுகிறது. வெட்டுத் தேவைகளைப் பொறுத்து, இந்த செயல்பாடு துடிப்புள்ள லேசர் அல்லது தொடர்ச்சியான அலை லேசரைப் பயன்படுத்தி செய்யப்படுகிறது. லேசரின் அதிகப்படியான உள்ளூர் வெப்பத்தால் செதில் சேதமடைவதைத் தடுக்க, குளிர்ந்த நீரை குளிர்விக்கவும் வெப்ப சேதத்திலிருந்து பாதுகாக்கவும் பயன்படுத்தப்படுகிறது. அதே நேரத்தில், குளிரூட்டும் நீர் வெட்டும் செயல்பாட்டின் போது உருவாகும் துகள்களை திறம்பட அகற்றவும், மாசுபடுவதைத் தடுக்கவும் மற்றும் வெட்டு தரத்தை உறுதிப்படுத்தவும் முடியும்.
லேசர் கண்ணுக்கு தெரியாத வெட்டு
"கண்ணுக்கு தெரியாத லேசர் வெட்டுதல்" என்று அழைக்கப்படும் செதில்களின் முக்கிய பகுதிக்கு வெப்பத்தை மாற்ற லேசர் கவனம் செலுத்துகிறது. இந்த முறைக்கு, லேசரின் வெப்பம் ஸ்க்ரைப் லேன்களில் இடைவெளிகளை உருவாக்குகிறது. இந்த பலவீனமான பகுதிகள், செதில் நீட்டப்படும் போது உடைப்பதன் மூலம் இதேபோன்ற ஊடுருவல் விளைவை அடைகின்றன.
▲லேசர் கண்ணுக்கு தெரியாத வெட்டும் முக்கிய செயல்முறை
கண்ணுக்குத் தெரியாத வெட்டும் செயல்முறையானது, லேசர் மேற்பரப்பில் உறிஞ்சப்படும் லேசர் நீக்கத்தை விட, உள் உறிஞ்சுதல் லேசர் செயல்முறையாகும். கண்ணுக்குத் தெரியாத வெட்டுடன், செதில் அடி மூலக்கூறு பொருளுக்கு அரை-வெளிப்படையான அலைநீளம் கொண்ட லேசர் கற்றை ஆற்றல் பயன்படுத்தப்படுகிறது. செயல்முறை இரண்டு முக்கிய படிகளாக பிரிக்கப்பட்டுள்ளது, ஒன்று லேசர் அடிப்படையிலான செயல்முறை, மற்றொன்று இயந்திர பிரிப்பு செயல்முறை.
▲லேசர் கற்றை செதில் மேற்பரப்புக்கு கீழே ஒரு துளையை உருவாக்குகிறது, மேலும் முன் மற்றும் பின் பக்கங்கள் பாதிக்கப்படாது | பட மூல நெட்வொர்க்
முதல் கட்டத்தில், லேசர் கற்றை செதில்களை ஸ்கேன் செய்வதால், லேசர் கற்றை செதில் உள்ள ஒரு குறிப்பிட்ட புள்ளியில் கவனம் செலுத்துகிறது, உள்ளே ஒரு விரிசல் புள்ளியை உருவாக்குகிறது. பீம் ஆற்றல் உள்ளே விரிசல்களை உருவாக்குகிறது, அவை செதில்களின் முழு தடிமன் வழியாக மேல் மற்றும் கீழ் மேற்பரப்புகளுக்கு இன்னும் நீட்டிக்கப்படவில்லை.
▲பிளேடு முறை மற்றும் லேசர் கண்ணுக்கு தெரியாத வெட்டும் முறை மூலம் வெட்டப்பட்ட 100μm தடிமனான சிலிக்கான் செதில்களின் ஒப்பீடு | பட மூல நெட்வொர்க்
இரண்டாவது கட்டத்தில், செதில்களின் அடிப்பகுதியில் உள்ள சிப் டேப் உடல் ரீதியாக விரிவடைகிறது, இது முதல் கட்டத்தில் லேசர் செயல்பாட்டில் தூண்டப்படும் செதில் உள்ள விரிசல்களில் இழுவிசை அழுத்தத்தை ஏற்படுத்துகிறது. இந்த அழுத்தமானது விரிசல்களை செங்குத்தாக மேல் மற்றும் கீழ் மேற்பரப்புகளுக்கு விரிவுபடுத்துகிறது, பின்னர் இந்த வெட்டுப் புள்ளிகளுடன் செதில்களை சில்லுகளாக பிரிக்கிறது. கண்ணுக்குத் தெரியாத வெட்டுகளில், அரை-வெட்டு அல்லது கீழ்-பக்க அரை-வெட்டு பொதுவாக செதில்களை சில்லுகள் அல்லது சில்லுகளாகப் பிரிப்பதை எளிதாக்க பயன்படுகிறது.
லேசர் நீக்கத்தை விட கண்ணுக்கு தெரியாத லேசர் வெட்டும் முக்கிய நன்மைகள்:
• குளிரூட்டி தேவையில்லை
• குப்பைகள் உருவாக்கப்படவில்லை
• உணர்திறன் சுற்றுகளை சேதப்படுத்தும் வெப்ப-பாதிக்கப்பட்ட மண்டலங்கள் இல்லை
பிளாஸ்மா வெட்டுதல்
பிளாஸ்மா கட்டிங் (பிளாஸ்மா எச்சிங் அல்லது ட்ரை எச்சிங் என்றும் அழைக்கப்படுகிறது) என்பது செமிகண்டக்டர் செதில்களில் இருந்து தனிப்பட்ட சில்லுகளை பிரிக்க எதிர்வினை அயன் பொறித்தல் (RIE) அல்லது ஆழமான எதிர்வினை அயன் பொறித்தல் (DRIE) ஆகியவற்றைப் பயன்படுத்தும் ஒரு மேம்பட்ட செதில் வெட்டு தொழில்நுட்பமாகும். பிளாஸ்மாவைப் பயன்படுத்தி முன்னரே தீர்மானிக்கப்பட்ட வெட்டுக் கோடுகளுடன் பொருட்களை வேதியியல் முறையில் அகற்றுவதன் மூலம் தொழில்நுட்பம் வெட்டுவதை அடைகிறது.
பிளாஸ்மா வெட்டும் செயல்பாட்டின் போது, குறைக்கடத்தி செதில் ஒரு வெற்றிட அறையில் வைக்கப்படுகிறது, ஒரு கட்டுப்படுத்தப்பட்ட எதிர்வினை வாயு கலவை அறைக்குள் அறிமுகப்படுத்தப்படுகிறது, மேலும் அதிக செறிவு கொண்ட எதிர்வினை அயனிகள் மற்றும் தீவிரவாதிகள் கொண்ட பிளாஸ்மாவை உருவாக்க ஒரு மின்சார புலம் பயன்படுத்தப்படுகிறது. இந்த எதிர்வினை இனங்கள் செதில் பொருளுடன் தொடர்பு கொள்கின்றன மற்றும் வேதியியல் எதிர்வினை மற்றும் இயற்பியல் ஸ்பட்டரிங் ஆகியவற்றின் மூலம் ஸ்க்ரைப் லைனில் உள்ள செதில் பொருளைத் தேர்ந்தெடுத்து அகற்றுகின்றன.
பிளாஸ்மா வெட்டுதலின் முக்கிய நன்மை என்னவென்றால், இது செதில் மற்றும் சிப்பில் இயந்திர அழுத்தத்தை குறைக்கிறது மற்றும் உடல் தொடர்புகளால் ஏற்படக்கூடிய சேதத்தை குறைக்கிறது. இருப்பினும், இந்த செயல்முறை மற்ற முறைகளைக் காட்டிலும் மிகவும் சிக்கலானது மற்றும் நேரத்தை எடுத்துக்கொள்ளும், குறிப்பாக தடிமனான செதில்கள் அல்லது அதிக செதுக்கல் எதிர்ப்பைக் கொண்ட பொருட்களைக் கையாளும் போது, வெகுஜன உற்பத்தியில் அதன் பயன்பாடு குறைவாக உள்ளது.
▲பட மூல நெட்வொர்க்
செமிகண்டக்டர் தயாரிப்பில், செதில் பொருள் பண்புகள், சிப் அளவு மற்றும் வடிவியல், தேவையான துல்லியம் மற்றும் துல்லியம் மற்றும் ஒட்டுமொத்த உற்பத்தி செலவு மற்றும் செயல்திறன் உள்ளிட்ட பல காரணிகளின் அடிப்படையில் செதில் வெட்டும் முறையைத் தேர்ந்தெடுக்க வேண்டும்.
இடுகை நேரம்: செப்-20-2024