வேஃபர்வெட்டுதல் என்பது சக்தி குறைக்கடத்தி உற்பத்தியில் முக்கியமான இணைப்புகளில் ஒன்றாகும். இந்தப் படியானது, குறைக்கடத்தி செதில்களிலிருந்து தனிப்பட்ட ஒருங்கிணைந்த சுற்றுகள் அல்லது சில்லுகளைத் துல்லியமாகப் பிரிக்க வடிவமைக்கப்பட்டுள்ளது.
திறவுகோல்வேஃபர்வெட்டுதல் என்பது தனிப்பட்ட சில்லுகளைப் பிரிக்க முடியும், அதே நேரத்தில் நுட்பமான கட்டமைப்புகள் மற்றும் சுற்றுகள் உட்பொதிக்கப்பட்டுள்ளதா என்பதை உறுதி செய்கிறது.வேஃபர்சேதமடையவில்லை. வெட்டும் செயல்முறையின் வெற்றி அல்லது தோல்வி, சிப்பின் பிரிப்பு தரம் மற்றும் விளைச்சலை மட்டும் பாதிக்காது, ஆனால் முழு உற்பத்தி செயல்முறையின் செயல்திறனுடனும் நேரடியாக தொடர்புடையது.
▲மூன்று பொதுவான வகையான வேஃபர் வெட்டுதல் | மூலம்: KLA CHINA
தற்போது, பொதுவானதுவேஃபர்வெட்டும் செயல்முறைகள் பின்வருமாறு பிரிக்கப்பட்டுள்ளன:
கத்தி வெட்டுதல்: குறைந்த விலை, பொதுவாக தடிமனாகப் பயன்படுத்தப்படுகிறதுவேஃபர்கள்
லேசர் வெட்டுதல்: அதிக விலை, பொதுவாக 30μm க்கும் அதிகமான தடிமன் கொண்ட செதில்களுக்குப் பயன்படுத்தப்படுகிறது.
பிளாஸ்மா வெட்டுதல்: அதிக விலை, அதிக கட்டுப்பாடுகள், பொதுவாக 30μm க்கும் குறைவான தடிமன் கொண்ட செதில்களுக்குப் பயன்படுத்தப்படுகிறது.
இயந்திர கத்தி வெட்டுதல்
பிளேடு வெட்டுதல் என்பது ஒரு அதிவேக சுழலும் அரைக்கும் வட்டு (பிளேடு) மூலம் ஸ்க்ரைப் லைன் வழியாக வெட்டுவதற்கான ஒரு செயல்முறையாகும். பிளேடு பொதுவாக சிராய்ப்பு அல்லது மிக மெல்லிய வைரப் பொருளால் ஆனது, சிலிக்கான் செதில்களில் வெட்டுவதற்கு அல்லது பள்ளம் செய்வதற்கு ஏற்றது. இருப்பினும், ஒரு இயந்திர வெட்டு முறையாக, பிளேடு வெட்டுதல் என்பது இயற்பியல் பொருள் அகற்றலை நம்பியுள்ளது, இது சிப் விளிம்பில் எளிதில் சிப்பிங் அல்லது விரிசலுக்கு வழிவகுக்கும், இதனால் தயாரிப்பு தரத்தை பாதிக்கிறது மற்றும் மகசூலைக் குறைக்கிறது.
இயந்திர அறுக்கும் செயல்முறையால் உற்பத்தி செய்யப்படும் இறுதிப் பொருளின் தரம், வெட்டு வேகம், கத்தி தடிமன், கத்தி விட்டம் மற்றும் கத்தி சுழற்சி வேகம் உள்ளிட்ட பல அளவுருக்களால் பாதிக்கப்படுகிறது.
முழு வெட்டு என்பது மிகவும் அடிப்படையான பிளேடு வெட்டும் முறையாகும், இது ஒரு நிலையான பொருளாக (ஸ்லைசிங் டேப் போன்றவை) வெட்டுவதன் மூலம் பணிப்பகுதியை முழுவதுமாக வெட்டுகிறது.
▲ இயந்திர கத்தி வெட்டுதல்-முழு வெட்டு | பட மூல நெட்வொர்க்
அரை வெட்டு என்பது ஒரு செயலாக்க முறையாகும், இது பணிப்பகுதியின் நடுப்பகுதி வரை வெட்டுவதன் மூலம் ஒரு பள்ளத்தை உருவாக்குகிறது. பள்ளம் செயல்முறையைத் தொடர்ந்து செய்வதன் மூலம், சீப்பு மற்றும் ஊசி வடிவ புள்ளிகளை உருவாக்க முடியும்.
▲ இயந்திர கத்தி வெட்டு-அரை வெட்டு | பட மூல நெட்வொர்க்
இரட்டை வெட்டு என்பது இரண்டு உற்பத்தி வரிகளில் ஒரே நேரத்தில் முழு அல்லது அரை வெட்டுகளைச் செய்ய இரண்டு சுழல்களுடன் கூடிய இரட்டை ஸ்லைசிங் ரம்பத்தைப் பயன்படுத்தும் ஒரு செயலாக்க முறையாகும். இரட்டை ஸ்லைசிங் ரம்பம் இரண்டு சுழல் அச்சுகளைக் கொண்டுள்ளது. இந்த செயல்முறையின் மூலம் அதிக செயல்திறனை அடைய முடியும்.
▲ இயந்திர கத்தி வெட்டுதல்-இரட்டை வெட்டு | பட மூல நெட்வொர்க்
ஸ்டெப் கட் இரண்டு ஸ்பிண்டில்களுடன் கூடிய இரட்டை ஸ்லைசிங் ரம்பத்தைப் பயன்படுத்தி இரண்டு நிலைகளில் முழு மற்றும் அரை வெட்டுக்களைச் செய்கிறது. உயர்தர செயலாக்கத்தை அடைய, வேஃபரின் மேற்பரப்பில் வயரிங் அடுக்கை வெட்டுவதற்கு உகந்ததாக அமைக்கப்பட்ட பிளேடுகளையும், மீதமுள்ள சிலிக்கான் ஒற்றை படிகத்திற்கு உகந்ததாக அமைக்கப்பட்ட பிளேடுகளையும் பயன்படுத்தவும்.
▲ இயந்திர கத்தி வெட்டுதல் - படி வெட்டுதல் | பட மூல நெட்வொர்க்
பெவல் கட்டிங் என்பது அரை-வெட்டு விளிம்பில் V-வடிவ விளிம்பைக் கொண்ட ஒரு பிளேடைப் பயன்படுத்தி படி வெட்டும் செயல்பாட்டின் போது வேஃபரை இரண்டு நிலைகளில் வெட்டுவதற்கான ஒரு செயலாக்க முறையாகும். வெட்டும் செயல்பாட்டின் போது சேம்ஃபரிங் செயல்முறை செய்யப்படுகிறது. எனவே, அதிக அச்சு வலிமை மற்றும் உயர்தர செயலாக்கத்தை அடைய முடியும்.
▲ இயந்திர கத்தி வெட்டுதல் - பெவல் வெட்டுதல் | பட மூல நெட்வொர்க்
லேசர் வெட்டுதல்
லேசர் கட்டிங் என்பது தொடர்பு இல்லாத வேஃபர் வெட்டும் தொழில்நுட்பமாகும், இது செமிகண்டக்டர் செதில்களிலிருந்து தனிப்பட்ட சில்லுகளைப் பிரிக்க ஒரு கவனம் செலுத்தப்பட்ட லேசர் கற்றையைப் பயன்படுத்துகிறது. உயர் ஆற்றல் கொண்ட லேசர் கற்றை வேஃபரின் மேற்பரப்பில் கவனம் செலுத்துகிறது மற்றும் நீக்கம் அல்லது வெப்ப சிதைவு செயல்முறைகள் மூலம் முன்னரே தீர்மானிக்கப்பட்ட வெட்டுக் கோட்டில் பொருளை ஆவியாக்குகிறது அல்லது நீக்குகிறது.
▲ லேசர் வெட்டும் வரைபடம் | பட மூலம்: KLA CHINA
தற்போது பரவலாகப் பயன்படுத்தப்படும் லேசர் வகைகளில் புற ஊதா லேசர்கள், அகச்சிவப்பு லேசர்கள் மற்றும் ஃபெம்டோசெகண்ட் லேசர்கள் ஆகியவை அடங்கும். அவற்றில், புற ஊதா லேசர்கள் பெரும்பாலும் அவற்றின் அதிக ஃபோட்டான் ஆற்றல் காரணமாக துல்லியமான குளிர் நீக்கத்திற்குப் பயன்படுத்தப்படுகின்றன, மேலும் வெப்பத்தால் பாதிக்கப்பட்ட மண்டலம் மிகவும் சிறியதாக உள்ளது, இது வேஃபர் மற்றும் அதன் சுற்றியுள்ள சில்லுகளுக்கு வெப்ப சேதத்தின் அபாயத்தை திறம்பட குறைக்கும். அகச்சிவப்பு லேசர்கள் தடிமனான வேஃபர்களுக்கு மிகவும் பொருத்தமானவை, ஏனெனில் அவை பொருளுக்குள் ஆழமாக ஊடுருவ முடியும். ஃபெம்டோசெகண்ட் லேசர்கள் அல்ட்ராஷார்ட் லைட் பருப்புகள் மூலம் கிட்டத்தட்ட மிகக் குறைந்த வெப்ப பரிமாற்றத்துடன் உயர் துல்லியம் மற்றும் திறமையான பொருள் அகற்றலை அடைகின்றன.
பாரம்பரிய பிளேடு வெட்டுவதை விட லேசர் வெட்டுதல் குறிப்பிடத்தக்க நன்மைகளைக் கொண்டுள்ளது. முதலாவதாக, தொடர்பு இல்லாத செயல்முறையாக, லேசர் வெட்டுவதற்கு வேஃபரில் உடல் அழுத்தம் தேவையில்லை, இது இயந்திர வெட்டுதலில் பொதுவான துண்டு துண்டாக மற்றும் விரிசல் சிக்கல்களைக் குறைக்கிறது. இந்த அம்சம் லேசர் வெட்டுதலை உடையக்கூடிய அல்லது மிக மெல்லிய செதில்களை செயலாக்குவதற்கு மிகவும் பொருத்தமானதாக ஆக்குகிறது, குறிப்பாக சிக்கலான கட்டமைப்புகள் அல்லது சிறந்த அம்சங்களைக் கொண்டவை.
▲ லேசர் வெட்டும் வரைபடம் | பட மூல நெட்வொர்க்
கூடுதலாக, லேசர் வெட்டுதலின் உயர் துல்லியம் மற்றும் துல்லியம், லேசர் கற்றையை மிகச் சிறிய புள்ளி அளவிற்கு கவனம் செலுத்தவும், சிக்கலான வெட்டு முறைகளை ஆதரிக்கவும், சில்லுகளுக்கு இடையில் குறைந்தபட்ச இடைவெளியைப் பிரிக்கவும் உதவுகிறது. சுருங்கும் அளவுகளைக் கொண்ட மேம்பட்ட குறைக்கடத்தி சாதனங்களுக்கு இந்த அம்சம் மிகவும் முக்கியமானது.
இருப்பினும், லேசர் வெட்டுதலும் சில வரம்புகளைக் கொண்டுள்ளது. பிளேடு வெட்டுதலுடன் ஒப்பிடும்போது, இது மெதுவாகவும் விலை அதிகமாகவும் இருக்கும், குறிப்பாக பெரிய அளவிலான உற்பத்தியில். கூடுதலாக, திறமையான பொருள் அகற்றுதல் மற்றும் குறைந்தபட்ச வெப்பத்தால் பாதிக்கப்பட்ட மண்டலத்தை உறுதிசெய்ய சரியான லேசர் வகையைத் தேர்ந்தெடுப்பது மற்றும் அளவுருக்களை மேம்படுத்துவது சில பொருட்கள் மற்றும் தடிமன்களுக்கு சவாலாக இருக்கலாம்.
லேசர் நீக்கம் வெட்டுதல்
லேசர் நீக்குதல் வெட்டும் போது, லேசர் கற்றை வேஃபரின் மேற்பரப்பில் ஒரு குறிப்பிட்ட இடத்தில் துல்லியமாக கவனம் செலுத்தப்படுகிறது, மேலும் லேசர் ஆற்றல் முன்னரே தீர்மானிக்கப்பட்ட வெட்டு முறைக்கு ஏற்ப வழிநடத்தப்படுகிறது, படிப்படியாக வேஃபர் வழியாக அடிப்பகுதிக்கு வெட்டப்படுகிறது. வெட்டும் தேவைகளைப் பொறுத்து, இந்த செயல்பாடு ஒரு துடிப்புள்ள லேசர் அல்லது தொடர்ச்சியான அலை லேசரைப் பயன்படுத்தி செய்யப்படுகிறது. லேசரின் அதிகப்படியான உள்ளூர் வெப்பமாக்கல் காரணமாக வேஃபருக்கு ஏற்படும் சேதத்தைத் தடுக்க, குளிரூட்டும் நீர் குளிர்விக்கவும், வெப்ப சேதத்திலிருந்து வேஃபரைப் பாதுகாக்கவும் பயன்படுத்தப்படுகிறது. அதே நேரத்தில், குளிரூட்டும் நீர் வெட்டும் செயல்பாட்டின் போது உருவாகும் துகள்களை திறம்பட அகற்றவும், மாசுபாட்டைத் தடுக்கவும் மற்றும் வெட்டும் தரத்தை உறுதிப்படுத்தவும் முடியும்.
லேசர் கண்ணுக்கு தெரியாத வெட்டு
"கண்ணுக்குத் தெரியாத லேசர் வெட்டுதல்" என்று அழைக்கப்படும் வேஃபரின் பிரதான பகுதிக்குள் வெப்பத்தை மாற்ற லேசரை குவிக்கலாம். இந்த முறைக்கு, லேசரிலிருந்து வரும் வெப்பம் ஸ்க்ரைப் பாதைகளில் இடைவெளிகளை உருவாக்குகிறது. இந்த பலவீனமான பகுதிகள் வேஃபர் நீட்டப்படும்போது உடைவதன் மூலம் இதேபோன்ற ஊடுருவல் விளைவை அடைகின்றன.
▲லேசர் கண்ணுக்கு தெரியாத வெட்டுதலின் முக்கிய செயல்முறை
கண்ணுக்குத் தெரியாத வெட்டும் செயல்முறை என்பது லேசர் மேற்பரப்பில் உறிஞ்சப்படும் லேசர் நீக்கத்திற்குப் பதிலாக, உள் உறிஞ்சுதல் லேசர் செயல்முறையாகும். கண்ணுக்குத் தெரியாத வெட்டுதலுடன், வேஃபர் அடி மூலக்கூறு பொருளுக்கு அரை-வெளிப்படையான அலைநீளம் கொண்ட லேசர் கற்றை ஆற்றல் பயன்படுத்தப்படுகிறது. இந்த செயல்முறை இரண்டு முக்கிய படிகளாகப் பிரிக்கப்பட்டுள்ளது, ஒன்று லேசர் அடிப்படையிலான செயல்முறை, மற்றொன்று இயந்திர பிரிப்பு செயல்முறை.
▲லேசர் கற்றை வேஃபர் மேற்பரப்பிற்கு கீழே ஒரு துளையை உருவாக்குகிறது, மேலும் முன் மற்றும் பின் பக்கங்கள் பாதிக்கப்படாது | பட மூல நெட்வொர்க்
முதல் கட்டத்தில், லேசர் கற்றை வேஃபரை ஸ்கேன் செய்யும்போது, லேசர் கற்றை வேஃபரின் உள்ளே ஒரு குறிப்பிட்ட புள்ளியில் கவனம் செலுத்துகிறது, உள்ளே ஒரு விரிசல் புள்ளியை உருவாக்குகிறது. பீம் ஆற்றல் உள்ளே தொடர்ச்சியான விரிசல்களை உருவாக்குகிறது, அவை இன்னும் வேஃபரின் முழு தடிமன் வழியாக மேல் மற்றும் கீழ் மேற்பரப்புகளுக்கு நீட்டிக்கப்படவில்லை.
▲ பிளேடு முறை மற்றும் லேசர் கண்ணுக்குத் தெரியாத வெட்டு முறை மூலம் வெட்டப்பட்ட 100μm தடிமன் கொண்ட சிலிக்கான் செதில்களின் ஒப்பீடு | பட மூல நெட்வொர்க்
இரண்டாவது படியில், வேஃபரின் அடிப்பகுதியில் உள்ள சிப் டேப் உடல் ரீதியாக விரிவடைகிறது, இது வேஃபருக்குள் உள்ள விரிசல்களில் இழுவிசை அழுத்தத்தை ஏற்படுத்துகிறது, இது முதல் படியில் லேசர் செயல்பாட்டில் தூண்டப்படுகிறது. இந்த அழுத்தத்தால் விரிசல்கள் வேஃபரின் மேல் மற்றும் கீழ் மேற்பரப்புகளுக்கு செங்குத்தாக நீட்டிக்கப்படுகின்றன, பின்னர் இந்த வெட்டுப் புள்ளிகளுடன் வேஃபரை சில்லுகளாகப் பிரிக்கின்றன. கண்ணுக்குத் தெரியாத வெட்டில், அரை-வெட்டு அல்லது கீழ்-பக்க அரை-வெட்டு பொதுவாக வேஃபர்களை சில்லுகள் அல்லது சில்லுகளாகப் பிரிக்க உதவுகிறது.
லேசர் நீக்கத்தை விட கண்ணுக்கு தெரியாத லேசர் வெட்டுதலின் முக்கிய நன்மைகள்:
• கூலன்ட் தேவையில்லை.
• எந்த குப்பைகளும் உருவாகவில்லை.
• உணர்திறன் சுற்றுகளை சேதப்படுத்தக்கூடிய வெப்பத்தால் பாதிக்கப்பட்ட மண்டலங்கள் இல்லை.
பிளாஸ்மா வெட்டுதல்
பிளாஸ்மா வெட்டுதல் (பிளாஸ்மா எட்சிங் அல்லது உலர் எட்சிங் என்றும் அழைக்கப்படுகிறது) என்பது ஒரு மேம்பட்ட வேஃபர் வெட்டும் தொழில்நுட்பமாகும், இது குறைக்கடத்தி செதில்களிலிருந்து தனிப்பட்ட சில்லுகளைப் பிரிக்க ரியாக்டிவ் அயன் எட்சிங் (RIE) அல்லது டீப் ரியாக்டிவ் அயன் எட்சிங் (DRIE) ஐப் பயன்படுத்துகிறது. பிளாஸ்மாவைப் பயன்படுத்தி முன்னரே தீர்மானிக்கப்பட்ட வெட்டுக் கோடுகளில் பொருளை வேதியியல் ரீதியாக அகற்றுவதன் மூலம் இந்த தொழில்நுட்பம் வெட்டுதலை அடைகிறது.
பிளாஸ்மா வெட்டும் செயல்பாட்டின் போது, குறைக்கடத்தி வேஃபர் ஒரு வெற்றிட அறையில் வைக்கப்படுகிறது, கட்டுப்படுத்தப்பட்ட வினைத்திறன் வாயு கலவை அறைக்குள் அறிமுகப்படுத்தப்படுகிறது, மேலும் அதிக செறிவுள்ள வினைத்திறன் அயனிகள் மற்றும் தீவிரவாதிகள் கொண்ட பிளாஸ்மாவை உருவாக்க ஒரு மின்சார புலம் பயன்படுத்தப்படுகிறது. இந்த வினைத்திறன் இனங்கள் வேஃபர் பொருளுடன் தொடர்பு கொள்கின்றன மற்றும் வேதியியல் எதிர்வினை மற்றும் இயற்பியல் தெளிப்பு ஆகியவற்றின் கலவையின் மூலம் ஸ்க்ரைப் கோட்டுடன் வேஃபர் பொருளைத் தேர்ந்தெடுத்து நீக்குகின்றன.
பிளாஸ்மா வெட்டுதலின் முக்கிய நன்மை என்னவென்றால், இது வேஃபர் மற்றும் சிப்பில் இயந்திர அழுத்தத்தைக் குறைக்கிறது மற்றும் உடல் ரீதியான தொடர்பால் ஏற்படும் சாத்தியமான சேதத்தைக் குறைக்கிறது. இருப்பினும், இந்த செயல்முறை மற்ற முறைகளை விட மிகவும் சிக்கலானது மற்றும் நேரத்தை எடுத்துக்கொள்ளும், குறிப்பாக தடிமனான செதில்கள் அல்லது அதிக செதுக்கல் எதிர்ப்பைக் கொண்ட பொருட்களைக் கையாளும் போது, எனவே வெகுஜன உற்பத்தியில் அதன் பயன்பாடு குறைவாகவே உள்ளது.
▲பட மூல நெட்வொர்க்
குறைக்கடத்தி உற்பத்தியில், வேஃபர் வெட்டும் முறை பல காரணிகளின் அடிப்படையில் தேர்ந்தெடுக்கப்பட வேண்டும், இதில் வேஃபர் பொருள் பண்புகள், சிப் அளவு மற்றும் வடிவியல், தேவையான துல்லியம் மற்றும் துல்லியம் மற்றும் ஒட்டுமொத்த உற்பத்தி செலவு மற்றும் செயல்திறன் ஆகியவை அடங்கும்.
இடுகை நேரம்: செப்-20-2024