SiC பூச்சு இரசாயன நீராவி படிவு (CVD), முன்னோடி உருமாற்றம், பிளாஸ்மா தெளித்தல் போன்றவற்றின் மூலம் தயாரிக்கப்படலாம். இரசாயன நீராவி படிவு மூலம் தயாரிக்கப்படும் பூச்சு சீரானது மற்றும் கச்சிதமானது மற்றும் நல்ல வடிவமைப்பைக் கொண்டுள்ளது. மெத்தில் ட்ரைக்ளோசிலேன் பயன்படுத்தி. (CHzSiCl3, MTS) சிலிக்கான் மூலமாக, SiC பூச்சு தயார்...
மேலும் படிக்கவும்