இரசாயன நீராவி படிவு(CVD)செமிகண்டக்டர் துறையில் பரவலாகப் பயன்படுத்தப்படும் தொழில்நுட்பம், பலவகையான பொருட்களை வைப்பதற்கு, இதில் பரந்த அளவிலான இன்சுலேடிங் பொருட்கள், பெரும்பாலான உலோகப் பொருட்கள் மற்றும் உலோகக் கலவைப் பொருட்கள் ஆகியவை அடங்கும்.
CVD என்பது ஒரு பாரம்பரிய மெல்லிய பட தயாரிப்பு தொழில்நுட்பமாகும். அணுக்கள் மற்றும் மூலக்கூறுகளுக்கு இடையிலான இரசாயன எதிர்வினைகள் மூலம் முன்னோடியில் உள்ள சில கூறுகளை சிதைக்க வாயு முன்னோடிகளைப் பயன்படுத்துவது அதன் கொள்கையாகும், பின்னர் அடி மூலக்கூறில் ஒரு மெல்லிய படத்தை உருவாக்குகிறது. CVD இன் அடிப்படை பண்புகள்: இரசாயன மாற்றங்கள் (வேதியியல் எதிர்வினைகள் அல்லது வெப்ப சிதைவு); படத்தில் உள்ள அனைத்து பொருட்களும் வெளிப்புற மூலங்களிலிருந்து வந்தவை; எதிர்வினைகள் வாயு கட்டத்தின் வடிவத்தில் எதிர்வினையில் பங்கேற்க வேண்டும்.
குறைந்த அழுத்த இரசாயன நீராவி படிவு (LPCVD), பிளாஸ்மா மேம்படுத்தப்பட்ட இரசாயன நீராவி படிவு (PECVD) மற்றும் உயர் அடர்த்தி பிளாஸ்மா இரசாயன நீராவி படிவு (HDP-CVD) ஆகியவை மூன்று பொதுவான CVD தொழில்நுட்பங்கள் ஆகும், அவை பொருள் படிவு, உபகரணங்கள் தேவைகள், செயல்முறை நிலைமைகள் போன்றவற்றில் குறிப்பிடத்தக்க வேறுபாடுகளைக் கொண்டுள்ளன. இந்த மூன்று தொழில்நுட்பங்களின் எளிய விளக்கம் மற்றும் ஒப்பீடு கீழே உள்ளது.
1. LPCVD (குறைந்த அழுத்த CVD)
கொள்கை: குறைந்த அழுத்த சூழ்நிலையில் ஒரு CVD செயல்முறை. வெற்றிட அல்லது குறைந்த அழுத்த சூழலின் கீழ் எதிர்வினை அறைக்குள் எதிர்வினை வாயுவை செலுத்துவது, அதிக வெப்பநிலையால் வாயுவை சிதைப்பது அல்லது வினைபுரிவது மற்றும் அடி மூலக்கூறு மேற்பரப்பில் ஒரு திடப் படலை உருவாக்குவது இதன் கொள்கையாகும். குறைந்த அழுத்தம் வாயு மோதல் மற்றும் கொந்தளிப்பைக் குறைப்பதால், படத்தின் சீரான தன்மை மற்றும் தரம் மேம்படுத்தப்படுகிறது. சிலிக்கான் டை ஆக்சைடு (LTO TEOS), சிலிக்கான் நைட்ரைடு (Si3N4), பாலிசிலிகான் (POLY), பாஸ்போசிலிகேட் கண்ணாடி (BSG), போரோபாஸ்போசிலிகேட் கண்ணாடி (BPSG), டோப் செய்யப்பட்ட பாலிசிலிகான், கிராபெனின், கார்பன் நானோகுழாய்கள் மற்றும் பிற படங்களில் LPCVD பரவலாகப் பயன்படுத்தப்படுகிறது.
அம்சங்கள்:
▪ செயல்முறை வெப்பநிலை: பொதுவாக 500~900°C இடையே, செயல்முறை வெப்பநிலை ஒப்பீட்டளவில் அதிகமாக இருக்கும்;
▪ வாயு அழுத்த வரம்பு: குறைந்த அழுத்த சூழல் 0.1~10 Torr;
▪ திரைப்படத் தரம்: உயர் தரம், நல்ல சீரான தன்மை, நல்ல அடர்த்தி மற்றும் சில குறைபாடுகள்;
▪ வைப்பு விகிதம்: மெதுவான படிவு விகிதம்;
▪ சீரான தன்மை: பெரிய அளவிலான அடி மூலக்கூறுகளுக்கு ஏற்றது, சீரான படிவு;
நன்மைகள் மற்றும் தீமைகள்:
▪ மிகவும் சீரான மற்றும் அடர்த்தியான படங்களை டெபாசிட் செய்யலாம்;
▪ வெகுஜன உற்பத்திக்கு ஏற்ற பெரிய அளவிலான அடி மூலக்கூறுகளில் நன்றாகச் செயல்படுகிறது;
▪ குறைந்த விலை;
▪ அதிக வெப்பநிலை, வெப்ப உணர்திறன் பொருட்களுக்கு ஏற்றது அல்ல;
▪ வைப்பு விகிதம் மெதுவாக உள்ளது மற்றும் வெளியீடு ஒப்பீட்டளவில் குறைவாக உள்ளது.
2. PECVD (பிளாஸ்மா மேம்படுத்தப்பட்ட CVD)
கொள்கை: குறைந்த வெப்பநிலையில் வாயு கட்ட எதிர்வினைகளை செயல்படுத்த பிளாஸ்மாவைப் பயன்படுத்தவும், எதிர்வினை வாயுவில் உள்ள மூலக்கூறுகளை அயனியாக்கம் செய்து சிதைக்கவும், பின்னர் அடி மூலக்கூறு மேற்பரப்பில் மெல்லிய படலங்களை டெபாசிட் செய்யவும். பிளாஸ்மாவின் ஆற்றல் எதிர்வினைக்குத் தேவையான வெப்பநிலையை வெகுவாகக் குறைக்கும், மேலும் பரவலான பயன்பாடுகளைக் கொண்டுள்ளது. பல்வேறு உலோகப் படங்கள், கனிமப் படங்கள் மற்றும் ஆர்கானிக் படங்கள் தயாரிக்கலாம்.
அம்சங்கள்:
▪ செயல்முறை வெப்பநிலை: பொதுவாக 200~400°C இடையே, வெப்பநிலை ஒப்பீட்டளவில் குறைவாக இருக்கும்;
▪ வாயு அழுத்த வரம்பு: பொதுவாக நூற்றுக்கணக்கான mTorr முதல் பல Torr வரை;
▪ திரைப்படத் தரம்: திரைப்படத்தின் சீரான தன்மை நன்றாக இருந்தாலும், பிளாஸ்மாவால் அறிமுகப்படுத்தப்படும் குறைபாடுகள் காரணமாக படத்தின் அடர்த்தி மற்றும் தரம் LPCVD அளவுக்கு சிறப்பாக இல்லை;
▪ வைப்பு விகிதம்: அதிக விகிதம், அதிக உற்பத்தி திறன்;
▪ சீரான தன்மை: பெரிய அளவிலான அடி மூலக்கூறுகளில் LPCVD ஐ விட சற்று தாழ்வானது;
நன்மைகள் மற்றும் தீமைகள்:
▪ மெல்லிய படலங்களை குறைந்த வெப்பநிலையில் வைக்கலாம், வெப்ப உணர்திறன் பொருட்களுக்கு ஏற்றது;
▪ வேகமான படிவு வேகம், திறமையான உற்பத்திக்கு ஏற்றது;
▪ நெகிழ்வான செயல்முறை, பிளாஸ்மா அளவுருக்களை சரிசெய்வதன் மூலம் திரைப்பட பண்புகளை கட்டுப்படுத்தலாம்;
▪ பிளாஸ்மா, பின்ஹோல்கள் அல்லது சீரற்ற தன்மை போன்ற படக் குறைபாடுகளை அறிமுகப்படுத்தலாம்;
▪ LPCVD உடன் ஒப்பிடும்போது, படத்தின் அடர்த்தி மற்றும் தரம் சற்று மோசமாக உள்ளது.
3. HDP-CVD (அதிக அடர்த்தி பிளாஸ்மா CVD)
கொள்கை: ஒரு சிறப்பு PECVD தொழில்நுட்பம். HDP-CVD (ICP-CVD என்றும் அழைக்கப்படுகிறது) குறைந்த படிவு வெப்பநிலையில் பாரம்பரிய PECVD உபகரணங்களை விட அதிக பிளாஸ்மா அடர்த்தி மற்றும் தரத்தை உருவாக்க முடியும். கூடுதலாக, HDP-CVD ஆனது ஏறக்குறைய சுதந்திரமான அயனிப் பாய்ச்சல் மற்றும் ஆற்றல் கட்டுப்பாட்டை வழங்குகிறது, ஃபிலிம் படிவுகளை கோருவதற்கான அகழி அல்லது துளை நிரப்பும் திறன்களை மேம்படுத்துகிறது, அதாவது எதிர்-பிரதிபலிப்பு பூச்சுகள், குறைந்த மின்கடத்தா நிலையான பொருள் படிவு போன்றவை.
அம்சங்கள்:
▪ செயல்முறை வெப்பநிலை: அறை வெப்பநிலை 300℃, செயல்முறை வெப்பநிலை மிகவும் குறைவாக உள்ளது;
▪ வாயு அழுத்த வரம்பு: 1 முதல் 100 mTorr வரை, PECVDயை விடக் குறைவானது;
▪ திரைப்படத் தரம்: அதிக பிளாஸ்மா அடர்த்தி, உயர் படத் தரம், நல்ல சீரான தன்மை;
▪ வைப்பு விகிதம்: LPCVD மற்றும் PECVD இடையே படிவு விகிதம், LPCVD ஐ விட சற்று அதிகமாக உள்ளது;
▪ சீரான தன்மை: அதிக அடர்த்தி கொண்ட பிளாஸ்மாவின் காரணமாக, பட சீரான தன்மை சிறந்தது, சிக்கலான வடிவ அடி மூலக்கூறு மேற்பரப்புகளுக்கு ஏற்றது;
நன்மைகள் மற்றும் தீமைகள்:
▪ குறைந்த வெப்பநிலையில் உயர்தர படங்களை டெபாசிட் செய்யும் திறன் கொண்டது, வெப்ப உணர்திறன் பொருட்களுக்கு மிகவும் பொருத்தமானது;
▪ சிறந்த படம் சீரான தன்மை, அடர்த்தி மற்றும் மேற்பரப்பு மென்மை;
▪ அதிக பிளாஸ்மா அடர்த்தி படிவு சீரான தன்மை மற்றும் பட பண்புகளை மேம்படுத்துகிறது;
▪ சிக்கலான உபகரணங்கள் மற்றும் அதிக விலை;
▪ படிவு வேகம் மெதுவாக உள்ளது, மேலும் அதிக பிளாஸ்மா ஆற்றல் சிறிய அளவிலான சேதத்தை அறிமுகப்படுத்தலாம்.
மேலும் கலந்துரையாடலுக்கு எங்களைப் பார்வையிட உலகம் முழுவதிலுமிருந்து எந்த வாடிக்கையாளர்களையும் வரவேற்கிறோம்!
https://www.vet-china.com/
https://www.facebook.com/people/Ningbo-Miami-Advanced-Material-Technology-Co-Ltd/100085673110923/
https://www.linkedin.com/company/100890232/admin/page-posts/published/
https://www.youtube.com/@user-oo9nl2qp6j
இடுகை நேரம்: டிசம்பர்-03-2024