சிலிக்கான் கார்பைடு படிக வளர்ச்சியின் போது, படிகத்தின் அச்சு மையத்திற்கும் விளிம்பிற்கும் இடையிலான வளர்ச்சி இடைமுகத்தின் "சுற்றுச்சூழல்" வேறுபட்டது, இதனால் விளிம்பில் படிக அழுத்தம் அதிகரிக்கிறது, மேலும் படிக விளிம்பு "விரிவான குறைபாடுகளை" உருவாக்குவது எளிது. கிராஃபைட் ஸ்டாப் ரிங் "கார்பன்" இன் செல்வாக்கிற்கு, விளிம்பில் சிக்கலை எவ்வாறு தீர்ப்பது அல்லது மையத்தின் பயனுள்ள பகுதியை அதிகரிப்பது (95% க்கும் அதிகமாக) ஒரு முக்கியமான தொழில்நுட்ப தலைப்பு.
"மைக்ரோடூபுல்ஸ்" மற்றும் "சேர்ப்புகள்" போன்ற மேக்ரோ குறைபாடுகள் படிப்படியாக தொழில்துறையால் கட்டுப்படுத்தப்படுகின்றன, சிலிக்கான் கார்பைடு படிகங்கள் "வேகமாக, நீளமாகவும், அடர்த்தியாகவும் வளரவும்" சவால் விடுகின்றன, விளிம்பில் "விரிவான குறைபாடுகள்" அசாதாரணமாக முக்கியத்துவம் வாய்ந்தவை, மேலும் சிலிக்கான் கார்பைடு படிகங்களின் விட்டம் மற்றும் தடிமன் அதிகரிக்கும், விளிம்பு "விரிவான குறைபாடுகள்" இருக்கும் விட்டம் சதுரம் மற்றும் தடிமன் மூலம் பெருக்கப்படுகிறது.
டான்டலம் கார்பைடு TaC பூச்சு பயன்படுத்துவது விளிம்பில் உள்ள சிக்கலைத் தீர்ப்பதற்கும், படிக வளர்ச்சியின் தரத்தை மேம்படுத்துவதற்கும் ஆகும், இது "வேகமாக வளரும், தடிமனான மற்றும் வளரும்" முக்கிய தொழில்நுட்ப திசைகளில் ஒன்றாகும். தொழில் தொழில்நுட்பத்தின் வளர்ச்சியை மேம்படுத்துவதற்கும், முக்கிய பொருட்களின் "இறக்குமதி" சார்ந்திருப்பதைத் தீர்ப்பதற்கும், ஹெங்பு டான்டலம் கார்பைடு பூச்சு தொழில்நுட்பத்தை (CVD) தீர்த்து சர்வதேச மேம்பட்ட நிலையை எட்டியுள்ளது.
டான்டலம் கார்பைடு TaC பூச்சு, உணர்தல் கண்ணோட்டத்தில் கடினமாக இல்லை, சின்டரிங், CVD மற்றும் பிற முறைகள் அடைய எளிதானது. சின்டரிங் முறை, டான்டலம் கார்பைடு தூள் அல்லது முன்னோடியின் பயன்பாடு, செயலில் உள்ள பொருட்கள் (பொதுவாக உலோகம்) மற்றும் பிணைப்பு முகவர் (பொதுவாக நீண்ட சங்கிலி பாலிமர்), அதிக வெப்பநிலையில் சின்டர் செய்யப்பட்ட கிராஃபைட் அடி மூலக்கூறின் மேற்பரப்பில் பூசப்பட்டது. CVD முறையில், TaCl5+H2+CH4 ஆனது கிராஃபைட் மேட்ரிக்ஸின் மேற்பரப்பில் 900-1500℃ இல் டெபாசிட் செய்யப்பட்டது.
இருப்பினும், டான்டலம் கார்பைடு படிவத்தின் படிக நோக்குநிலை, சீரான பட தடிமன், பூச்சு மற்றும் கிராஃபைட் மேட்ரிக்ஸுக்கு இடையே உள்ள அழுத்த வெளியீடு, மேற்பரப்பு விரிசல்கள் போன்ற அடிப்படை அளவுருக்கள் மிகவும் சவாலானவை. குறிப்பாக sic படிக வளர்ச்சி சூழலில், ஒரு நிலையான சேவை வாழ்க்கை முக்கிய அளவுரு, மிகவும் கடினமானது.
இடுகை நேரம்: ஜூலை-21-2023