குறைக்கடத்தி துறையில் சிலிக்கான் கார்பைடு மட்பாண்டங்களின் பயன்பாடு

ஃபோட்டோலித்தோகிராஃபி இயந்திரங்களின் துல்லியமான பகுதிகளுக்கு விருப்பமான பொருள்

குறைக்கடத்தி துறையில்,சிலிக்கான் கார்பைடு பீங்கான்சிலிக்கான் கார்பைடு வேலை அட்டவணை, வழிகாட்டி தண்டவாளங்கள் போன்ற ஒருங்கிணைந்த மின்சுற்று உற்பத்திக்கான முக்கிய உபகரணங்களில் பொருட்கள் முக்கியமாகப் பயன்படுத்தப்படுகின்றன.பிரதிபலிப்பாளர்கள், பீங்கான் உறிஞ்சும் சக், கைகள், அரைக்கும் டிஸ்க்குகள், சாதனங்கள், முதலியன லித்தோகிராஃபி இயந்திரங்களுக்கு.

சிலிக்கான் கார்பைடு செராமிக் பாகங்கள்குறைக்கடத்தி மற்றும் ஆப்டிகல் உபகரணங்களுக்கு

● சிலிக்கான் கார்பைடு செராமிக் அரைக்கும் வட்டு. அரைக்கும் வட்டு வார்ப்பிரும்பு அல்லது கார்பன் எஃகு மூலம் செய்யப்பட்டால், அதன் சேவை வாழ்க்கை குறுகியது மற்றும் அதன் வெப்ப விரிவாக்க குணகம் பெரியது. சிலிக்கான் செதில்களின் செயலாக்கத்தின் போது, ​​குறிப்பாக அதிவேக அரைக்கும் அல்லது மெருகூட்டலின் போது, ​​அரைக்கும் வட்டு தேய்மானம் மற்றும் வெப்ப உருமாற்றம் சிலிக்கான் செதில்களின் தட்டையான தன்மை மற்றும் இணையான தன்மையை உறுதி செய்வதை கடினமாக்குகிறது. சிலிக்கான் கார்பைடு மட்பாண்டங்களால் செய்யப்பட்ட அரைக்கும் வட்டு அதிக கடினத்தன்மை மற்றும் குறைந்த தேய்மானம் கொண்டது, மேலும் வெப்ப விரிவாக்கக் குணகம் அடிப்படையில் சிலிக்கான் செதில்களைப் போலவே இருக்கும், எனவே அதை அதிக வேகத்தில் அரைத்து மெருகூட்டலாம்.
● சிலிக்கான் கார்பைடு செராமிக் பொருத்துதல். கூடுதலாக, சிலிக்கான் செதில்கள் தயாரிக்கப்படும் போது, ​​அவை அதிக வெப்பநிலை வெப்ப சிகிச்சைக்கு உட்படுத்தப்பட வேண்டும் மற்றும் பெரும்பாலும் சிலிக்கான் கார்பைடு பொருத்துதல்களைப் பயன்படுத்தி கொண்டு செல்லப்படுகின்றன. அவை வெப்பத்தை எதிர்க்கும் மற்றும் அழிவில்லாதவை. வைரம் போன்ற கார்பன் (DLC) மற்றும் பிற பூச்சுகள் செயல்திறனை மேம்படுத்தவும், செதில் சேதத்தை குறைக்கவும் மற்றும் மாசு பரவுவதை தடுக்கவும் மேற்பரப்பில் பயன்படுத்தப்படலாம்.
● சிலிக்கான் கார்பைடு வேலை அட்டவணை. லித்தோகிராஃபி இயந்திரத்தில் உள்ள பணி அட்டவணையை உதாரணமாக எடுத்துக் கொண்டால், எக்ஸ்போஷர் இயக்கத்தை முடிப்பதற்கு, அதிவேக, பெரிய-ஸ்ட்ரோக், ஆறு டிகிரி-ஆஃப்-ஃப்ரீடம் நானோ-லெவல் அல்ட்ரா-பிரிசிஷன் இயக்கம் தேவைப்படுகிறது. எடுத்துக்காட்டாக, 100nm தெளிவுத்திறன், 33nm மேலடுக்கு துல்லியம் மற்றும் 10nm கோடு அகலம் கொண்ட ஒரு லித்தோகிராஃபி இயந்திரத்திற்கு, 10nm ஐ அடைய பணி அட்டவணை பொருத்துதல் துல்லியம் தேவைப்படுகிறது, மாஸ்க்-சிலிக்கான் வேஃபர் ஒரே நேரத்தில் ஸ்டெப்பிங் மற்றும் ஸ்கேனிங் வேகம் 150nm/s ஆகும். மற்றும் 120nm/s முறையே, மற்றும் முகமூடி ஸ்கேனிங் வேகம் அருகில் உள்ளது 500nm/s, மற்றும் பணி அட்டவணையில் மிக அதிக இயக்க துல்லியம் மற்றும் நிலைத்தன்மை இருக்க வேண்டும்.

வேலை அட்டவணை மற்றும் மைக்ரோ-மோஷன் அட்டவணையின் திட்ட வரைபடம் (பகுதி பிரிவு)

● சிலிக்கான் கார்பைடு செராமிக் சதுர கண்ணாடி. லித்தோகிராஃபி இயந்திரங்கள் போன்ற முக்கிய ஒருங்கிணைந்த சுற்று உபகரணங்களில் உள்ள முக்கிய கூறுகள் சிக்கலான வடிவங்கள், சிக்கலான பரிமாணங்கள் மற்றும் வெற்று இலகுரக அமைப்புகளைக் கொண்டுள்ளன, இது சிலிக்கான் கார்பைடு பீங்கான் கூறுகளைத் தயாரிப்பதை கடினமாக்குகிறது. தற்போது, ​​நெதர்லாந்தில் உள்ள ASML, ஜப்பானில் உள்ள NIKON மற்றும் CANON போன்ற முக்கிய சர்வதேச ஒருங்கிணைந்த சுற்று உபகரண உற்பத்தியாளர்கள், சதுர கண்ணாடிகள், லித்தோகிராஃபி இயந்திரங்களின் முக்கிய கூறுகள் மற்றும் சிலிக்கான் கார்பைடைப் பயன்படுத்துவதற்கு மைக்ரோ கிரிஸ்டலின் கண்ணாடி மற்றும் கார்டிரைட் போன்ற பெரிய அளவிலான பொருட்களைப் பயன்படுத்துகின்றனர். எளிய வடிவங்கள் கொண்ட மற்ற உயர் செயல்திறன் கட்டமைப்பு கூறுகளை தயார் செய்ய மட்பாண்டங்கள். இருப்பினும், சீனா கட்டிடப் பொருட்கள் ஆராய்ச்சி நிறுவனத்தைச் சேர்ந்த வல்லுநர்கள் தனியுரிம தயாரிப்பு தொழில்நுட்பத்தைப் பயன்படுத்தி, பெரிய அளவிலான, சிக்கலான வடிவிலான, அதிக இலகுரக, முழுவதுமாக மூடப்பட்ட சிலிக்கான் கார்பைடு பீங்கான் சதுர கண்ணாடிகள் மற்றும் பிற கட்டமைப்பு மற்றும் செயல்பாட்டு ஒளியியல் கூறுகளை லித்தோகிராஃபி இயந்திரங்களுக்குத் தயாரித்துள்ளனர்.