சூரிய ஒளி மின்னழுத்த மின் உற்பத்தி உலகின் மிகவும் நம்பிக்கைக்குரிய புதிய ஆற்றல் துறையாக மாறியுள்ளது. பாலிசிலிகான் மற்றும் உருவமற்ற சிலிக்கான் சூரிய மின்கலங்களுடன் ஒப்பிடும்போது, ஒரு ஒளிமின்னழுத்த மின் உற்பத்திப் பொருளாக மோனோகிரிஸ்டலின் சிலிக்கான், அதிக ஒளிமின்னழுத்த மாற்றத் திறன் மற்றும் சிறந்த வணிக நன்மைகளைக் கொண்டுள்ளது, மேலும் இது சூரிய ஒளிமின்னழுத்த மின் உற்பத்தியின் முக்கிய நீரோட்டமாக மாறியுள்ளது. சோக்ரால்ஸ்கி (CZ) என்பது மோனோகிரிஸ்டலின் சிலிக்கான் தயாரிப்பதற்கான முக்கிய முறைகளில் ஒன்றாகும். சோக்ரால்ஸ்கி மோனோகிரிஸ்டலின் உலை கலவையில் உலை அமைப்பு, வெற்றிட அமைப்பு, எரிவாயு அமைப்பு, வெப்ப புல அமைப்பு மற்றும் மின் கட்டுப்பாட்டு அமைப்பு ஆகியவை அடங்கும். மோனோகிரிஸ்டலின் சிலிக்கானின் வளர்ச்சிக்கான மிக முக்கியமான நிபந்தனைகளில் வெப்ப புல அமைப்பு ஒன்றாகும், மேலும் மோனோகிரிஸ்டலின் சிலிக்கானின் தரம் வெப்ப புலத்தின் வெப்பநிலை சாய்வு விநியோகத்தால் நேரடியாக பாதிக்கப்படுகிறது.
வெப்ப புலக் கூறுகள் முக்கியமாக கார்பன் பொருட்களால் (கிராஃபைட் பொருட்கள் மற்றும் கார்பன்/கார்பன் கலவை பொருட்கள்) உருவாக்கப்படுகின்றன, அவை அவற்றின் செயல்பாடுகளுக்கு ஏற்ப ஆதரவு பாகங்கள், செயல்பாட்டு பாகங்கள், வெப்பமூட்டும் கூறுகள், பாதுகாப்பு பாகங்கள், வெப்ப காப்பு பொருட்கள் போன்றவையாக பிரிக்கப்படுகின்றன. படம் 1 இல் காட்டப்பட்டுள்ளது. மோனோகிரிஸ்டலின் சிலிக்கானின் அளவு தொடர்ந்து அதிகரித்து வருவதால், வெப்பப் புலக் கூறுகளுக்கான அளவுத் தேவைகளும் அதிகரித்து வருகின்றன. கார்பன்/கார்பன் கலவை பொருட்கள் அதன் பரிமாண நிலைப்புத்தன்மை மற்றும் சிறந்த இயந்திர பண்புகள் காரணமாக மோனோகிரிஸ்டலின் சிலிக்கானுக்கான வெப்ப புலப் பொருட்களுக்கான முதல் தேர்வாகிறது.
சோக்ரால்சியன் மோனோகிரிஸ்டலின் சிலிக்கானின் செயல்பாட்டில், சிலிக்கான் பொருள் உருகுவது சிலிக்கான் நீராவி மற்றும் உருகிய சிலிக்கான் தெறிப்பை உருவாக்குகிறது, இதன் விளைவாக கார்பன்/கார்பன் வெப்ப புலப் பொருட்களின் சிலிசிஃபிகேஷன் அரிப்பு மற்றும் கார்பன்/கார்பன் வெப்ப புலப் பொருட்களின் இயந்திர பண்புகள் மற்றும் சேவை வாழ்க்கை கடுமையாக பாதிக்கப்பட்டுள்ளது. எனவே, கார்பன்/கார்பன் வெப்ப புலப் பொருட்களின் சிலிசிஃபிகேஷன் அரிப்பை எவ்வாறு குறைப்பது மற்றும் அவற்றின் சேவை வாழ்க்கையை மேம்படுத்துவது என்பது மோனோகிரிஸ்டலின் சிலிக்கான் உற்பத்தியாளர்கள் மற்றும் கார்பன்/கார்பன் வெப்ப புலப் பொருள் உற்பத்தியாளர்களின் பொதுவான கவலைகளில் ஒன்றாக மாறியுள்ளது.சிலிக்கான் கார்பைடு பூச்சுஅதன் சிறந்த வெப்ப அதிர்ச்சி எதிர்ப்பு மற்றும் உடைகள் எதிர்ப்பின் காரணமாக கார்பன்/கார்பன் வெப்ப புலப் பொருட்களின் மேற்பரப்பு பூச்சு பாதுகாப்பிற்கான முதல் தேர்வாக மாறியுள்ளது.
இந்த தாளில், மோனோகிரிஸ்டலின் சிலிக்கான் உற்பத்தியில் பயன்படுத்தப்படும் கார்பன்/கார்பன் வெப்ப புலப் பொருட்களிலிருந்து தொடங்கி, சிலிக்கான் கார்பைடு பூச்சுகளின் முக்கிய தயாரிப்பு முறைகள், நன்மைகள் மற்றும் தீமைகள் ஆகியவை அறிமுகப்படுத்தப்பட்டுள்ளன. இந்த அடிப்படையில், கார்பன்/கார்பன் வெப்ப புலப் பொருட்களில் சிலிக்கான் கார்பைடு பூச்சு பயன்பாடு மற்றும் ஆராய்ச்சி முன்னேற்றம் கார்பன்/கார்பன் வெப்ப புலப் பொருட்களின் பண்புகள் மற்றும் கார்பன்/கார்பன் வெப்ப புலப் பொருட்களின் மேற்பரப்பு பூச்சு பாதுகாப்பிற்கான பரிந்துரைகள் மற்றும் மேம்பாட்டு திசைகளின் படி மதிப்பாய்வு செய்யப்படுகிறது. முன் வைக்கப்படுகின்றன.
1 தயாரிப்பு தொழில்நுட்பம்சிலிக்கான் கார்பைடு பூச்சு
1.1 உட்பொதித்தல் முறை
உட்பொதித்தல் முறையானது C/ C-sic கூட்டுப் பொருள் அமைப்பில் சிலிக்கான் கார்பைட்டின் உள் பூச்சுகளைத் தயாரிக்கப் பயன்படுத்தப்படுகிறது. இந்த முறையானது முதலில் கார்பன்/கார்பன் கலவைப் பொருளை மடிக்க கலப்பு தூளைப் பயன்படுத்துகிறது, பின்னர் ஒரு குறிப்பிட்ட வெப்பநிலையில் வெப்ப சிகிச்சையை மேற்கொள்கிறது. கலவைப் பொடிக்கும் மாதிரியின் மேற்பரப்பிற்கும் இடையே சிக்கலான இயற்பியல்-வேதியியல் எதிர்வினைகள் நிகழ்கின்றன. அதன் நன்மை என்னவென்றால், செயல்முறை எளிதானது, ஒரே ஒரு செயல்முறை மட்டுமே அடர்த்தியான, விரிசல் இல்லாத மேட்ரிக்ஸ் கலவை பொருட்களை தயாரிக்க முடியும்; முன் வடிவத்திலிருந்து இறுதி தயாரிப்பு வரை சிறிய அளவு மாற்றம்; எந்த ஃபைபர் வலுவூட்டப்பட்ட கட்டமைப்பிற்கும் ஏற்றது; பூச்சு மற்றும் அடி மூலக்கூறுக்கு இடையில் ஒரு குறிப்பிட்ட கலவை சாய்வு உருவாக்கப்படலாம், இது அடி மூலக்கூறுடன் நன்கு இணைக்கப்பட்டுள்ளது. இருப்பினும், அதிக வெப்பநிலையில் இரசாயன எதிர்வினை, நார்ச்சத்தை சேதப்படுத்தும் மற்றும் கார்பன்/கார்பன் மேட்ரிக்ஸின் இயந்திர பண்புகள் குறைதல் போன்ற குறைபாடுகளும் உள்ளன. புவியீர்ப்பு போன்ற காரணிகளால் பூச்சுகளின் சீரான தன்மையை கட்டுப்படுத்துவது கடினம், இது பூச்சு சீரற்றதாக இருக்கும்.
1.2 ஸ்லரி பூச்சு முறை
ஸ்லரி கோட்டிங் முறை என்பது பூச்சுப் பொருள் மற்றும் பைண்டரை ஒரு கலவையாகக் கலந்து, மேட்ரிக்ஸின் மேற்பரப்பில் சமமாகத் துலக்கி, ஒரு மந்தமான வளிமண்டலத்தில் உலர்த்திய பிறகு, பூசப்பட்ட மாதிரியை அதிக வெப்பநிலையில் சின்டர் செய்து, தேவையான பூச்சுகளைப் பெறலாம். நன்மைகள் செயல்முறை எளிமையானது மற்றும் செயல்பட எளிதானது, மேலும் பூச்சு தடிமன் கட்டுப்படுத்த எளிதானது; குறைபாடு என்னவென்றால், பூச்சு மற்றும் அடி மூலக்கூறுக்கு இடையில் மோசமான பிணைப்பு வலிமை உள்ளது, மேலும் பூச்சுகளின் வெப்ப அதிர்ச்சி எதிர்ப்பு மோசமாக உள்ளது, மேலும் பூச்சுகளின் சீரான தன்மை குறைவாக உள்ளது.
1.3 இரசாயன நீராவி எதிர்வினை முறை
இரசாயன நீராவி எதிர்வினை (CVR) முறையானது ஒரு குறிப்பிட்ட வெப்பநிலையில் திடமான சிலிக்கான் பொருளை சிலிக்கான் நீராவியாக ஆவியாக்கும் ஒரு செயல்முறை முறையாகும், பின்னர் சிலிக்கான் நீராவி மேட்ரிக்ஸின் உள் மற்றும் மேற்பரப்பில் பரவுகிறது மற்றும் மேட்ரிக்ஸில் உள்ள கார்பனுடன் சிட்டுவில் வினைபுரிகிறது. சிலிக்கான் கார்பைடு. அதன் நன்மைகள் உலையில் சீரான வளிமண்டலம், சீரான எதிர்வினை வீதம் மற்றும் எல்லா இடங்களிலும் பூசப்பட்ட பொருட்களின் படிவு தடிமன் ஆகியவை அடங்கும்; செயல்முறை எளிமையானது மற்றும் செயல்பட எளிதானது, மேலும் சிலிக்கான் நீராவி அழுத்தம், படிவு நேரம் மற்றும் பிற அளவுருக்களை மாற்றுவதன் மூலம் பூச்சு தடிமன் கட்டுப்படுத்தப்படலாம். குறைபாடு என்னவென்றால், உலையில் உள்ள நிலையால் மாதிரி பெரிதும் பாதிக்கப்படுகிறது, மேலும் உலையில் உள்ள சிலிக்கான் நீராவி அழுத்தம் கோட்பாட்டு சீரான தன்மையை அடைய முடியாது, இதன் விளைவாக சீரற்ற பூச்சு தடிமன் ஏற்படுகிறது.
1.4 இரசாயன நீராவி படிவு முறை
இரசாயன நீராவி படிவு (CVD) என்பது ஹைட்ரோகார்பன்கள் வாயு மூலமாகவும், உயர் தூய்மை N2/Ar கேரியர் வாயுவாகவும், கலப்பு வாயுக்களை இரசாயன நீராவி அணு உலையில் அறிமுகப்படுத்தப் பயன்படுகிறது, மேலும் ஹைட்ரோகார்பன்கள் சிதைந்து, ஒருங்கிணைக்கப்பட்டு, பரவி, உறிஞ்சப்பட்டு, அதன் கீழ் தீர்க்கப்படுகின்றன. கார்பன்/கார்பன் கலவைப் பொருட்களின் மேற்பரப்பில் திடப் படலங்களை உருவாக்க குறிப்பிட்ட வெப்பநிலை மற்றும் அழுத்தம். அதன் நன்மை என்னவென்றால், பூச்சுகளின் அடர்த்தி மற்றும் தூய்மையை கட்டுப்படுத்த முடியும்; இது மிகவும் சிக்கலான வடிவத்துடன் வேலை செய்யும் பகுதிக்கும் ஏற்றது; படிக அமைப்பு மற்றும் உற்பத்தியின் மேற்பரப்பு உருவ அமைப்பை படிவு அளவுருக்களை சரிசெய்வதன் மூலம் கட்டுப்படுத்தலாம். குறைபாடுகள் என்னவென்றால், படிவு விகிதம் மிகவும் குறைவாக உள்ளது, செயல்முறை சிக்கலானது, உற்பத்தி செலவு அதிகமாக உள்ளது, மேலும் விரிசல், கண்ணி குறைபாடுகள் மற்றும் மேற்பரப்பு குறைபாடுகள் போன்ற பூச்சு குறைபாடுகள் இருக்கலாம்.
சுருக்கமாக, உட்பொதித்தல் முறை அதன் தொழில்நுட்ப பண்புகளுக்கு மட்டுப்படுத்தப்பட்டுள்ளது, இது ஆய்வக மற்றும் சிறிய அளவிலான பொருட்களின் வளர்ச்சி மற்றும் உற்பத்திக்கு ஏற்றது; பூச்சு முறை அதன் மோசமான நிலைத்தன்மையின் காரணமாக வெகுஜன உற்பத்திக்கு ஏற்றது அல்ல. CVR முறை பெரிய அளவிலான தயாரிப்புகளின் வெகுஜன உற்பத்தியை பூர்த்தி செய்ய முடியும், ஆனால் இது உபகரணங்கள் மற்றும் தொழில்நுட்பத்திற்கான அதிக தேவைகளைக் கொண்டுள்ளது. CVD முறை தயாரிப்பதற்கு ஒரு சிறந்த முறையாகும்SIC பூச்சு, ஆனால் அதன் செலவு CVR முறையை விட அதிகமாக உள்ளது, ஏனெனில் செயல்முறை கட்டுப்பாட்டில் உள்ள சிரமம்.
இடுகை நேரம்: பிப்-22-2024