சிலிக்கான் கார்பைடு CVD பூச்சுகளின் பயன்பாடு மற்றும் பண்புகள்

சிலிக்கான் கார்பைடு (SiC)அதன் உயர்ந்த கடினத்தன்மை, அதிக வெப்ப கடத்துத்திறன் மற்றும் இரசாயன அரிப்பை எதிர்ப்பதற்காக அறியப்பட்ட மிகவும் நீடித்த பொருள். SiC ஐ பரப்புகளில் பயன்படுத்துவதற்கான பல்வேறு முறைகளில்,CVD SiC பூச்சு(சிலிக்கான் கார்பைட்டின் இரசாயன நீராவி படிவு) சிறந்த ஒட்டுதலுடன் சீரான, உயர்-தூய்மை பூச்சுகளை உருவாக்கும் திறன் காரணமாக தனித்து நிற்கிறது. இந்த தொழில்நுட்பம் பரந்த அளவிலான தொழில்துறை பயன்பாடுகளுக்கு முக்கியமானது, குறிப்பாக அதிக வெப்பநிலை மற்றும் கடுமையான இரசாயன சூழல்களில்.

CVD SiC பூச்சு பயன்பாடுகள்

திCVD SiC பூச்சுசெயல்முறை அதன் பல்துறை மற்றும் செயல்திறன் நன்மைகள் காரணமாக பல தொழில்களில் பரவலாகப் பயன்படுத்தப்படுகிறது. முதன்மை பயன்பாடுகளில் ஒன்று குறைக்கடத்தி உற்பத்தியில் உள்ளது, அங்கு SiC- பூசப்பட்ட கூறுகள் செதில் செயலாக்கத்தின் போது மென்மையான மேற்பரப்புகளைப் பாதுகாக்க உதவுகின்றன. சஸ்செப்டர்கள், மோதிரங்கள் மற்றும் வேஃபர் கேரியர்கள் போன்ற CVD SiC- பூசப்பட்ட உபகரணங்கள், அதிக வெப்பநிலை நிலைத்தன்மையை உறுதி செய்கிறது மற்றும் முக்கியமான உற்பத்தி நிலைகளில் மாசுபடுவதைத் தடுக்கிறது.

விண்வெளித் துறையில்,CVD SiC பூச்சுதீவிர வெப்பம் மற்றும் இயந்திர அழுத்தத்திற்கு வெளிப்படும் கூறுகளுக்குப் பயன்படுத்தப்படுகிறது. பூச்சு குறிப்பிடத்தக்க வகையில் டர்பைன் கத்திகள் மற்றும் எரிப்பு அறைகளின் ஆயுளை நீட்டிக்கிறது, அவை கடுமையான நிலைமைகளின் கீழ் செயல்படுகின்றன. கூடுதலாக, CVD SiC பொதுவாக அதன் பிரதிபலிப்பு மற்றும் வெப்ப நிலைத்தன்மை பண்புகள் காரணமாக கண்ணாடிகள் மற்றும் ஒளியியல் சாதனங்களின் உற்பத்தியில் பயன்படுத்தப்படுகிறது.

CVD SiC இன் மற்றொரு முக்கிய பயன்பாடு இரசாயனத் துறையில் உள்ளது. இங்கே, SiC பூச்சுகள் வெப்பப் பரிமாற்றிகள், முத்திரைகள் மற்றும் பம்புகள் போன்ற கூறுகளை அரிக்கும் பொருட்களிலிருந்து பாதுகாக்கின்றன. SiC மேற்பரப்பு அமிலங்கள் மற்றும் தளங்களால் பாதிக்கப்படாமல் உள்ளது, இது இரசாயன ஆயுள் அவசியமான சூழல்களுக்கு ஏற்றதாக அமைகிறது.

பீப்பாய் உலையில் CVD எபிடாக்சியல் படிவு

CVD SiC பூச்சுகளின் சிறப்பியல்புகள்

CVD SiC பூச்சுகளின் பண்புகள் இந்த பயன்பாடுகளில் மிகவும் பயனுள்ளதாக இருக்கும். அதன் முக்கிய குணாதிசயங்களில் ஒன்று அதன் கடினத்தன்மை, மோஸ் கடினத்தன்மை அளவில் வைரத்திற்கு அருகில் உள்ளது. இந்த அதீத கடினத்தன்மை CVD SiC பூச்சுகளுக்கு தேய்மானம் மற்றும் சிராய்ப்புக்கு குறிப்பிடத்தக்க எதிர்ப்பை அளிக்கிறது, மேலும் அவை அதிக உராய்வு சூழலுக்கு ஏற்றதாக அமைகிறது.

கூடுதலாக, SiC சிறந்த வெப்ப கடத்துத்திறனைக் கொண்டுள்ளது, இது அதிக வெப்பநிலையில் கூட பூசப்பட்ட கூறுகளை அவற்றின் ஒருமைப்பாட்டை பராமரிக்க அனுமதிக்கிறது. செமிகண்டக்டர் மற்றும் விண்வெளி பயன்பாடுகளில் இது மிகவும் முக்கியமானது, கட்டமைப்பு வலிமையைப் பாதுகாக்கும் போது பொருட்கள் தீவிர வெப்பத்தைத் தாங்க வேண்டும்.

CVD SiC பூச்சுகளின் இரசாயன செயலற்ற தன்மை மற்றொரு குறிப்பிடத்தக்க நன்மையாகும். இது ஆக்சிஜனேற்றம், அரிப்பு மற்றும் வேதியியல் எதிர்வினைகளை ஆக்கிரமிப்பு பொருட்களுடன் எதிர்க்கிறது, இது இரசாயன செயலாக்க உபகரணங்களுக்கு சிறந்த பூச்சு ஆகும். மேலும், அதன் வெப்ப விரிவாக்கத்தின் குறைந்த குணகம், பூசப்பட்ட மேற்பரப்புகள் வெப்ப சைக்கிள் ஓட்டுதல் நிலைமைகளின் கீழ் கூட அவற்றின் வடிவத்தையும் செயல்பாட்டையும் தக்கவைத்துக்கொள்வதை உறுதி செய்கிறது.

முடிவுரை

சுருக்கமாக, CVD SiC பூச்சு தீவிர வெப்பம், இயந்திர அழுத்தம் மற்றும் இரசாயன அரிப்பைத் தாங்கக்கூடிய பொருட்கள் தேவைப்படும் தொழில்களுக்கு நீடித்த, உயர் செயல்திறன் தீர்வை வழங்குகிறது. அதன் பயன்பாடுகள் குறைக்கடத்தி உற்பத்தியில் இருந்து விண்வெளி மற்றும் இரசாயன செயலாக்கம் வரை உள்ளன, அங்கு SiC இன் பண்புகள்-கடினத்தன்மை, வெப்ப நிலைத்தன்மை மற்றும் இரசாயன எதிர்ப்பு போன்றவை-செயல்பாட்டின் வெற்றிக்கு முக்கியமானவை. தொழில்கள் செயல்திறன் மற்றும் நம்பகத்தன்மையின் எல்லைகளைத் தொடர்ந்து தள்ளுவதால், CVD SiC பூச்சுகள் கூறுகளின் ஆயுள் மற்றும் நீண்ட ஆயுளை மேம்படுத்துவதற்கான முக்கிய தொழில்நுட்பமாக இருக்கும்.

வெட்-சீனா போன்ற சிறப்பு உற்பத்தியாளர்களின் நிபுணத்துவத்தை மேம்படுத்துவதன் மூலம், நவீன தொழில்துறை செயல்முறைகளின் கடுமையான கோரிக்கைகளை பூர்த்தி செய்யும் உயர்தர CVD SiC பூச்சுகளை நிறுவனங்கள் பெறலாம்.


இடுகை நேரம்: டிசம்பர்-18-2023
வாட்ஸ்அப் ஆன்லைன் அரட்டை!