இலக்குகளைத் துடைத்தல்ஒருங்கிணைந்த மின்சுற்றுகள், தகவல் சேமிப்பு, திரவ படிக காட்சிகள், லேசர் நினைவுகள், மின்னணு கட்டுப்பாட்டு சாதனங்கள் போன்ற மின்னணுவியல் மற்றும் தகவல் தொழில்களில் முக்கியமாகப் பயன்படுத்தப்படுகின்றன. அவை கண்ணாடி பூச்சுத் துறையிலும், அணிய-எதிர்ப்புத் துறையிலும் பயன்படுத்தப்படலாம். பொருட்கள், உயர் வெப்பநிலை அரிப்பு எதிர்ப்பு, உயர்தர அலங்கார பொருட்கள் மற்றும் பிற தொழில்கள்.
மெல்லிய படலப் பொருட்களைத் தயாரிப்பதற்கான முக்கிய நுட்பங்களில் ஒன்று ஸ்பட்டரிங் ஆகும்.அதிவேக ஆற்றல் அயனி கற்றைகளை உருவாக்குவதற்கும், திடமான மேற்பரப்பில் குண்டுகளை வீசுவதற்கும், அயனிகள் மற்றும் திட மேற்பரப்பு அணுக்களுக்கு இடையே இயக்க ஆற்றலைப் பரிமாறிக்கொள்வதற்கும் வெற்றிடத்தில் முடுக்கி, திரட்டுவதற்கு அயனி மூலங்களால் உருவாக்கப்பட்ட அயனிகளைப் பயன்படுத்துகிறது. திடமான மேற்பரப்பில் உள்ள அணுக்கள் திடப்பொருளை விட்டு வெளியேறி அடி மூலக்கூறின் மேற்பரப்பில் வைக்கப்படுகின்றன. குண்டு வீசப்பட்ட திடப்பொருள் ஸ்பட்டரிங் மூலம் மெல்லிய படலங்களை வைப்பதற்கான மூலப்பொருளாகும், இது ஸ்பட்டரிங் இலக்கு என்று அழைக்கப்படுகிறது. செமிகண்டக்டர் ஒருங்கிணைந்த சுற்றுகள், ரெக்கார்டிங் மீடியா, பிளாட்-பேனல் டிஸ்ப்ளேக்கள் மற்றும் ஒர்க்பீஸ் மேற்பரப்பு பூச்சுகள் ஆகியவற்றில் பல்வேறு வகையான சிதறிய மெல்லிய படப் பொருட்கள் பரவலாகப் பயன்படுத்தப்படுகின்றன.
அனைத்து பயன்பாட்டுத் தொழில்களிலும், செமிகண்டக்டர் தொழிற்துறையானது இலக்கு ஸ்பட்டரிங் படங்களுக்கான மிகக் கடுமையான தரத் தேவைகளைக் கொண்டுள்ளது. உயர்-தூய்மை உலோகத் துடைக்கும் இலக்குகள் முக்கியமாக செதில் உற்பத்தி மற்றும் மேம்பட்ட பேக்கேஜிங் செயல்முறைகளில் பயன்படுத்தப்படுகின்றன. சிப் தயாரிப்பை உதாரணமாக எடுத்துக் கொண்டால், சிலிக்கான் செதில் முதல் சிப் வரை, அது பரவல் (வெப்ப செயல்முறை), புகைப்பட-லித்தோகிராபி (ஃபோட்டோ-லித்தோகிராபி), எட்ச் (எட்ச்) ஆகிய 7 முக்கிய உற்பத்தி செயல்முறைகளை மேற்கொள்ள வேண்டும் என்பதைக் காணலாம். அயன் உள்வைப்பு (அயன் இம்ப்லாண்ட்), மெல்லிய பட வளர்ச்சி (மின்கடத்தா படிவு), இரசாயன இயந்திர பாலிஷிங் (சிஎம்பி), மெட்டலைசேஷன் (மெட்டலைசேஷன்) செயல்முறைகள் ஒவ்வொன்றாக ஒத்துப்போகின்றன. "உலோகமயமாக்கல்" செயல்பாட்டில் sputtering இலக்கு பயன்படுத்தப்படுகிறது. மெல்லிய படலப் படிவுக் கருவிகளால் இலக்கு உயர் ஆற்றல் துகள்களால் தாக்கப்படுகிறது, பின்னர் கடத்தும் அடுக்கு, தடுப்பு அடுக்கு போன்ற குறிப்பிட்ட செயல்பாடுகளைக் கொண்ட உலோக அடுக்கு சிலிக்கான் செதில் உருவாகிறது. காத்திருங்கள்.முழு குறைக்கடத்திகளின் செயல்முறைகளும் மாறுபடுவதால், கணினி சரியாக உள்ளதா என்பதைச் சரிபார்க்க சில சந்தர்ப்ப சூழ்நிலைகள் தேவைப்படுகின்றன, எனவே விளைவுகளை உறுதிப்படுத்த உற்பத்தியின் சில கட்டங்களில் சில வகையான போலி பொருட்களைக் கோருகிறோம்.
இடுகை நேரம்: ஜன-17-2022