கிராஃபைட் பொருள் தேவைகளின் குறைக்கடத்தி தொழில்துறை தேவைகள் குறிப்பாக அதிகமாக உள்ளன, கிராஃபைட்டின் நுண்ணிய துகள் அளவு அதிக துல்லியம், அதிக வெப்பநிலை எதிர்ப்பு, அதிக வலிமை, சிறிய இழப்பு மற்றும் பிற நன்மைகள், அதாவது: சின்டர்டு கிராஃபைட் பொருட்கள் அச்சு.செமிகண்டக்டர் துறையில் பயன்படுத்தப்படும் கிராஃபைட் உபகரணங்கள் (ஹீட்டர்கள் மற்றும் அவற்றின் சின்டர்டு டைஸ்கள் உட்பட) மீண்டும் மீண்டும் வெப்பப்படுத்துதல் மற்றும் குளிரூட்டும் செயல்முறைகளைத் தாங்க வேண்டும் என்பதால், கிராஃபைட் உபகரணங்களின் சேவை ஆயுளை நீட்டிக்க, வழக்கமாக பயன்படுத்தப்படும் கிராஃபைட் பொருட்கள் நிலையான செயல்திறனைக் கொண்டிருக்க வேண்டும். மற்றும் வெப்ப எதிர்ப்பு தாக்க செயல்பாடு.
01 குறைக்கடத்தி படிக வளர்ச்சிக்கான கிராஃபைட் பாகங்கள்
குறைக்கடத்தி படிகங்களை வளர்க்கப் பயன்படுத்தப்படும் அனைத்து செயல்முறைகளும் அதிக வெப்பநிலை மற்றும் அரிக்கும் சூழலில் செயல்படுகின்றன. படிக வளர்ச்சி உலையின் வெப்ப மண்டலம் பொதுவாக வெப்ப-எதிர்ப்பு மற்றும் அரிப்பை-எதிர்ப்பு உயர்-தூய்மை கிராஃபைட் கூறுகளைக் கொண்டுள்ளது, அதாவது ஹீட்டர், க்ரூசிபிள், இன்சுலேஷன் சிலிண்டர், வழிகாட்டி சிலிண்டர், எலக்ட்ரோடு, க்ரூசிபிள் ஹோல்டர், எலக்ட்ரோடு நட்டு போன்றவை.
படிக உற்பத்தி சாதனங்களின் அனைத்து கிராஃபைட் பாகங்களையும் நாங்கள் தயாரிக்கலாம், அவை தனித்தனியாக அல்லது செட்களில் வழங்கப்படலாம் அல்லது வாடிக்கையாளர் தேவைகளுக்கு ஏற்ப பல்வேறு அளவுகளில் தனிப்பயனாக்கப்பட்ட கிராஃபைட் பாகங்கள். தயாரிப்புகளின் அளவை தளத்தில் அளவிட முடியும், மேலும் முடிக்கப்பட்ட பொருட்களின் சாம்பல் உள்ளடக்கம் குறைவாக இருக்கும்5ppm ஐ விட
02 குறைக்கடத்தி எபிடாக்ஸிக்கான கிராஃபைட் பாகங்கள்
எபிடாக்சியல் செயல்முறை என்பது ஒற்றை படிக அடி மூலக்கூறில் உள்ள அடி மூலக்கூறு போன்ற அதே லட்டு ஏற்பாட்டுடன் ஒற்றை படிகப் பொருளின் ஒரு அடுக்கின் வளர்ச்சியைக் குறிக்கிறது. எபிடாக்சியல் செயல்பாட்டில், செதில் கிராஃபைட் வட்டில் ஏற்றப்படுகிறது. கிராஃபைட் வட்டின் செயல்திறன் மற்றும் தரம் செதில்களின் எபிடாக்சியல் அடுக்கின் தரத்தில் முக்கிய பங்கு வகிக்கிறது. எபிடாக்சியல் உற்பத்தித் துறையில், SIC பூச்சுடன் கூடிய அதி-உயர் தூய்மை கிராஃபைட் மற்றும் உயர் தூய்மை கிராஃபைட் தளம் நிறைய தேவைப்படுகிறது.
செமிகண்டக்டர் எபிடாக்ஸிக்கான எங்கள் நிறுவனத்தின் கிராஃபைட் தளமானது பரந்த அளவிலான பயன்பாடுகளைக் கொண்டுள்ளது, தொழில்துறையில் பொதுவாகப் பயன்படுத்தப்படும் பெரும்பாலான உபகரணங்களுடன் பொருந்தக்கூடியது மற்றும் அதிக தூய்மை, சீரான பூச்சு, சிறந்த சேவை வாழ்க்கை மற்றும் அதிக இரசாயன எதிர்ப்பு மற்றும் வெப்ப நிலைத்தன்மை ஆகியவற்றைக் கொண்டுள்ளது.
அயன் பொருத்துதலுக்கான 03 கிராஃபைட் பாகங்கள்
அயனி பொருத்துதல் என்பது போரான், பாஸ்பரஸ் மற்றும் ஆர்சனிக் ஆகியவற்றின் பிளாஸ்மா கற்றையை ஒரு குறிப்பிட்ட ஆற்றலுக்கு முடுக்கி, பின்னர் மேற்பரப்பு அடுக்கின் பொருள் பண்புகளை மாற்ற செதில் பொருளின் மேற்பரப்பு அடுக்கில் செலுத்துவதைக் குறிக்கிறது. அயனி பொருத்துதல் சாதனத்தின் கூறுகள் சிறந்த வெப்ப எதிர்ப்பு, வெப்ப கடத்துத்திறன், அயனி கற்றை மற்றும் குறைந்த தூய்மையற்ற உள்ளடக்கத்தால் ஏற்படும் குறைந்த அரிப்பு ஆகியவற்றைக் கொண்ட உயர்-தூய்மை பொருட்களால் செய்யப்பட வேண்டும். உயர்-தூய்மை கிராஃபைட் பயன்பாட்டுத் தேவைகளைப் பூர்த்தி செய்கிறது, மேலும் விமானக் குழாய், பல்வேறு பிளவுகள், மின்முனைகள், மின்முனை கவர்கள், வழித்தடங்கள், பீம் டெர்மினேட்டர்கள் போன்ற அயன் பொருத்துதல் கருவிகளுக்குப் பயன்படுத்தலாம்.
நாம் பல்வேறு அயன் பொருத்துதல் இயந்திரங்களுக்கு கிராஃபைட் கவச அட்டையை வழங்குவது மட்டுமல்லாமல், பல்வேறு விவரக்குறிப்புகளின் உயர் அரிப்பு எதிர்ப்பைக் கொண்ட உயர் தூய்மையான கிராஃபைட் மின்முனைகள் மற்றும் அயனி மூலங்களையும் வழங்க முடியும். பொருந்தக்கூடிய மாதிரிகள்: ஈடன், அஸ்செலிஸ், குவாட்டம், வேரியன், நிசின், AMAT, LAM மற்றும் பிற உபகரணங்கள். கூடுதலாக, நாங்கள் பொருத்தமான செராமிக், டங்ஸ்டன், மாலிப்டினம், அலுமினிய பொருட்கள் மற்றும் பூசப்பட்ட பாகங்களையும் வழங்க முடியும்.
04 கிராஃபைட் காப்பு பொருட்கள் மற்றும் பிற
குறைக்கடத்தி உற்பத்தி உபகரணங்களில் பயன்படுத்தப்படும் வெப்ப காப்புப் பொருட்களில் கிராஃபைட் ஹார்ட் ஃபீல், சாஃப்ட் ஃபீல், கிராஃபைட் ஃபாயில், கிராஃபைட் பேப்பர் மற்றும் கிராஃபைட் கயிறு ஆகியவை அடங்கும்.
எங்களின் அனைத்து மூலப்பொருட்களும் இறக்குமதி செய்யப்பட்ட கிராஃபைட் ஆகும், அவை வாடிக்கையாளரின் தேவைகளின் குறிப்பிட்ட அளவுக்கேற்ப வெட்டப்படலாம் அல்லது ஒட்டுமொத்தமாக விற்கப்படலாம்.
கார்பன்-கார்பன் தட்டு, சூரிய மோனோகிரிஸ்டலின் சிலிக்கான் மற்றும் பாலிகிரிஸ்டலின் சிலிக்கான் செல்கள் உற்பத்தி செயல்பாட்டில் பட பூச்சுக்கான கேரியராகப் பயன்படுத்தப்படுகிறது. செயல்பாட்டுக் கொள்கை: சிலிக்கான் சிப்பை CFC ட்ரேயில் செருகவும் மற்றும் ஃபிலிம் பூச்சுகளைச் செயலாக்க உலைக் குழாயில் அனுப்பவும்.
