Daktari wa mifugo-ChinaKauri ya Silicon CarbideMipako ni mipako ya kinga ya utendaji wa juu iliyotengenezwa kwa ngumu sana na inayostahimili kuvaasilicon carbudi (SiC)nyenzo, ambayo hutoa upinzani bora wa kutu wa kemikali na utulivu wa joto la juu. Tabia hizi ni muhimu katika uzalishaji wa semiconductor, kwa hivyoMipako ya Kauri ya Silicon Carbidehutumiwa sana katika vipengele muhimu vya vifaa vya utengenezaji wa semiconductor.
Jukumu maalum la Vet-ChinaKauri ya Silicon CarbideMipako katika uzalishaji wa semiconductor ni kama ifuatavyo:
Kuimarisha uimara wa vifaa:Mipako ya Kauri ya Silicon Carbide ya Kauri Mipako ya Kauri ya Silicon Carbide hutoa ulinzi bora wa uso kwa vifaa vya utengenezaji wa semiconductor na ugumu wake wa juu sana na ukinzani wa kuvaa. Hasa katika mazingira ya halijoto ya juu na yenye kutu sana, kama vile uwekaji wa mvuke wa kemikali (CVD) na etching ya plasma, mipako inaweza kuzuia uso wa kifaa kuharibiwa na mmomonyoko wa kemikali au uchakavu wa mwili, na hivyo kupanua kwa kiasi kikubwa maisha ya huduma. vifaa na kupunguza muda unaosababishwa na uingizwaji na ukarabati wa mara kwa mara.
Kuboresha usafi wa mchakato:Katika mchakato wa utengenezaji wa semiconductor, uchafuzi mdogo unaweza kusababisha kasoro za bidhaa. Inertness ya kemikali ya Silicon Carbide Ceramic Coating inaruhusu kubaki imara chini ya hali mbaya, kuzuia nyenzo kutoka kwa kutoa chembe au uchafu, na hivyo kuhakikisha usafi wa mazingira wa mchakato. Hii ni muhimu hasa kwa hatua za utengenezaji zinazohitaji usahihi wa hali ya juu na usafi wa hali ya juu, kama vile PECVD na upandikizaji wa ayoni.
Boresha udhibiti wa joto:Katika usindikaji wa semicondukta ya halijoto ya juu, kama vile usindikaji wa haraka wa mafuta (RTP) na michakato ya oksidi, upitishaji wa juu wa mafuta wa Mipako ya Kauri ya Silicon Carbide huwezesha usambazaji sawa wa joto ndani ya kifaa. Hii husaidia kupunguza mkazo wa joto na urekebishaji wa nyenzo unaosababishwa na kushuka kwa joto, na hivyo kuboresha usahihi na uthabiti wa utengenezaji wa bidhaa.
Kusaidia mazingira magumu ya mchakato:Katika michakato inayohitaji udhibiti changamano wa angahewa, kama vile uwekaji wa ICP na michakato ya uwekaji PSS, uthabiti na ukinzani wa oksidi wa Silicon Carbide Ceramic Coating huhakikisha kuwa kifaa hudumisha utendakazi thabiti katika utendakazi wa muda mrefu, kupunguza hatari ya uharibifu wa nyenzo au uharibifu wa vifaa unaosababishwa. kwa mabadiliko ya mazingira.
CVD SiC薄膜基本物理性能 Sifa za kimsingi za CVD SiCmipako | |
性质 / Mali | 典型数值 / Thamani ya Kawaida |
晶体结构 / Muundo wa Kioo | FCC awamu ya β多晶,主要為(111)取向 |
密度 / Msongamano | 3.21 g/cm³ |
硬度 / Ugumu | 2500 维氏硬度 (mzigo wa 500g) |
晶粒大小 / Nafaka SiZe | 2 ~ 10μm |
纯度 / Usafi wa Kemikali | 99.99995% |
热容 / Uwezo wa Joto | 640 J·kg-1·K-1 |
升华温度 / Usablimishaji Joto | 2700 ℃ |
抗弯强度 / Nguvu ya Flexural | 415 MPa RT 4-pointi |
杨氏模量 / Modulus ya Vijana | 430 Gpa 4pt bend, 1300 ℃ |
导热系数 / ThermalUendeshaji | 300W·m-1·K-1 |
热膨胀系数 / Upanuzi wa Joto(CTE) | 4.5×10-6K-1 |
Karibu sana utembelee kiwanda chetu, tufanye majadiliano zaidi!