Dual-Damascene ni teknolojia ya mchakato inayotumiwa kutengeneza viunganishi vya chuma katika saketi zilizounganishwa. Ni maendeleo zaidi ya mchakato wa Damascus. Kwa kutengeneza kupitia mashimo na grooves kwa wakati mmoja katika hatua sawa ya mchakato na kuzijaza kwa chuma, utengenezaji uliojumuishwa wa viunganisho vya chuma hugunduliwa.
Kwa nini inaitwa Damasko?
Mji wa Damascus ndio mji mkuu wa Siria, na panga za Damascus ni maarufu kwa ukali na muundo wake mzuri. Aina ya mchakato wa kuingiza inahitajika: kwanza, muundo unaohitajika umeandikwa juu ya uso wa chuma cha Dameski, na nyenzo zilizopangwa tayari zimefungwa kwa ukali kwenye grooves iliyochongwa. Baada ya kuingizwa kukamilika, uso unaweza kutofautiana kidogo. Fundi ataisafisha kwa uangalifu ili kuhakikisha ulaini wa jumla. Na mchakato huu ni mfano wa mchakato wa Damascus wa chip. Kwanza, grooves au mashimo ni kuchonga katika safu ya dielectric, na kisha chuma ni kujazwa ndani yao. Baada ya kujaza, chuma cha ziada kitaondolewa na cmp.
Hatua kuu za mchakato wa damascene mbili ni pamoja na:
▪ Uwekaji wa tabaka la dielectri:
Weka safu ya nyenzo za dielectric, kama vile dioksidi ya silicon (SiO2), kwenye semiconductor.kaki.
▪ Upigaji picha wa kufafanua muundo:
Tumia photolithografia kufafanua muundo wa vias na mitaro kwenye safu ya dielectri.
▪Etching:
Kuhamisha muundo wa vias na mitaro kwa safu ya dielectri kupitia mchakato kavu au mvua etching.
▪ Uwekaji wa chuma:
Amana ya chuma, kama vile shaba (Cu) au alumini (Al), katika vias na mitaro ili kuunda viunganishi vya chuma.
▪ Ung'arishaji wa kemikali wa mitambo:
Kemikali mitambo polishing ya uso wa chuma kuondoa chuma ziada na flatten uso.
Ikilinganishwa na mchakato wa utengenezaji wa unganisho wa jadi wa chuma, mchakato wa damascene mbili una faida zifuatazo:
▪Hatua za mchakato zilizorahisishwa:kwa kutengeneza vias na mitaro kwa wakati mmoja katika hatua sawa ya mchakato, hatua za mchakato na wakati wa utengenezaji hupunguzwa.
▪Ufanisi wa utengenezaji ulioboreshwa:kutokana na kupunguzwa kwa hatua za mchakato, mchakato wa damascene mbili unaweza kuboresha ufanisi wa utengenezaji na kupunguza gharama za uzalishaji.
▪Boresha utendakazi wa viunganishi vya chuma:mchakato wa damascene mbili unaweza kufikia viunganisho vyembamba vya chuma, na hivyo kuboresha ushirikiano na utendaji wa nyaya.
▪Punguza uwezo na upinzani wa vimelea:kwa kutumia vifaa vya chini vya k dielectric na kuboresha muundo wa viunganishi vya chuma, uwezo wa vimelea na upinzani vinaweza kupunguzwa, kuboresha kasi na utendaji wa matumizi ya nguvu ya nyaya.
Muda wa kutuma: Nov-25-2024