Tanuru moja ya fuwele ni kifaa kinachotumia aheater ya grafitikuyeyusha nyenzo za silicon za polycrystalline katika mazingira ya gesi ajizi (argon) na hutumia mbinu ya Czochralski kukuza fuwele moja zisizohamishika. Inaundwa hasa na mifumo ifuatayo:
Mfumo wa maambukizi ya mitambo
Mfumo wa maambukizi ya mitambo ni mfumo wa msingi wa uendeshaji wa tanuru moja ya kioo, ambayo inawajibika hasa kwa kudhibiti harakati za fuwele nacrucibles, ikiwa ni pamoja na kuinua na kuzungusha fuwele za mbegu na kuinua na kuzungushacrucibles. Inaweza kurekebisha kwa usahihi vigezo kama vile nafasi, kasi na pembe ya mzunguko wa fuwele na misalaba ili kuhakikisha maendeleo laini ya mchakato wa ukuaji wa fuwele. Kwa mfano, katika hatua tofauti za ukuaji wa fuwele kama vile mbegu, shingo, bega, ukuaji wa kipenyo sawa na mkia, harakati za fuwele za mbegu na crucibles zinahitaji kudhibitiwa kwa usahihi na mfumo huu ili kukidhi mahitaji ya mchakato wa ukuaji wa kioo.
Mfumo wa udhibiti wa joto la joto
Hii ni moja ya mifumo ya msingi ya tanuru moja ya kioo, ambayo hutumiwa kuzalisha joto na kudhibiti kwa usahihi joto katika tanuru. Inaundwa hasa na vipengee kama vile hita, vitambuzi vya halijoto, na vidhibiti halijoto. Hita kawaida hutengenezwa kwa vifaa kama vile grafiti ya usafi wa hali ya juu. Baada ya mkondo unaopishana kubadilishwa na kupunguzwa ili kuongeza mkondo wa sasa, hita hutoa joto ili kuyeyusha nyenzo za polycrystalline kama vile polysilicon kwenye crucible. Sensor ya joto inafuatilia mabadiliko ya joto katika tanuru kwa wakati halisi na hupeleka ishara ya joto kwa mtawala wa joto. Mdhibiti wa joto hudhibiti kwa usahihi nguvu ya joto kulingana na vigezo vya joto vilivyowekwa na ishara ya joto ya maoni, na hivyo kudumisha utulivu wa joto katika tanuru na kutoa mazingira ya joto ya kufaa kwa ukuaji wa kioo.
Mfumo wa utupu
Kazi kuu ya mfumo wa utupu ni kuunda na kudumisha mazingira ya utupu katika tanuru wakati wa mchakato wa ukuaji wa kioo. Hewa na gesi za uchafu kwenye tanuru hutolewa kupitia pampu za utupu na vifaa vingine ili kufanya shinikizo la gesi kwenye tanuru kufikia kiwango cha chini sana, kwa ujumla chini ya 5TOR (torr). Hii inaweza kuzuia nyenzo za silicon zisioksidishwe kwenye joto la juu na kuhakikisha usafi na ubora wa ukuaji wa fuwele. Wakati huo huo, mazingira ya utupu pia yanafaa kwa kuondoa uchafu tete unaozalishwa wakati wa mchakato wa ukuaji wa kioo na kuboresha ubora wa kioo.
Mfumo wa Argon
Mfumo wa argon una jukumu la kulinda na kudhibiti shinikizo katika tanuru katika tanuru moja ya kioo. Baada ya utupu, gesi ya argon yenye usafi wa juu (usafi lazima iwe juu ya 6 9) imejaa tanuru. Kwa upande mmoja, inaweza kuzuia hewa ya nje kuingia kwenye tanuru na kuzuia vifaa vya silicon kuwa oxidized; kwa upande mwingine, kujazwa kwa gesi ya argon kunaweza kudumisha shinikizo katika tanuru ya tanuru na kutoa mazingira ya shinikizo la kufaa kwa ukuaji wa kioo. Kwa kuongeza, mtiririko wa gesi ya argon pia unaweza kuchukua joto linalozalishwa wakati wa mchakato wa ukuaji wa kioo, ikicheza jukumu fulani la baridi.
Mfumo wa baridi wa maji
Kazi ya mfumo wa kupoza maji ni kupoza vipengele mbalimbali vya joto la juu vya tanuru moja ya kioo ili kuhakikisha uendeshaji wa kawaida na maisha ya huduma ya vifaa. Wakati wa operesheni ya tanuru moja ya kioo, hita,sulubu, electrode na vipengele vingine vitatoa joto nyingi. Ikiwa hazijapozwa kwa wakati, vifaa vitazidi joto, kuharibika au hata kuharibiwa. Mfumo wa kupoeza maji huondoa joto la vipengele hivi kwa kuzungusha maji ya kupoeza ili kuweka halijoto ya kifaa ndani ya safu salama. Wakati huo huo, mfumo wa baridi wa maji unaweza pia kusaidia katika kurekebisha hali ya joto katika tanuru ili kuboresha usahihi wa udhibiti wa joto.
Mfumo wa udhibiti wa umeme
Mfumo wa udhibiti wa umeme ni "ubongo" wa tanuru moja ya kioo, inayohusika na ufuatiliaji na udhibiti wa uendeshaji wa vifaa vyote. Inaweza kupokea mawimbi kutoka kwa vitambuzi mbalimbali, kama vile vitambuzi vya halijoto, vihisi shinikizo, vitambuzi vya nafasi, n.k., na kuratibu na kudhibiti mfumo wa upitishaji wa mitambo, mfumo wa kudhibiti joto la joto, mfumo wa utupu, mfumo wa argon na mfumo wa kupoeza maji kulingana na ishara hizi. Kwa mfano, wakati wa mchakato wa ukuaji wa kioo, mfumo wa kudhibiti umeme unaweza kurekebisha moja kwa moja nguvu ya joto kulingana na ishara ya joto iliyotolewa na sensor ya joto; kulingana na ukuaji wa kioo, inaweza kudhibiti kasi ya harakati na angle ya mzunguko wa kioo cha mbegu na crucible. Wakati huo huo, mfumo wa kudhibiti umeme pia una uchunguzi wa kosa na kazi za kengele, ambayo inaweza kuchunguza hali isiyo ya kawaida ya vifaa kwa wakati na kuhakikisha uendeshaji salama wa vifaa.
Muda wa kutuma: Sep-23-2024