CVD (Uwekaji wa Mvuke wa Kemikali) ni njia inayotumiwa sana kuandaa mipako ya silicon carbudi.CVD silicon mipako ya carbudikuwa na sifa nyingi za kipekee za utendaji. Makala hii itaanzisha njia ya maandalizi ya mipako ya carbudi ya silicon ya CVD na sifa zake za utendaji.
1. Mbinu ya maandalizi yaCVD silicon mipako ya carbudi
Njia ya CVD inabadilisha vitangulizi vya gesi kuwa mipako ya carbudi ya silicon chini ya hali ya juu ya joto. Kulingana na watangulizi tofauti wa gesi, inaweza kugawanywa katika CVD ya awamu ya gesi na CVD ya awamu ya kioevu.
1. CVD ya awamu ya mvuke
CVD ya awamu ya mvuke hutumia vitangulizi vya gesi, kwa kawaida misombo ya organosilicon, kufikia ukuaji wa filamu za silicon carbudi. Michanganyiko ya organosilicon inayotumika kwa kawaida ni pamoja na methylsilane, dimethylsilane, monosilane, n.k., ambayo huunda filamu za silicon carbudi kwenye substrates za chuma kwa kusafirisha vianzilishi vya gesi kwenye vyumba vya athari ya joto la juu. Maeneo ya joto la juu katika chumba cha mmenyuko kawaida huzalishwa na joto la induction au inapokanzwa kwa kupinga.
2. CVD ya awamu ya kioevu
CVD ya awamu ya kioevu hutumia mtangulizi wa kioevu, kwa kawaida kutengenezea kikaboni kilicho na silicon na kiwanja cha silanol, ambacho huchomwa moto na kuyeyushwa kwenye chumba cha mmenyuko, na kisha filamu ya carbudi ya silicon huundwa kwenye substrate kupitia mmenyuko wa kemikali.
2. Sifa za utendaji waCVD silicon mipako ya carbudi
1.Utendaji bora wa joto la juu
CVD silicon mipako ya carbudikutoa utulivu bora wa joto la juu na upinzani wa oxidation. Ina uwezo wa kufanya kazi katika mazingira ya joto la juu na inaweza kuhimili hali mbaya kwa joto la juu.
2.Sifa nzuri za mitambo
CVD silicon mipako ya carbudiina ugumu wa juu na upinzani mzuri wa kuvaa. Inalinda substrates za chuma kutoka kwa kuvaa na kutu, kupanua maisha ya huduma ya nyenzo.
3. Utulivu bora wa kemikali
CVD silicon mipako ya carbudini sugu kwa kemikali za kawaida kama vile asidi, alkali na chumvi. Inapinga mashambulizi ya kemikali na kutu ya substrate.
4. Mgawo wa chini wa msuguano
CVD silicon mipako ya carbudiina mgawo wa chini wa msuguano na mali nzuri ya kujipaka yenyewe. Inapunguza msuguano na kuvaa na inaboresha ufanisi wa matumizi ya nyenzo.
5.Nzuri ya conductivity ya mafuta
Mipako ya carbudi ya silicon ya CVD ina mali nzuri ya conductivity ya mafuta. Inaweza kufanya joto haraka na kuboresha ufanisi wa utaftaji wa joto wa msingi wa chuma.
6.Sifa bora za insulation za umeme
Mipako ya carbudi ya silicon ya CVD ina sifa nzuri za insulation ya umeme na inaweza kuzuia uvujaji wa sasa. Inatumika sana katika ulinzi wa insulation ya vifaa vya elektroniki.
7. Unene na muundo unaoweza kubadilishwa
Kwa kudhibiti hali wakati wa mchakato wa CVD na mkusanyiko wa mtangulizi, unene na muundo wa filamu ya carbudi ya silicon inaweza kubadilishwa. Hii hutoa chaguzi nyingi na kubadilika kwa anuwai ya programu.
Kwa kifupi, mipako ya carbudi ya silicon ya CVD ina utendaji bora wa joto la juu, mali bora ya mitambo, utulivu mzuri wa kemikali, mgawo wa chini wa msuguano, conductivity nzuri ya mafuta na mali ya insulation ya umeme. Sifa hizi hufanya mipako ya silicon carbudi ya CVD kutumika sana katika nyanja nyingi, ikiwa ni pamoja na umeme, optics, anga, sekta ya kemikali, nk.
Muda wa posta: Mar-20-2024