Mchakato wa ukuaji wa kioo cha CARBIDE na teknolojia ya vifaa

1. Njia ya teknolojia ya ukuaji wa fuwele ya SiC

PVT (njia ya usablimishaji),

HTCVD (joto la juu CVD),

LPE(Njia ya awamu ya kioevu)

ni tatu za kawaidaSiC kioonjia za ukuaji;

Njia inayojulikana zaidi katika sekta hiyo ni njia ya PVT, na zaidi ya 95% ya fuwele za SiC moja hupandwa kwa njia ya PVT;

Wenye viwandaSiC kiootanuru ya ukuaji hutumia njia kuu ya teknolojia ya PVT ya tasnia.

2. Mchakato wa ukuaji wa kioo wa SiC

Usanisi wa unga-mbegu za matibabu ya fuwele-ukuaji wa ingot-kakiusindikaji.

3. Mbinu ya PVT kukuafuwele za SiC

Malighafi ya SiC huwekwa chini ya crucible ya grafiti, na kioo cha mbegu ya SiC iko juu ya crucible ya grafiti. Kwa kurekebisha insulation, joto katika malighafi ya SiC ni ya juu na joto kwenye kioo cha mbegu ni cha chini. Malighafi ya SiC kwa joto la juu hupunguza na kuoza kuwa vitu vya awamu ya gesi, ambayo husafirishwa hadi kwenye fuwele ya mbegu na joto la chini na kung'aa kuunda fuwele za SiC. Mchakato wa ukuaji wa kimsingi unajumuisha michakato mitatu: mtengano na usablimishaji wa malighafi, uhamishaji wa wingi, na uwekaji fuwele kwenye fuwele za mbegu.

Mtengano na usablimishaji wa malighafi:

SiC(S)= Si(g)+C(S)

2SiC(S)= Si(g)+ SiC2(g)

2SiC(S)=C(S)+SiC2(g)

Wakati wa uhamishaji mkubwa, mvuke wa Si humenyuka zaidi na ukuta wa grafiti kuunda SiC2 na Si2C:

Si(g)+2C(S) =SiC2(g)

2Si(g) +C(S)=Si2C(g)

Juu ya uso wa kioo cha mbegu, awamu tatu za gesi hukua kupitia fomula mbili zifuatazo ili kutoa fuwele za silicon carbide:

SiC2_(g)+Si2C_(g)=3SiC_(s)

Si_(g)+SiC2_(g)=2SiC_(S)

4. Mbinu ya PVT ya kukuza njia ya teknolojia ya vifaa vya kukuza fuwele vya SiC

Kwa sasa, inapokanzwa introduktionsutbildning ni njia ya teknolojia ya kawaida kwa PVT njia SiC fuwele ukuaji furnaces;

Coil inapokanzwa introduktionsutbildning nje na inapokanzwa grafiti upinzani ni mwelekeo wa maendeleo yaSiC kiootanuu za ukuaji.

5. tanuru ya ukuaji wa inchi 8 ya SiC

(1) Kupasha jotocrucible ya grafiti kipengele cha kupokanzwakupitia induction ya shamba la magnetic; kudhibiti uwanja wa joto kwa kurekebisha nguvu ya joto, nafasi ya coil, na muundo wa insulation;

(2) Inapokanzwa crucible grafiti kwa njia ya kupokanzwa grafiti upinzani na upitishaji mafuta mionzi; kudhibiti uwanja wa joto kwa kurekebisha sasa ya heater ya grafiti, muundo wa heater, na udhibiti wa sasa wa eneo;