SiC oxidation - mipako sugu ilitayarishwa juu ya uso wa grafiti na mchakato wa CVD

Mipako ya SiC inaweza kutayarishwa kwa uwekaji wa mvuke wa kemikali (CVD), mabadiliko ya kitangulizi, kunyunyizia plasma, nk. Mipako iliyoandaliwa na uwekaji wa mvuke wa KIKEMIKALI ni sare na kompakt, na ina muundo mzuri. Kwa kutumia methyl trichlorsilane. (CHzSiCl3, MTS) kama chanzo cha silicon, mipako ya SiC iliyoandaliwa na njia ya CVD ni mbinu ya kukomaa kwa matumizi ya mipako hii.
Mipako ya SiC na grafiti ina utangamano mzuri wa kemikali, tofauti ya mgawo wa upanuzi wa mafuta kati yao ni ndogo, kwa kutumia mipako ya SiC inaweza kuboresha kwa ufanisi upinzani wa kuvaa na upinzani wa oxidation ya nyenzo za grafiti. Miongoni mwao, uwiano wa stoichiometric, joto la mmenyuko, gesi ya dilution, gesi ya uchafu na hali nyingine zina ushawishi mkubwa juu ya majibu.