Grafiti yenye mipako ya TaC

I. Utafutaji wa kigezo cha mchakato

1. Mfumo wa TaCl5-C3H6-H2-Ar

2. Halijoto ya uwekaji:

Kulingana na fomula ya thermodynamic, inakokotolewa kwamba wakati halijoto ni kubwa kuliko 1273K, nishati ya bure ya Gibbs ya majibu ni ya chini sana na majibu ni kamili. Athari ya mara kwa mara ya KP ni kubwa sana ifikapo 1273K na huongezeka kwa kasi kulingana na halijoto, na kasi ya ukuaji hupungua polepole kwa 1773K.

Ushawishi juu ya morpholojia ya uso wa mipako: Wakati hali ya joto haifai (juu sana au chini sana), uso hutoa morpholojia ya kaboni ya bure au pores huru.

(1) Kwa joto la juu, kasi ya harakati ya atomi au vikundi vinavyofanya kazi ni haraka sana, ambayo itasababisha usambazaji usio sawa wakati wa mkusanyiko wa nyenzo, na maeneo tajiri na maskini hayawezi kubadilika vizuri, na kusababisha pores.

(2) Kuna tofauti kati ya kiwango cha mmenyuko wa pyrolysis ya alkanes na kupunguza kiwango cha mmenyuko wa tantalum pentakloride. Kaboni ya pyrolysis ni nyingi na haiwezi kuunganishwa na tantalum kwa wakati, na kusababisha uso kuwa umefungwa na kaboni.

Wakati hali ya joto ni sahihi, uso waMipako ya TaCni mnene.

TaCchembe huyeyuka na kukusanyika kwa kila mmoja, fomu ya kioo imekamilika, na mpaka wa nafaka hubadilika vizuri.

3. Uwiano wa hidrojeni:

Kwa kuongeza, kuna mambo mengi yanayoathiri ubora wa mipako:

-Substrate uso ubora

- Kuweka uwanja wa gesi

-Kiwango cha usawa wa mchanganyiko wa gesi inayoathiriwa

II. Kasoro za kawaida zamipako ya tantalum carbudi

1. Mipako kupasuka na peeling

Linear mgawo wa upanuzi wa mafuta mstari CTE:

2. Uchambuzi wa kasoro:

(1) Sababu:

(2) Mbinu ya wahusika

① Tumia teknolojia ya mgawanyiko wa X-ray kupima mkazo uliosalia.

② Tumia sheria ya Hu Ke kukadiria mkazo uliosalia.

(3) Fomula zinazohusiana

3.Kuimarisha utangamano wa mitambo ya mipako na substrate

(1) Mipako ya ukuaji wa uso ndani ya-situ

Uwekaji wa athari ya joto na teknolojia ya uenezaji TRD

Mchakato wa chumvi iliyoyeyuka

Rahisisha mchakato wa uzalishaji

Punguza joto la mmenyuko

Gharama ya chini kiasi

Rafiki zaidi wa mazingira

Inafaa kwa uzalishaji mkubwa wa viwanda

(2) Composite mpito mipako

Mchakato wa kuweka pamoja

CVDmchakato

Mipako ya vipengele vingi

Kuchanganya faida za kila sehemu

Flexibly kurekebisha utungaji mipako na uwiano

4. Uwekaji wa majibu ya joto na teknolojia ya uenezi TRD

(1) Utaratibu wa Kuitikia

Teknolojia ya TRD pia inaitwa mchakato wa kupachika, ambao hutumia asidi ya boroni-tantalum pentoksidi-sodiamu floridi-boroni oksidi-boroni mfumo wa carbide kuandaa.mipako ya tantalum carbudi.

① Asidi ya boroni iliyoyeyushwa huyeyusha pentoksidi ya tantalum;

② pentoksidi ya Tantalum imepunguzwa kuwa atomi amilifu ya tantalum na kusambaa kwenye uso wa grafiti;

③ Atomi za tantalum amilifu hutangazwa kwenye uso wa grafiti na kuitikia pamoja na atomi za kaboni kuundamipako ya tantalum carbudi.

(2) Ufunguo wa Mwitikio

Aina ya mipako ya carbudi lazima ikidhi mahitaji kwamba uundaji wa oxidation nishati ya bure ya kipengele kinachounda carbudi ni ya juu kuliko ile ya oksidi ya boroni.

Nishati ya bure ya Gibbs ya carbudi ni ya chini ya kutosha (vinginevyo, boroni au boride inaweza kuundwa).

Tantalum pentoksidi ni oksidi ya upande wowote. Katika boraksi iliyoyeyushwa ya kiwango cha juu cha joto, inaweza kuguswa na oksidi kali ya alkali ya oksidi sodiamu kuunda tantalate ya sodiamu, na hivyo kupunguza joto la awali la mmenyuko.