Vigingi vinavyotumika kwa kawaida kwa epitaksi ya awamu ya mvuke

Wakati wa mchakato wa epitaksi ya awamu ya mvuke (VPE), jukumu la msingi ni kuunga mkono substrate na kuhakikisha inapokanzwa sawa wakati wa mchakato wa ukuaji. Aina tofauti za pedestals zinafaa kwa hali tofauti za ukuaji na mifumo ya nyenzo. Zifuatazo ni baadhi ya aina za msingi zinazotumika katika awamu ya mvukeepitaxy:

Msingi wa pipa

Nguzo za mapipa hutumiwa kwa kawaida katika mifumo ya epitaksi ya awamu ya mvuke iliyo mlalo au iliyoinama. Wanaweza kushikilia substrate na kuruhusu gesi inapita juu ya substrate, ambayo husaidia kufikia ukuaji wa epitaxial sare.

Kigingi chenye umbo la diski (kisio wima)

Vigingi vya umbo la diski vinafaa kwa mifumo ya epitaksi ya awamu ya mvuke wima, ambayo substrate huwekwa kwa wima. Muundo huu husaidia kupunguza eneo la mgusano kati ya substrate na kisisitizi, na hivyo kupunguza upotevu wa joto na uwezekano wa uchafuzi.

Mlalo susceptor

Vihasishi vya mlalo havipatikani sana katika epitaksi ya awamu ya mvuke, lakini vinaweza kutumika katika baadhi ya mifumo mahususi ya ukuaji ili kuruhusu ukuaji wa epitaksia katika mwelekeo mlalo.

Monolithic epitaxial mmenyuko susceptor

Monolithic epitaxial reaction susceptor imeundwa kwa substrate moja, ambayo inaweza kutoa udhibiti sahihi zaidi wa joto na kutengwa bora kwa joto, yanafaa kwa ukuaji wa tabaka za epitaxial za ubora.

Karibu kwenye tovuti yetu kwa maelezo ya bidhaa na ushauri.

Tovuti yetu: https://www.vet-china.com/