Malengo ya kunyunyiza yanayotumika katika mizunguko iliyojumuishwa ya semiconductor

Malengo ya kutelezahutumika zaidi katika tasnia ya umeme na habari, kama vile saketi zilizojumuishwa, uhifadhi wa habari, maonyesho ya kioo kioevu, kumbukumbu za leza, vifaa vya kudhibiti kielektroniki, n.k. Zinaweza pia kutumika katika uwanja wa mipako ya glasi, na vile vile sugu ya kuvaa. vifaa, upinzani wa kutu wa joto la juu, bidhaa za mapambo ya hali ya juu na tasnia zingine.

Sputtering ni mojawapo ya mbinu kuu za kuandaa vifaa vya filamu nyembamba.Inatumia ayoni zinazozalishwa na vyanzo vya ioni kuharakisha na kujumlisha katika utupu ili kuunda miale ya ioni ya kasi ya juu, kushambulia uso mgumu, na kubadilishana nishati ya kinetiki kati ya ioni na atomi za uso thabiti. Atomi kwenye uso mgumu huacha kigumu na huwekwa kwenye uso wa substrate. Ngumu iliyopigwa mabomu ni malighafi ya kuweka filamu nyembamba kwa sputtering, ambayo inaitwa sputtering target. Aina mbalimbali za nyenzo za filamu nyembamba zilizopigwa zimetumiwa sana katika nyaya za semiconductor jumuishi, vyombo vya habari vya kurekodi, maonyesho ya paneli ya gorofa na mipako ya uso wa workpiece.

Miongoni mwa tasnia zote za utumaji maombi, tasnia ya semiconductor ina mahitaji magumu zaidi ya ubora kwa filamu zinazolengwa za kunyunyiza maji. Malengo ya kunyunyiza chuma yaliyo na usafi wa hali ya juu hutumiwa zaidi katika utengenezaji wa kaki na michakato ya hali ya juu ya ufungaji. Tukichukua utengenezaji wa chip kama mfano, tunaweza kuona kwamba kutoka kwa kaki ya silicon hadi chip, inahitaji kupitia michakato 7 kuu ya uzalishaji, ambayo ni uenezaji (Mchakato wa joto), Picha-lithography (Picha-lithography), Etch (Etch), Uwekaji wa Ion (IonImplant), Ukuaji wa Filamu Nyembamba (Uwekaji wa Dielectric), Ung'arishaji wa Kikemikali (CMP), Uchimbaji (Kuunganisha) Michakato inalingana moja baada ya nyingine. Lengo la sputtering hutumiwa katika mchakato wa "metallization". Lengo husukumwa na chembe chembe za nishati nyingi na vifaa vyembamba vya kuweka filamu na kisha safu ya chuma yenye vitendaji maalum huundwa kwenye kaki ya silicon, kama vile safu ya conductive, safu ya kizuizi. Subiri. Kwa kuwa michakato ya semiconductors nzima ni tofauti basi baadhi ya hali za mara kwa mara zinahitajika ili kuthibitisha kuwa mfumo unakuwepo kwa usahihi kwa hivyo tunadai baadhi ya aina za nyenzo za dummy katika hatua fulani za uzalishaji ili kuthibitisha athari.