Nishati ya VETPECVD mchakato wa kubeba grafiti ni mchakato wa matumizi wa ubora wa juu unaolengwa kwa ajili ya mchakato wa PECVD (uwekaji wa kemikali ya plasma iliyoimarishwa). Kibeba grafiti hiki kimetengenezwa kwa ubora wa hali ya juu, nyenzo za grafiti zenye wiani wa hali ya juu, na upinzani bora wa joto la juu, upinzani wa kutu, utulivu wa sura na sifa zingine, inaweza kutoa jukwaa thabiti la kubeba mchakato wa PECVD, ili kuhakikisha usawa na usawa wa filamu nyembamba. utuaji.
Wabebaji wa grafiti kwa mchakato wa PECVD wana sifa zifuatazo:
▪ Usafi wa hali ya juu: maudhui ya uchafu mdogo sana, kuepuka uchafuzi wa filamu na kuhakikisha ubora wa filamu.
▪ Msongamano mkubwa: msongamano mkubwa, nguvu ya juu ya mitambo, uwezo wa kuhimili joto la juu na mazingira ya shinikizo la PECVD.
▪ Utulivu mzuri wa dimensional: mabadiliko madogo ya dimensional kwenye joto la juu, kuhakikisha utulivu wa mchakato.
▪ Uendeshaji bora wa mafuta: uhamishe joto kwa ufanisi ili kuzuia joto la kaki.
▪ Ustahimilivu mkubwa wa kutu: uwezo wa kustahimili mmomonyoko unaosababishwa na gesi babuzi na plazima.
▪ Huduma iliyobinafsishwa: vibeba grafiti vya ukubwa na maumbo tofauti vinaweza kubinafsishwa kulingana na mahitaji ya wateja.
Nyenzo za grafiti kutoka SGL:
Kigezo cha kawaida: R6510 | |||
Kielezo | Kiwango cha mtihani | Thamani | Kitengo |
Ukubwa wa wastani wa nafaka | ISO 13320 | 10 | μm |
Wingi msongamano | DIN IEC 60413/204 | 1.83 | g/cm3 |
Fungua porosity | DIN66133 | 10 | % |
Ukubwa wa pore wa kati | DIN66133 | 1.8 | μm |
Upenyezaji | DIN 51935 | 0.06 | cm²/s |
Ugumu wa Rockwell HR5/100 | DIN IEC60413/303 | 90 | HR |
Resistivity maalum ya umeme | DIN IEC 60413/402 | 13 | μΩm |
Nguvu ya flexural | DIN IEC 60413/501 | 60 | MPa |
Nguvu ya kukandamiza | DIN 51910 | 130 | MPa |
Moduli ya vijana | DIN 51915 | 11.5×10³ | MPa |
Upanuzi wa joto (20-200 ℃) | DIN 51909 | 4.2X10-6 | K-1 |
Uendeshaji wa joto (20 ℃) | DIN 51908 | 105 | Wm-1K-1 |
Imeundwa mahsusi kwa ajili ya utengenezaji wa seli za jua kwa ufanisi wa hali ya juu, kusaidia usindikaji wa kaki wa ukubwa mkubwa wa G12. Muundo ulioboreshwa wa mtoa huduma huongeza kwa kiasi kikubwa matumizi, kuwezesha viwango vya juu vya mavuno na gharama ya chini ya uzalishaji.
Kipengee | Aina | Mtoa huduma wa kaki |
Boti ya Grephite ya PEVCD - Mfululizo wa 156 | 156-13 mashua ya grephite | 144 |
156-19 mashua ya grephite | 216 | |
156-21 mashua ya grephite | 240 | |
156-23 mashua ya grafiti | 308 | |
Boti ya Grephite ya PEVCD - Mfululizo wa 125 | 125-15 mashua ya grephite | 196 |
125-19 mashua ya grephite | 252 | |
125-21 mashua ya grphite | 280 |